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本实用新型公开了一种用于半导体生产的大理石平台，属于大理石平台技术领域，包括：四个支柱，位于两侧的两个所述支柱上端均固定连接有驱动架，两个所述驱动架相对一侧外壁上分别固定开设有驱动槽和限位槽，所述驱动槽前后内壁之间转动连接有驱动杆，所述限位...
该专利属于麦斯克电子材料股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过麦斯克电子材料股份有限公司授权不得商用。

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