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本发明公开了一种基于差分原理的高精度高分辨率直线压电电机，包括一级驱动系统与二级驱动系统，所述一级驱动系统包括底座、第一齿、第二齿、第三齿、第一纵向直线驱动器、第二纵向直线驱动器与第三纵向直线驱动器，所述纵向直线驱动器固连且位于直线导轨上的...
该专利属于哈尔滨工业大学（深圳）所有，仅供学习研究参考，未经过哈尔滨工业大学（深圳）授权不得商用。

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