一种精密的激光一分多光路蚀刻设备制造技术

本发明专利技术公开了一种精密的激光一分多光路蚀刻设备，涉及激光蚀刻技术领域，包括基座、定位组件和激光组件，所述基座的上方中部安装有减速电机，且减速电机的输出轴上侧安装有工作台，所述定位组件安装于工作台的外侧，且定位组件包括固定板、电动推杆、推板、轴座、旋转轴、被动齿轮、连接杆和定位板，所述固定板固定于工作台的外部四周，且固定板的一侧安装有电动推杆，所述电动推杆的顶端固定有推板，且推板靠近工作台中心线的一侧固定有轴座。该精密的激光一分多光路蚀刻设备，定位组件便于分别调整三组旋转轴、连接杆以及三个定位板的位置，以便于根据实际工件的形状选用矩形状结构、弧形状结构或非标异型结构的定位板。形状结构或非标异型结构的定位板。形状结构或非标异型结构的定位板。

【技术实现步骤摘要】
一种精密的激光一分多光路蚀刻设备


[0001]本专利技术涉及激光蚀刻
，具体为一种精密的激光一分多光路蚀刻设备。

技术介绍

[0002]蚀刻(etching)又称为光化学蚀刻，是把材料使用化学反应或物理撞击作用而移除的技术。激光蚀刻是用激光束将图像或图案永久切割成坚硬的材料，如玻璃、木材或金属。对于大型项目，尺寸、图案的深度和位置通常被编程到控制激光的计算机中。激光强度取决于所用材料和所需热量。
[0003]如申请号为CN201710128531.2的专利技术公开了激光蚀刻设备及使用激光蚀刻设备进行激光蚀刻的方法，类似于上述申请的激光蚀刻设备目前还存在以下几点不足：在激光蚀刻的过程中，虽然能够对激光器和激光进行良好的控制，然而加工工件的定位结构较为单一，多采用一种定位板，不便于适用于不同形状的加工工件。
[0004]于是，有鉴于此，针对现有的结构及缺失予以研究改良，提出一种精密的激光一分多光路蚀刻设备。

