一种基于差分原理的高精度高分辨率直线压电电机制造技术

本发明专利技术公开了一种基于差分原理的高精度高分辨率直线压电电机，包括一级驱动系统与二级驱动系统，所述一级驱动系统包括底座、第一齿、第二齿、第三齿、第一纵向直线驱动器、第二纵向直线驱动器与第三纵向直线驱动器，所述纵向直线驱动器固连且位于直线导轨上的中间滑块将运动传递到二级驱动系统，所述二级驱动系统包括第四纵向直线驱动器、第五纵向直线驱动器、第六纵向直线驱动器、第四齿、第五齿与第六齿，所述直线导轨上设有动子。本发明专利技术采用上述的一种基于差分原理的高精度高分辨率直线压电电机，提高了直线压电电机的运动分辨率，通过调整各部分尺寸及直线驱动器、驱动齿的数量实现更高的分辨率。实现更高的分辨率。实现更高的分辨率。

【技术实现步骤摘要】
一种基于差分原理的高精度高分辨率直线压电电机


[0001]本专利技术属于精密驱动与定位
，涉及一种基于差分原理的高精度高分辨率直线压电电机。

技术介绍

[0002]压电电机具有响应速度快、结构简单、不受电磁干扰的特点，在特殊环境下的精密驱动与定位系统中应用。
[0003]现有压电的驱动原理为通过摩擦界面的摩擦力进行传动，将压电定子的周期性的微运动转化为动子的步进式运动。然而由于摩擦力变化的复杂性以及摩擦界面的不确定性，电机的驱动方法都存在步态不一致性且步态误差具有累积性，这种步态累积误差需要通过复杂的闭环控制系统才能实现精确定位。
[0004]复杂的闭环控制系统不仅需要高跨尺度高精密传感器和控制器，既昂贵又占体积，增加了成本，限制了其微型化的发展，而且还会降低其在实际应用中的可靠性。

技术实现思路

[0005]本专利技术的目的是提供一种基于差分原理的高精度高分辨率直线压电电机，以解决上述
技术介绍
中提出的问题。
[0006]为实现上述目的，本专利技术提供了一种基于差分原理的高精度高分辨率直线压电电机，本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种基于差分原理的高精度高分辨率直线压电电机，其特征在于：本发明公开了一种高精度高分辨率的步进压电直线电机，包括一级驱动系统与二级驱动系统，所述一级驱动系统包括底座、第一齿、第二齿、第三齿、第一纵向直线驱动器、第二纵向直线驱动器与第三纵向直线驱动器，所述纵向直线驱动器固连且位于直线导轨上的中间滑块将运动传递到二级驱动系统，所述二级驱动系统包括第四纵向直线驱动器、第五纵向直线驱动器、第六纵向直线驱动器、第四齿、第五齿与第六齿，所述直线导轨上设有动子。本发明采用上述的一种基于差分原理的高精度高分辨率直线压电电机，提高了直线压电电机的运动分辨率，通过调整各部分尺寸及直线驱动器、驱动齿的数量实现更高的分辨率。2.根据权利要求1所述的一种基于差分原理的高精度高分辨率直线压电电机，其特征在于：所述底座为齿距为D的齿形微结构且固定于机架。3.根据权利要求1所述的一种基于差分原理的高精度高分辨率直线压电电机，其特征在于：所述n个均匀分布的第一齿、第二齿、第三齿分别与底座齿形为机构配合驱动的齿距为：所述D为一级驱动动子齿距，所述L为一级驱动动子啮合齿的间距。4.根据权利要求1所述的一种基于差分原理的高精度高分辨率直线压电电机，其特征在于：所述n个均匀分布的第一纵向直线驱动器、第二纵向直线驱动器与第三纵向直线驱动器的间距为：所述D为一级驱动动子齿距，所述L为一级驱动动子啮合齿的间距。5.根据权利要求1所述的一种...

【专利技术属性】
技术研发人员：章阳坤，栾雨昂，劳梦泽，胡泓，
申请(专利权)人：哈尔滨工业大学深圳，
类型：发明
国别省市：