一种激光直写系统的扫描方法技术方案

一种激光直写系统的扫描方法，所述激光直写系统的控制系统控制图形发生器进行图像投影，所述激光直写系统的细分数的数值不是整数值时，所述控制系统根据所述细分数的数值确定所述激光直写系统的主细分数和副细分数，根据主细分数划分主细分数基本像素单元，根据副细分数划分副细分数基本单元，并确定包含主细分数基本像素单元和副细分数基本像素单元的重复单元，对待操作的矢量图形进行栅格化操作；对所述以副细分数进行栅格化处理的像素单元进行主细分数化处理获得主细分数栅格化图像数据；对所述主细分数栅格化图像数据进行拉伸和帧化处理。当细分数值为非整数时，利用主细分数和副细分数的方式处理矢量图像，无需复杂的调整图形发生器的角度。的调整图形发生器的角度。的调整图形发生器的角度。

【技术实现步骤摘要】
一种激光直写系统的扫描方法


[0001]本专利技术涉及一种扫描方法，尤其是一种适用于激光直写领域的扫描方法。

技术介绍

[0002]激光直写系统又称影像直接投射系统，可应用于半导体和PCB以及平面成像领域的研发、生产，其原理是利用图形发生器取代传统的掩模技术，直接将计算机的图形数据曝光到产品上，能够节省成本和提高效率。
[0003]图形发生器包括数字微镜器件（DMD ，Digital Micromirror Device）、液晶显示器、旋转多角镜扫描器或者光栅光阀（GLV，Grating Light Valve）等。数字微镜器件（DMD）是一种电子输入、光学输出的微机电系统，包括阵列排列的具有两个倾斜角度的微反射镜。在实际应用中，光源经过匀光作用后投射至数字微镜器件，数字微镜器件中的微反射镜有两个倾斜角度α和
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α，当微反射镜倾斜角度为α时，微反射镜将光线投射至后续光学系统，对应为数字电路的打开，当微反射镜的倾斜角度为
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α，微反射镜将光线倾斜至后续光学系统以外，对应为数字电路的关闭，通过控制数字微镜本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种激光直写系统的扫描方法，其特征在于： 所述激光直写系统包括图形发生器和控制系统，所述控制系统控制所述图形发生器进行图像投影，所述激光直写系统的细分数的数值不是整数值时，所述控制系统根据所述细分数的数值确定所述激光直写系统的主细分数和副细分数，根据主细分数划分主细分数基本像素单元，根据副细分数划分副细分数基本单元，并确定包含主细分数基本像素单元和副细分数基本像素单元的重复单元，对待操作的矢量图形进行栅格化操作；对所述以副细分数进行栅格化处理的像素单元进行主细分数化处理获得主细分数栅格化图像数据；对所述主细分数栅格化图像数据进行拉伸和帧化处理。2.根据权利要求1所述的激光直写系统的扫描方法，其特征在于：所述细分数的十分位小于5的情况，所述主细分数与所述细分数的整数部分相同，所述副细分数为比主细分数大1的整数。3.根据权利要求1所述的激光直写系统的扫描方法，其特征在于：细分数的十分位大于5的情况，所述副细分数与所述细分数的整数值相同，所述主细分数为比副细分数大1的整数。4.根据权利要求1所述的激光直写系统的扫描方法，其特征在于：所述重复单元中所述主细分数基本像素单元和副细分数基本像素单元的数量根据所述细分数的数值确定，使得所述重复单元内所述主细分数和所述副细分数的平均值等于所述细分数的数值。5.根据权利要求1所述的激光直写系统的扫描方法，其特征在于：根据所述重复...

【专利技术属性】
技术研发人员：胡传武，胥涛棚，张书荣，张雷，
申请(专利权)人：源卓微电子技术上海有限公司，
类型：发明
国别省市：