【技术实现步骤摘要】
一种用于半导体生产的大理石平台
[0001]本技术涉及一种大理石平台,特别是涉及一种用于半导体生产的大理石平台,属于大理石平台
技术介绍
[0002]半导体指常温下导电性能介于导体与绝缘体之间的材料,为保护其性能通常采用大理石面作为操作平台,大理石平台取材于地下优质的岩石层,经过亿万年自然时效,形态极为稳定,不用担心因常规的温差而发生变形。经严格物理试验和选择的花岗石料,结晶细密,质地坚硬,极耐磨损、耐酸、耐碱,有很高的耐腐蚀性,永远不会生锈。由于大理石系非金属材料,绝无磁性反应,亦无塑性变形。其硬度比铸铁高2-3倍,因此精度保持性好,优于优质铸铁和钢材制作的精密测量基准零件,可以获得高而稳定的精度。
[0003]当前半导体生产时需要用到大理石平台,目前的大理石平台一般在使用完毕后需要人为进行台面清洁不够方便,且平台较重,移动时较为麻烦,基于此,我们提出一种用于半导体生产的大理石平台进行改进。
技术实现思路
[0004]本技术要解决的技术问题是提供一种用于半导体生产的大理石平台,该大理石平台能够 ...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种用于半导体生产的大理石平台,其特征在于,包括四个支柱(1),位于两侧的两个所述支柱(1)上端均固定连接有驱动架(2),两个所述驱动架(2)相对一侧外壁上分别固定开设有驱动槽(3)和限位槽(4),所述驱动槽(3)前后内壁之间转动连接有驱动杆(5),所述限位槽(4)前后内壁之间固定连接有限位杆(6),所述驱动杆(5)外壁上螺纹套接有驱动滑块(7),所述限位杆(6)外壁上滑动套接有限位滑块(8),所述驱动滑块(7)和限位滑块(8)上端固定连接有清洁机构(10),所述清洁机构(10)下端面固定连接有多个喷头(11),所述驱动滑块(7)和限位滑块(8)之间转动连接有清洁杆(12),所述清洁杆(12)外壁上固定连接有多个毛刷(13);四个所述支柱(1)之间固定连接有加固台(14),所述加固台(14)上端中部固定连接有液压缸(15),所述加固台(14)上端靠近四角处均固定连接有伸缩杆(16),所述液压缸(15)和伸缩杆(16)上端固定连接有加工台(26),所述加固台(14)下端固定开设有调节滑槽(17),所述调节滑槽(17)两侧内壁之间靠近前后端处分别转动连接有调节丝杆(18)和固定连接有滑杆(19),所述调节丝杆(18)和滑杆(19)两侧外壁上均套设有调节滑块(21),四个所述调节滑块(21)外壁上均铰接有连接杆(25),所述加固台(14)下端面靠近四角...
【专利技术属性】
技术研发人员:武云博,李燕,史舸,胡晓亮,徐华俊,
申请(专利权)人:麦斯克电子材料股份有限公司,
类型:新型
国别省市:
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