技术实现思路

[0005]针对现有技术的不足，本专利技术提供了一种精密的激光一分多光路蚀刻设备，解决了上述
技术介绍
中提出的问题。
[0006]为实现以上目的，本专利技术通过以下技术方案予以实现：一种精密的激光一分多光路蚀刻设备，包括基座、定位组件和激光组件，所述基座的上方中部安装有减速电机，且减速电机的输出轴上侧安装有工作台，所述定位组件安装于工作台的外侧，且定位组件包括固定板、电动推杆、推板、轴座、旋转轴、被动齿轮、连接杆和定位板，所述固定板固定于工作台的外部四周，且固定板的一侧安装有电动推杆，所述电动推杆的顶端固定有推板，且推板靠近工作台中心线的一侧固定有轴座，所述轴座的一侧转动安装有旋转轴，且旋转轴的外部固定有被动齿轮，所述旋转轴的一侧前方固定有连接杆，且连接杆的顶端固定有定位板，所述基座的上方两侧固定有立柱，且立柱的顶端安装有顶框，所述激光组件安装于顶框的下侧。
[0007]进一步的，所述旋转轴、连接杆均设置有三组，每组所述旋转轴、所述连接杆均关于推板的竖直中心线对称分布有两个。
[0008]进一步的，所述定位板设置有三个，三个所述定位板分别为矩形状结构、弧形状结构或非标异型结构。
[0009]进一步的，所述定位组件还包括主动齿轮和驱动电机，所述被动齿轮的一侧啮合有主动齿轮，且主动齿轮的一侧安装有驱动电机，并且驱动电机与推板为螺栓连接。
[0010]进一步的，所述工作台的外部四周还安装有吸尘组件，且吸尘组件包括吸尘腔、负压风机、连接管、集尘框、排气过滤网和活性炭过滤层，所述吸尘腔位于工作台的上方，且吸尘腔的一侧安装有负压风机，所述负压风机的外侧固定有连接管，且连接管的下方安装有
集尘框，所述集尘框的内部由上至下依次设置有排气过滤网和活性炭过滤层。
[0011]进一步的，所述吸尘腔、负压风机关于工作台的中心线对称分布有四个，且负压风机通过连接管与集尘框的内部相互连通。
[0012]进一步的，所述激光组件包括安置横轨、移动座、安置板和激光器，所述安置横轨固定于顶框的中部下侧，且安置横轨的外侧滑动安装有移动座，所述移动座的下方固定有安置板，且安置板的下方安装有激光器。
[0013]进一步的，所述激光器的下方设置有分光组件，且分光组件包括分光真空室、导光板和分光镜，所述分光真空室的内部中间转动设置有导光板，且导光板的表面设置有分光镜。
[0014]进一步的，所述分光组件还包括外齿轮、电机轴、转动轴和棘爪，所述导光板外部固定有外齿轮，所述分光真空室的内部一侧通过电机轴转动安装有转动轴，且转动轴的外部固定有棘爪。
[0015]进一步的，所述棘爪与外齿轮之间为啮合连接，且棘爪与外齿轮位于同一水平面。
[0016]本专利技术提供了一种精密的激光一分多光路蚀刻设备，具备以下有益效果：
[0017]1.该精密的激光一分多光路蚀刻设备设置有定位组件，通过电动推杆便于伸缩推动推板的位置，进而便于调整定位板的位置使其对工作台上侧工件进行夹持定位，通过驱动电机便于带动主动齿轮的旋转，主动齿轮与被动齿轮啮合连接进而便于带动被动齿轮和旋转轴的转动，使得旋转轴一侧的连接杆和定位板能够随之转动，进而便于分别调整三组旋转轴、连接杆以及三个定位板的位置，以便于根据实际工件的形状选用矩形状结构、弧形状结构或非标异型结构的定位板。
[0018]2.该精密的激光一分多光路蚀刻设备设置有激光组件和分光组件，分光真空室内部的电机轴通过电机驱动，进而便于带动转动轴和棘爪的旋转，使得棘爪能够带动外齿轮和导光板转动，该驱动便于启停，以便于调整分光镜的位置，形成不同的光路，导光板表面的分光镜能够对扩展激光束、改变线性光束的角度，实现激光一分多光路，通过移动座在安置横轨外侧的移动便于带动安置板、激光器、分光组件的移动，以便于调整蚀刻位置并实现一分多光路蚀刻。
[0019]3.该精密的激光一分多光路蚀刻设备设置有吸尘组件，通过减速电机及其输出轴便于带动工作台的旋转，从而便于调整工作台上侧工件的位置，吸尘腔便于在负压风机的作用下将工作台表面激光蚀刻过程中产生的残余碎屑和烟气吸入到内部，通过连接管便于将吸入的残余碎屑和烟气送入到集尘框的内部，集尘框的内部由上至下依次设置有排气过滤网和活性炭过滤层，以便于通过排气过滤网对这部分残余碎屑进行过滤并通过活性炭过滤层对烟气进行净化。
附图说明
[0020]图1为本专利技术一种精密的激光一分多光路蚀刻设备的正视外部结构示意图；
[0021]图2为本专利技术一种精密的激光一分多光路蚀刻设备的工作台俯视结构示意图；
[0022]图3为本专利技术一种精密的激光一分多光路蚀刻设备的分光真空室俯视结构示意图；
[0023]图4为本专利技术一种精密的激光一分多光路蚀刻设备的定位组件放大结构示意图；
[0024]图5为本专利技术一种精密的激光一分多光路蚀刻设备的定位组件放大结构示意图；
[0025]图6为本专利技术一种精密的激光一分多光路蚀刻设备的连接杆侧视结构示意图。
[0026]图中：1、基座；2、减速电机；3、工作台；4、定位组件；401、固定板；402、电动推杆；403、推板；404、轴座；405、旋转轴；406、被动齿轮；407、主动齿轮；408、驱动电机；409、连接杆；410、定位板；5、吸尘组件；501、吸尘腔；502、负压风机；503、连接管；504、集尘框；505、排气过滤网；506、活性炭过滤层；6、立柱；7、顶框；8、激光组件；801、安置横轨；802、移动座；803、安置板；804、激光器；9、分光组件；901、分光真空室；902、导光板；903、分光镜；904、外齿轮；905、电机轴；906、转动轴；907、棘爪。
具体实施方式
[0027]下面结合附图和实施例对本专利技术的实施方式作进一步详细描述。以下实施例用于说明本专利技术，但不能用来限制本专利技术的范围。
[0028]请参阅图1至图6，本专利技术提供技术方案：一种精密的激光一分多光路蚀刻设备，包括基座1、定位组件本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种精密的激光一分多光路蚀刻设备，其特征在于，包括基座(1)、定位组件(4)和激光组件(8)，所述基座(1)的上方中部安装有减速电机(2)，且减速电机(2)的输出轴上侧安装有工作台(3)，所述定位组件(4)安装于工作台(3)的外侧，且定位组件(4)包括固定板(401)、电动推杆(402)、推板(403)、轴座(404)、旋转轴(405)、被动齿轮(406)、连接杆(409)和定位板(410)，所述固定板(401)固定于工作台(3)的外部四周，且固定板(401)的一侧安装有电动推杆(402)，所述电动推杆(402)的顶端固定有推板(403)，且推板(403)靠近工作台(3)中心线的一侧固定有轴座(404)，所述轴座(404)的一侧转动安装有旋转轴(405)，且旋转轴(405)的外部固定有被动齿轮(406)，所述旋转轴(405)的一侧前方固定有连接杆(409)，且连接杆(409)的顶端固定有定位板(410)，所述基座(1)的上方两侧固定有立柱(6)，且立柱(6)的顶端安装有顶框(7)，所述激光组件(8)安装于顶框(7)的下侧。2.根据权利要求1所述的一种精密的激光一分多光路蚀刻设备，其特征在于，所述旋转轴(405)、连接杆(409)均设置有三组，每组所述旋转轴(405)、所述连接杆(409)均关于推板(403)的竖直中心线对称分布有两个。3.根据权利要求1所述的一种精密的激光一分多光路蚀刻设备，其特征在于，所述定位板(410)设置有三个，三个所述定位板(410)分别为矩形状结构、弧形状结构或非标异型结构。4.根据权利要求1所述的一种精密的激光一分多光路蚀刻设备，其特征在于，所述定位组件(4)还包括主动齿轮(407)和驱动电机(408)，所述被动齿轮(406)的一侧啮合有主动齿轮(407)，且主动齿轮(407)的一侧安装有驱动电机(408)，并且驱动电机(408)与推板(403)为螺栓连接。5.根据权利要求1所述的一种精密的激光一分多光路蚀刻设备，其特征在于，所述工作台(3)的外部四周还安装有吸尘组件(5)，且吸尘组件(5)包括吸尘腔(501)、负压风机(502)、连接管...

【专利技术属性】
技术研发人员：范文君，王志远，任保平，张静，
申请(专利权)人：苏州迈科芯纳智能科技有限公司，
类型：发明
国别省市：