升降机系统技术方案

本发明专利技术提供一种升降机系统，包括：升降机本体以及保护装置；升降机本体包括运动台和丝杆，丝杆围绕自身轴线可转动，以驱动运动台沿丝杆的轴向移动；保护装置包括限位单元和监测单元；限位单元包括限位件，限位件沿自身轴向可移动，限位件在检修升降机本体时，与运动台相抵靠；监测单元包括监测件，监测件与丝杆间隔设置，用于监测丝杆的转速。如此配置，限位件在检修升降机本体时，与运动台相抵靠，限制运动台沿丝杆的轴向的移动，保证了操作者在检修过程中的安全；监测件用于监测丝杆的转速，并在四个丝杆的转速不一致时发出报警信号，保证在丝杆发生错位或监测件的位置发生变化时，及时通知操作者，提升了整个升降机系统的安全性和实用性。和实用性。和实用性。

【技术实现步骤摘要】
升降机系统


[0001]本专利技术涉及半导体设备领域，尤其是一种升降机系统。

技术介绍

[0002]在半导体生产制造过程中，磁场可以使晶棒的轴向均匀性得到保证，而磁场通过螺旋升降机进行承载，在长期的运转过程中可能存在失效的现象，此外螺旋升降机在长期运转过程中，丝杆存在错位现象，对于上述过程，将产生较大的安全隐患，尤其是负载磁场，发生意外事故会对产品或人员造成较大伤害。

技术实现思路

[0003]本专利技术的目的在于提供一种升降机系统，以解决升降机在运转过程中，失效或丝杆错位造成安全隐患的问题。
[0004]为了达到上述目的，本专利技术提供了一种升降机系统，包括：升降机本体以及保护装置；
[0005]所述升降机本体包括运动台和丝杆，所述丝杆围绕自身轴线可转动，以驱动所述运动台沿所述丝杆的轴向移动；
[0006]所述保护装置包括限位单元和监测单元；
[0007]所述限位单元包括限位件，所述限位件沿自身轴向可移动，所述限位件用于在检修所述升降机本体时，与所述运动台相抵靠，以限制所述运动台沿丝杆的轴向的移本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种升降机系统，其特征在于，包括：升降机本体以及保护装置；所述升降机本体包括运动台和丝杆，所述丝杆围绕自身轴线可转动，以驱动所述运动台沿所述丝杆的轴向移动；所述保护装置包括限位单元和监测单元；所述限位单元包括限位件，所述限位件沿自身轴向可移动，所述限位件用于在检修所述升降机本体时，与所述运动台相抵靠，以限制所述运动台沿丝杆的轴向的移动；所述监测单元包括监测件，所述监测件与所述丝杆间隔设置，所述监测件用于监测所述丝杆的转速。2.如权利要求1所述的升降机系统，其特征在于，所述限位单元还包括限位件套筒，所述限位件套筒具有沿自身轴向开设的第一通孔，所述限位件沿自身轴向可滑动地穿设于所述第一通孔。3.如权利要求2所述的升降机系统，其特征在于，所述限位单元还包括驱动件，所述驱动件与所述限位件连接，所述驱动件用于驱动所述限位件围绕自身轴线转动，和/或驱动所述限位件沿自身轴向移动。4.如权利要求3所述的升降机系统，其特征在于，所述限位件套筒具有第一凹槽，所述第一凹槽贯穿所述限位件套筒的外壁；所述第一凹槽具有第一延伸段、第二延伸段以及连接段，所述连接段连接所述第一延伸段和所述第二延伸段，所述第一延伸段至所述运动台的距离大于所述第二延伸段至所述运动台的距离；所述升降机本体具有运转状态和检修状态，所述升降机本体处于所述运转状态时，所述驱动件容置于所述第一延伸段，所述限位件与所述运动台间隔设置；所述升降机本体处于所述检修状态时，所述驱动件容置于所述第二延伸段，所述限位件与所述运动台相抵靠。5.如权利要求4所述的升降机系统，其特征在于，所述限位单元还包括限位监控件，所...

【专利技术属性】
技术研发人员：郭鸿震，雷友述，沈严喆，毛志飞，
申请(专利权)人：上海新昇半导体科技有限公司，
类型：发明
国别省市：