【技术实现步骤摘要】
一种硅片生产用废料收集装置
[0001]本技术属于废料处理领域，尤其涉及一种硅片生产用废料收集装置。
技术介绍
[0002]硅片一般是由单晶硅切割成的薄片，硅片是制作集成电路的重要材料，通过对硅片进行光刻、离子注入等手段，可以制成各种半导体器件。
[0003]在硅片制作过程中，晶棒制作完成后便是硅片的生产步骤，将晶棒切割成多个同等大小的圆状硅片，在制作半导体器件时对硅片的表面光滑度有着极高地要求，而硅片在进行打磨时需要加入抛光液，因此在打磨抛光设备排出的废液中包含了抛光液以及打磨硅片时产生的碎渣。
[0004]在实际情况中这些废料需要经过处理后才能够再次投入使用，现有的废料收集装置大多是起到收集作用，其中收集的废液还需要通过专用设备进行处理，不够高效。
技术实现思路
[0005]本技术实施例的目的在于提供一种硅片生产用废料收集装置，旨在解决上述
技术介绍
中提及的问题。
[0006]本技术实施例是这样实现的，一种硅片生产用废料收集装置，包括收集箱体，收集箱体底部一转动设置有支撑轮，还包括：
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种硅片生产用废料收集装置，包括收集箱体，收集箱体底部一转动设置有支撑轮，其特征在于，还包括：分离组件，所述收集箱体顶部为开口式结构，分离组件包括固定连接在收集箱体内且横向设置的过滤板体，过滤板体靠近收集箱体的开口处设置，所述收集箱体侧壁上开设有与过滤板体位置对应的排出口；推料组件，推料组件包括设置在收集箱体开口处两侧且沿收集箱体长度方向设置的驱动件，还包括横向设置在收集箱体顶部的移动架，移动架上朝向收集箱体内的一侧固定连接有与过滤板体相接触的条刷，所述驱动件用于带动移动架横向往复移动。2.根据权利要求1所述的硅片生产用废料收集装置，其特征在于，所述收集箱体外部靠近排出口的一侧固定连接有收集盒，收集盒上固定连接有推拉把手。3.根据权利要求1所述的硅片生产用废料收集装置，其特征在于，所...
【专利技术属性】
技术研发人员：马振兴，
申请(专利权)人：上海宸积半导体科技有限公司，
类型：新型
国别省市：
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