一种准分子激光器光路调试系统技术方案

本实用新型专利技术提供了一种准分子激光器光路调试系统，包括：准分子激光器、光束输送结构和激光调节结构；激光调节结构包括与准分子激光器相连的第一反射组件和与光束输送结构相连的第二反射组件，所述第一反射组件和第二反射组件设于激光的输送路径上，使准分子激光器发出的激光进入光束输送结构；所述第一反射组件和第二反射组件之间能够相对运动，从而调节输入光束输送结构的激光的强度。通过可以调节激光光束传输路径长度的激光调节结构，实现了对激光光束传输路径弯折造成的能量损失的补偿，无需挪动扫描仪，调节方式灵活，精确度较高。精确度较高。精确度较高。

【技术实现步骤摘要】
一种准分子激光器光路调试系统


[0001]本技术涉及准分子激光器
，具体而言，涉及一种准分子激光器光路调试系统。

技术介绍

[0002]准分子激光，是指受激二聚体所产生的激光。是在激光混合气体受到外来能量的激发所引起的一系列物理及化学反应中曾经形成但转瞬即逝的分子，其寿命仅为几十毫微秒。目前准分子激光已广泛应用在临床医学以及科学研究与工业应用方面，如：钻孔、标记表面处理、激光化学气相沉积，物理气相沉积，磁头与光学镜片和硅晶圆的清洁，微机电系统相关的微制造技术等。
[0003]但是，通常准分子激光器发射的光束无法直接应用于微加工过程中，需要叠加光路调试系统对初始光束进行调节，并且由于设备体积和操作平台的限制，使用准分子激光器时，光路调试系统中的光束路径无法采用直线，一般会对初始激光光束进行透反射处理，以实现衰减和方向调整等目的。经试验发现，弯折过的激光束会产生能量损失，每对激光束进行一次弯折，最终输出的光束就会发生约4％的能量损失，且该偏差通常未考量到光路系统的整体衰减量中，当激光束的弯折次数较多时，损失的能量将会造成结果发生偏移，本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种准分子激光器(1)光路调试系统，其特征在于，包括：准分子激光器(1)；光束输送结构(2)；激光调节结构(3)，包括与准分子激光器(1)相连的第一反射组件(31)和与光束输送结构(2)相连的第二反射组件(32)，所述第一反射组件(31)和第二反射组件(32)设于激光的输送路径上，使准分子激光器(1)发出的激光进入光束输送结构(2)；所述第一反射组件(31)和第二反射组件(32)之间能够相对运动，从而调节输入光束输送结构(2)的激光的强度。2.根据权利要求1所述的一种准分子激光器(1)光路调试系统，其特征在于，所述激光调节结构(3)还包括：第一管路(33)，设于第一反射组件(31)和第二反射组件(32)之间，所述准分子激光器(1)输出的激光经第一反射组件(31)反射后与第一管路(33)的光轴同轴；所述第一管路(33)能够沿着第一反射组件(31)和第二反射组件(32)相互靠近的方向收缩，以及沿着第一反射组件(31)和第二反射组件(32)相互远离的方向伸长。3.根据权利要求2所述的一种准分子激光器(1)光路调试系统，其特征在于，所述第一管路(33)包括：固定管路(331)；伸缩管路(332)，与固定管路(331)同轴设置且滑动配合；所述固定管路(331)与第一反射组件(31)和第二反射组件(32)中的一个相连，所述伸缩管路(332)与第一反射组件(31)和第二反射组件(32)中的另一个相连。4.根据权利要求3所述的一种准分子激光器(1)光路调试系统，其特征在于，所述第一管路(33)还包括：刻度部(333)，设置于固定管路(331)或伸缩管路(332...

【专利技术属性】
技术研发人员：梁贤石，金成昱，
申请(专利权)人：成都高真科技有限公司，
类型：新型
国别省市：