一种新型电容式三轴MEMS加速度计制造技术

本发明专利技术公开了一种新型电容式三轴MEMS加速度计，属于微机电系统技术领域，解决现有三轴加速度计因三个轴向分别对应一个质量块使加速度计的集成度较低的问题，其包括玻璃基板和设在玻璃基板上的质量块；所述质量块的四个拐角处设有弹性梁，弹性梁与玻璃基板的锚定区连接；所述质量块设有镂空区，镂空区的中部都设有与质量块固定的安装梁，所述安装梁的左右两侧分别设有Y轴检测活动梳齿，且镂空区内都设有与两个Y轴检测活动梳齿配合的两个Y轴检测固定梳齿，质量块的上下两端分别设有X轴检测活动梳齿，所述基板上设有与X轴检测活动梳齿配合的X轴固定梳齿。本发明专利技术加速度计采用作用对称结构，锚点分布均匀，能够降低因较大应力导致的结构形变。力导致的结构形变。力导致的结构形变。

【技术实现步骤摘要】
一种新型电容式三轴MEMS加速度计


[0001]本专利技术属于微机电系统
，具体涉及一种新型电容式三轴MEMS加速度计。

技术介绍

[0002]MEMS技术是极具发展潜力的技术之一，是当前十分活跃的研究领域。MEMS技术广泛应用于诸多领域，包括国防、汽车工业和生物医学等。微加速度计是MEMS技术应用的一个重要领域，MEMS技术的最初成功和商业化的产品就是微加速度计。目前微加速度计凭借其体积小、重量轻、功耗低和高灵敏度等优点已成为惯性导航领域的关键部件。MEMS加速度计是MEMS领域最早开始研究的传感器之一。经过多年的发展，MEMS加速度计的设计和加工技术已经日趋成熟。按敏感机理不同，MEMS加速度计可以分为电容式、压阻式、压电式等；相对于其它方式，电容式三轴加速度计的优点是结构简单，灵敏度较高，功耗小，温度漂移小，因而设计中广泛采用。
[0003]对于目前出现的三轴加速度计，很多采用三个质量块来减少轴间干扰。然而现有的三轴加速度计，往往会出现以下问题，从而影响加速度计的性能：一是由于制造过程中各轴向因不对准引起的误差；而是因三个轴本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种新型电容式三轴MEMS加速度计，其特征在于，包括玻璃基板和设在玻璃基板上的质量块；所述质量块的四个拐角处设有弹性梁(1)，所述弹性梁(1)与玻璃基板的锚定区连接；所述质量块设有两个镂空区(2)，两个所述镂空区(2)上下对称排列，所述镂空区(2)2的中部都设有与质量块固定的安装梁(21)，所述安装梁(21)的左右两侧分别设有Y轴检测活动梳齿(22)，且所述镂空区(2)内都设有与两个Y轴检测活动梳齿(22)配合的两个Y轴检测固定梳齿；所述质量块的上下两端分别设有X轴检测活动梳齿(12)，所述基板上设有与X轴检测活动梳齿(12)配合的X轴固定梳齿(13)。2.根据权利要求1所述的一种新型电容式三轴MEMS加速度计，其特征在于，所述质量块上还设有镂空部(3)，所述镂空部(3)位于质量块的中部，且位于两个镂空区(2)之间，所述镂空部(3)设有的左右两端都分别设有悬臂梁(31)，所述悬臂梁(31)的末端锚定在玻璃基板上。3.根据权利要求1所述的一种新型电容式三轴MEMS加速度计，其特征在于，所述弹性梁(1...

【专利技术属性】
技术研发人员：李开富，谭小波，黄斌，李云，武焱林，王瑞，张兴，郭威，邵斌华，蒋婷，杨承，郭小伟，李绍荣，
申请(专利权)人：电子科技大学，
类型：发明
国别省市：