【技术实现步骤摘要】
一种用于薄膜产品的蚀刻装置
[0001]本技术涉及蚀刻装置
,具体为一种用于薄膜产品的蚀刻装置。
技术介绍
[0002]蚀刻是将材料使用化学反应而移除的技术,通过曝光制版、显影后,将要蚀刻区域的保护膜去除,在蚀刻时接触化学溶液,达到溶解腐蚀的作用,形成凹凸或者镂空成型的效果,如中国专利CN213519863U公开的一种薄膜太阳能电池生产用蚀刻装置,其技术方案:包括装置主体,所述装置主体的上端设置有蚀刻槽,所述蚀刻槽的一侧外表面设置有过滤管,所述过滤管的内部设置过滤网,所述过滤管的外表面设置有螺纹连接管,所述蚀刻槽的一侧外表面设置有螺纹孔,所述过滤管的一端设置有导流管,所述导流管的外表面设置有旋转螺纹,所述蚀刻槽的上端外表面设置有防护盖,所述防护盖的外表面设置有连接块,所述连接块的外表面设置有橡胶层,所述蚀刻槽与防护盖之间设置有合页,所述导流管的一端设置有转接管,所述蚀刻槽的内部设置有喷淋管;
[0003]其在实际使用中,针对薄膜类产品进行蚀刻时,蚀刻液会随着薄膜的移动而形成滴挂,洒到回流液槽之外,造成蚀刻液损耗 ...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种用于薄膜产品的蚀刻装置,包括蚀刻箱(1)、回流液槽(2)、玻璃盖(3)、喷淋板(4)、喷气板(5)和气路横管(6),其特征在于:所述回流液槽(2)固定连通设置在蚀刻箱(1)的下部,所述蚀刻箱(1)的上方盖设有玻璃盖(3),所述蚀刻箱(1)的内部固定设置有喷淋板(4),所述蚀刻箱(1)的内部倾斜设置有喷气板(5),所述喷气板(5)的数量一共有两组,且两组上下对称设置,两组所述喷气板(5)均向喷淋板(4)所在的方向对称倾斜,所述喷气板(5)的一侧固定连通设置有气路横管(6),所述喷气板(5)的内部设置有棉芯结构,所述棉芯结构具有气体均匀功能和便捷更换功能。2.根据权利要求1所述的一种用于薄膜产品的蚀刻装置,其特征在于:所述棉芯结构包括出气间隙(501)、定位槽(502)、插口槽缝(503)、棉芯条(504)和黏贴胶布(505)。3.根据权利要求2所述的一种用于薄膜产品的蚀刻装置,其特征在于:所述出气间隙(501)贯穿开设在喷气板(5)的内部,且出气间隙(501)与气路横管(6)的内部连通,所述出气间隙(501)的内壁表面位置开...
【专利技术属性】
技术研发人员:苏伟,陆永荣,王海峰,
申请(专利权)人:深圳市志凌伟业光电有限公司,
类型:新型
国别省市:
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