一种纳米压印工作模的制作设备及其制作方法技术

本发明专利技术公开了一种纳米压印工作模的制作设备及其制作方法，该纳米压印工作模的制作设备，包括：上平台、基板、母版、垫块、下平台、滑轨、滑块、连接板、圆形金属柱和承载板；所述承载板上固定连接有四个滑轨，所述每个滑轨上滑动连接有滑块，所述连接板设置在在滑块上，所述连接板两侧开设有两个圆形孔洞，所述圆形金属柱设置在圆形孔洞内，所述下平台固定连接在圆形金属柱顶端，所述下平台放置有垫块，所述母版卡设在垫块内，所述基板通过上平台吸附在母版上方。本发明专利技术通过使用三个垫块的方式替代三点校平功能，将设备制作转移到本发明专利技术上制作，从而替代设备，释放设备产能，并通过垫块限定基板和母版之间的高度差，保证模具厚度均匀性。性。性。

【技术实现步骤摘要】
一种纳米压印工作模的制作设备及其制作方法


[0001]本专利技术属于纳米压印领域，具体涉及一种纳米压印工作模的制作设备及其制作方法。

技术介绍

[0002]现有纳米压印领域需要将模具图案，经过工作模制作工艺，将图案转移到工作模上，然后通过工作模，将图案转移到玻璃基底上，形成产品图案。现有工作模制作是在设备上进行制作，工作模制作时间比较久，固化时间一般＞8H，再次之间设备无法继续作业，影响设备产能。因此需要提供一种能够替代设备作业，提高设备产能等的设备或方法。

技术实现思路

[0003]本专利技术的目的在于提供一种纳米压印工作模的制作设备及其制作方法，以克服现有技术的纳米压印工作模制作时间比较久、设备产能低的技术问题。
[0004]为解决上述技术问题，本专利技术采用如下技术方案：
[0005]一种纳米压印工作模的制作设备，包括：上平台、基板、母版、垫块、下平台、滑轨、滑块、连接板、圆形金属柱和承载板；所述承载板上固定连接有四个滑轨，所述每个滑轨上滑动连接有滑块，所述连接板设置于在滑块上，所述连接板两侧开设有两个圆形本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种纳米压印工作模的制作设备，其特征在于，包括：上平台(1)、基板(2)、母版(3)、垫块(4)、下平台(5)、滑轨(6)、滑块(7)、连接板(8)、圆形金属柱(9)和承载板(10)；所述承载板(10)上固定连接有四个滑轨(6)，所述每个滑轨(6)上滑动连接有滑块(7)，所述连接板(8)设置于滑块(7)上，所述连接板(8)两侧开设有两个圆形孔洞，所述圆形金属柱(9)设置在圆形孔洞内，所述下平台(5)固定连接在圆形金属柱(9)顶端，所述下平台(5)上放置有母版(3)，所述垫块(4)放置在母版(3)的真空吸盘上，所述基板(2)通过上平台(1)吸附在母版(3)上方。2.根据权利要求1所述的一种纳米压印工作模的制作设备，其特征在于，承载板(10)通过四个吸盘固定在地面上。3.根据权利要求1所述的一种纳米压印工作模的制作设备，其特征在于，滑块(7)与电机相连。4.根据权利要求1所述的一种纳米压印工作模的制作设备，其特征在于，所述垫块(4)有三个。5.根据权利要求4所述的一种纳米压印工作模的制作设备，其特征在于，所述垫块(4)根据母版(3)厚度不一选择不同厚度的垫块(4)。6.根据权利要求4所述的一种纳米压印工作模的制作设备，其特征在于，三个垫块(...

【专利技术属性】
技术研发人员：刘守航，金松，李伟龙，
申请(专利权)人：华天慧创科技西安有限公司，
类型：发明
国别省市：