一种低含氧量银蒸镀材的制备方法技术

本发明专利技术属于蒸发镀材技术领域，涉及一种低含氧量银蒸镀材的制备方法，步骤包括：S1、铸锭，S2、车削，S3、保温，S4、成型，S5、钢珠研磨，S6、超声清洗和S7、脱水干燥。本方法能够通过车削去除银锭表面的氧化层，成型为银蒸镀材后再利用钢珠研磨去除银蒸镀材表面的少量氧化层，然后对表面进行超声清洗，得到氧含量低于10ppm的银蒸镀材，避免了其使用时因为氧气释放带来的银液喷溅问题，降低了材料的浪费。降低了材料的浪费。

【技术实现步骤摘要】
一种低含氧量银蒸镀材的制备方法


[0001]本专利技术涉及蒸发镀材
，特别涉及一种低含氧量银蒸镀材的制备方法。

技术介绍

[0002]蒸发镀膜工艺广泛运用于半导体行业内，其中银蒸镀材作为半导体工艺内银膜层的主要材料，起到至关重要的作用。但现市场内的高纯度银蒸镀材普遍存在氧含量偏高的问题，从而导致在蒸镀过程中，银液在坩埚内喷溅，造成大量损耗，使得银蒸镀材利用率下降。
[0003]现有技术中，银蒸镀材的制造方式步骤一般为：
[0004]①
将电解银熔炼成液态，然后保温，继而冷却成型为银锭；
[0005]②
对银锭进行热挤压/造粒制程，得到中间料；
[0006]③
对中间料进行尺寸加工，得到所需尺寸的银蒸镀材；
[0007]④
对成型后的银蒸镀材进行清洁处理，最后真空包装存储。
[0008]产生以上问题的原因在于：银锭在浇注后冷却成型时，必然会暴露在大气中，电解银从液态转变成固态会经过银的熔点(961.63℃)，后又经过保温工艺，在这个温度下大气中的氧分子会先分解成本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种低含氧量银蒸镀材的制备方法，其特征在于：步骤包括：S1、铸锭：将电解银熔炼至完全融化后浇注成表面光滑的银锭；S2、车削：对银锭的表面车削1～10mm，得到车削后银锭；S3、保温：将所述车削后银锭在真空环境下保温，保温温度为600～900℃、保温时间为0.5～4h，得到保温后银锭；S4、成型：将保温后银锭熔融成型为设计尺寸，得到银蒸镀材；S5、钢珠研磨：将所述银蒸镀材与不锈钢钢珠混合进行研磨，研磨时间为0.5～4h，用将研磨碎屑冲洗干净，过筛，得到研磨后银蒸镀材；S6、超声清洗：将所述研磨后银蒸镀材放入有机溶剂，在超声氛围下清洗5～60min，取出后重新加入纯水中，再次在超声氛围下清洗5～60min，...

【专利技术属性】
技术研发人员：邹天蔚，方家芳，胡雪莲，
申请(专利权)人：光洋新材料科技昆山有限公司，
类型：发明
国别省市：