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本申请实施例提供了一种通用光学装置、检测方法及电子设备、存储介质，属于半导体加工制造领域。该装置包括：光学主体、成像光路组件、照明光路组件及硬件快门，光学主体包括固定件及位于固定件两端的相机和显微物镜，成像光路组件固定于固定件并形成有成像光...
该专利属于深圳市格灵精睿视觉有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过深圳市格灵精睿视觉有限公司授权不得商用。

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