通用光学装置、检测方法及电子设备、存储介质制造方法及图纸

本申请实施例提供了一种通用光学装置、检测方法及电子设备、存储介质，属于半导体加工制造领域。该装置包括：光学主体、成像光路组件、照明光路组件及硬件快门，光学主体包括固定件及位于固定件两端的相机和显微物镜，成像光路组件固定于固定件并形成有成像光路；照明光路组件用于将明场光源沿预设路径发射至成像光路；硬件快门固定于固定件内且位于成像光路组件和相机之间，硬件快门用于在照明光路组件中提供预设第一时长的明场光源后，为已开启的相机提供第二时长的明场光源的照射，以获得该曝光时间对应的图像进行检测。本申请实施例能在高速采集图像时，提升图像的清晰度。提升图像的清晰度。提升图像的清晰度。

【技术实现步骤摘要】
通用光学装置、检测方法及电子设备、存储介质


[0001]本申请涉及半导体加工制造领域，尤其涉及一种通用光学装置、检测方法及电子设备、存储介质。

技术介绍

[0002]金属制品、半导体晶圆表面等样品缺陷检测一般采用反射式光学显微成像装置进行成像采集。而在金属制品、半导体晶圆表面等样品检测时一般采用光学显微成像装置进行高速图像采集，以确保检测效率，匹配生产节拍。但是，工业相机曝光时间一般约几十个微秒，因此移动采集图像时，速度过快将导致运动模糊，进而导致缺陷检测的检测效果差，此外，为了得到一些反射率差别较大区域的高对比度图像，通常采用高动态范围成像技术(High Dynamic Range Imagi ng，HDR)，即利用多次曝光或调整光源亮度，对同一场景进行多次拍摄，再合成清晰图像，也要求拍摄速度快且图像清晰。因此亟需一种通用光学装置能够在高速运动下提升图像清晰度。

技术实现思路

[0003]本申请实施例的主要目的在于提出一种通用光学装置、检测方法及电子设备、存储介质，旨在高速采集图像时，提升图像的清晰度。r/>[0004]为本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种通用光学装置，其特征在于，包括：光学主体，所述光学主体包括固定件、相机以及显微物镜，所述相机和所述显微物镜分别设置于所述固定件的两端；成像光路组件，所述成像光路组件固定于所述固定件且位于所述相机和所述显微物镜之间，所述成像光路组件形成成像光路；照明光路组件，所述照明光路组件用于将明场光源沿预设路径发射至所述成像光路；硬件快门，所述硬件快门固定于所述固定件且位于所述成像光路组件和所述相机之间，所述硬件快门用于在所述照明光路组件中提供预设第一时长的明场光源后，延迟第二时长关闭以给已启动的所述相机提供第二时长的明场光源的照射。2.根据权利要求1所述的通用光学装置，其特征在于，所述成像光路组件包括依次设置的检偏偏振片、管镜、分光镜以及若干滤光片，所述分光镜倾斜设置且用于折射所述照明光路组件射出的光线，所述检偏偏振片靠近所述相机设置，所述滤光片靠近所述显微物镜设置。3.根据权利要求2所述的通用光学装置，其特征在于，所述照明光路组件包括依次设置的起偏偏振片及聚光镜，所述起偏偏振片靠近明场光源设置，所述聚光镜靠近所述分光镜设置，所述起偏偏振片的起偏方向和所述检偏偏振片的检偏方向之间夹角在0～90
°
内。4.根据权利要求3所述的通用光学装置，其特征在于，所述照明光路组件还包括反射镜，所述反射镜位于所述起偏偏振片和所述聚光镜之间。5.根据权利要求2所述的通用光学装置，其特征在于，所述光学主体还包括滤光片转盘，所述滤光片可拆卸设置于所述滤光片转盘，所述滤光片转盘固定于所述固定件的端部。6.根据权利要求1所述的通用光学装置，其特征在于，所述光学主体还包括显微物镜转盘，所述显微物镜与所述显微物镜转盘可拆卸连接，所述显...

【专利技术属性】
技术研发人员：杨延竹，唐雨欣，于波，张华，
申请(专利权)人：深圳市格灵精睿视觉有限公司，
类型：发明
国别省市：