真空泵工作方法、装置、计算机设备和存储介质制造方法及图纸

本申请实施例公开了真空泵工作方法、装置、计算机设备和存储介质；本申请实施例应用于真空泵，在本申请实施例中，根据索引文件中的索引标识，向真空泵的关联设备发送第一通信数据，关联设备包括上游设备以及下游设备中的至少一种；获取关联设备基于第一通信数据返回的第二通信数据，第二通信数据包括关联设备的关联设备标识；根据索引标识，将关联设备标识写入索引文件；在真空泵工作时，根据索引文件配置真空泵的工作参数，以便真空泵根据工作参数工作。由此，本申请实施例可以根据索引文件中的索引标识，获取真空泵关联设备的关联设备标识，并根据关联设备标识为真空泵配置工作参数，从而实现了真空泵对关联设备的自动识别和适配。适配。适配。

【技术实现步骤摘要】
真空泵工作方法、装置、计算机设备和存储介质


[0001]本申请涉及真空泵
，具体涉及真空泵工作方法、装置、计算机设备和存储介质。

技术介绍

[0002]真空泵是指利用机械、物理、化学或物理化学的方法对被抽容器进行抽气而获得真空的器件或设备。真空泵在运行之前，需要先与上游设备如PECVD(等离子增强型化学气相淀积)设备或下游设备如尾气处理设备进行适配度调试。待对接数据正常后，方可正常运行，避免出现设备故障，和压缩气体泄露等风险。
[0003]然而，由于上游和下游设备会有不同的产品型号，甚至不同的厂家。不同产品型号的设备标识符会不尽相同，这会导致真空泵对上游设备和下游设备无法使用统一的方法进行识别，给真空泵程序设计增加额外的复杂度，甚至造成无法识别上游和下游设备的型号，进而无法自动进行适配操作，导致设备无法正常运行，或者设备出现故障，甚至出现压缩气体泄露的风险。

技术实现思路

[0004]本申请实施例提供真空泵工作方法、装置、计算机设备和存储介质，可以实现了真空泵对上游设备和下游设备的自动识别和适配。
[000本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种真空泵工作方法，其特征在于，应用于真空泵，所述方法，包括：根据索引文件中的索引标识，向所述真空泵的关联设备发送第一通信数据，所述关联设备包括上游设备以及下游设备中的至少一种；获取所述关联设备基于所述第一通信数据返回的第二通信数据，所述第二通信数据包括所述关联设备的所述关联设备标识；根据所述索引标识，将所述关联设备标识写入所述索引文件；在所述真空泵工作时，根据所述索引文件配置所述真空泵的工作参数，以便所述真空泵根据所述工作参数工作。2.如权利要求1所述的真空泵工作方法，其特征在于，所述根据索引文件中的索引标识，向所述真空泵的关联设备发送第一通信数据，包括：根据索引文件的索引顺序，读取所述索引文件中的目标索引标识；根据所述目标索引标识，向所述真空泵的关联设备发送第一通信数据。3.如权利要求1所述的真空泵工作方法，其特征在于，所述真空泵包括设置在进气端的第一数据通信接口以及设置在出气端的第二数据通信接口，所述根据索引文件中的索引标识，向所述真空泵的关联设备发送第一通信数据，包括：通过所述第一数据通信接口，根据所述索引文件中的所述索引标识，向所述上游设备发送所述上游设备对应的第一通信数据；通过所述第二数据通信接口，根据所述索引文件中的所述索引标识，向所述下游设备发送所述下游设备对应的第一通信数据。4.如权利要求1所述的真空泵工作方法，其特征在于，所述第一通信数据包括索引标识，所述索引标识为所述关联设备中的寄存器地址，所述关联设备标识由所述关联设备根据所述寄存器地址读取得到。5.如权利要求1所述的真空泵工作方法，其特征在于，所述方法，还包括：若获取到所述关联设备基于所述第一通信数据返回的第二通信数据时，在所述索引文件中...

【专利技术属性】
技术研发人员：商志伟，魏民，王进福，
申请(专利权)人：北京通嘉宏瑞科技有限公司，
类型：发明
国别省市：