激光装置制造方法及图纸

一种激光装置，具备：激光光源，其出射激光；相位控制部，其用于输入自上述激光光源出射的上述激光，控制上述激光的一部分的光的空间相位并作为控制光出射，且将上述激光的另一部分的光作为非控制光出射；第1光学系统，其用于将自上述相位控制部出射的上述控制光照射于对象物；检测器，其用于检测自上述相位控制部出射的上述非控制光；第2光学系统，其用于将自上述相位控制部出射的上述非控制光朝上述检测器的检测面聚光；及控制部，其执行用于基于来自上述检测器的上述非控制光的检测结果，以修正上述相位控制部中的上述控制光的空间相位的控制状态的方式控制上述相位控制部的修正处理。修正处理。修正处理。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】激光装置


[0001]本专利技术涉及一种激光装置。

技术介绍

[0002]在专利文献1中记载有一种激光加工装置。该激光加工装置具备聚光透镜、可变焦点透镜、聚光位置测量部、聚光位置控制部、光学系统、及光源。聚光透镜将由光源供给的激光聚光于处理对象的处理对象表面。由光源供给的激光经由光纤，通过光学系统光学性地成形并通过聚光透镜聚光。可变焦点透镜配置于聚光透镜的光路上。可变焦点透镜可通过施加电压而变更焦点距离。聚光位置测量部使用通过半反射镜取出的光，测量聚光透镜的聚光位置。
[0003]现有技术文献
[0004]专利文献
[0005]专利文献1：日本特开2020
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040072号公报

技术实现思路

[0006]专利技术所要解决的问题
[0007]在上述专利文献1所记载的激光加工装置中，聚光位置控制部以聚光位置测量部测量的聚光位置与设定的规定的聚光位置的差为设定的允许范围的方式，控制可变焦点透镜的焦点位置。由此，谋求维持初始的焦点位置。
[0008]然而，对于上述激光加工装置，例本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】1.一种激光装置，其中，具备：激光光源，其出射激光；相位控制部，其用于输入自所述激光光源出射的所述激光，控制所述激光的一部分的光的空间相位并作为控制光出射，且将所述激光的另一部分的光作为非控制光出射；第1光学系统，其用于将自所述相位控制部出射的所述控制光照射于对象物；检测器，其用于检测自所述相位控制部出射的所述非控制光；第2光学系统，其用于将自所述相位控制部出射的所述非控制光朝所述检测器的检测面聚光；及控制部，其执行用于基于来自所述检测器的所述非控制光的检测结果，以修正所述相位控制部中的所述控制光的空间相位的控制状态的方式控制所述相位控制部的修正处理。2.如权利要求1所述的激光装置，其中，所述控制部执行：第1取得处理，其基于所述检测结果，取得作为与所述非控制光的光轴方向交叉的面内的所述非控制光的位置的偏离量的第1偏离量；及第1修正处理，其作为所述修正处理，基于所述第1偏离量，以修正与所述控制光的光轴方向交叉的面内的所述控制光的位置偏离的方式控制所述相位控制部。3.如权利要求1或2所述的激光装置，其中，所述控制部执行：第2取得处理，其基于所述检测结果，取得所述非控制光的扩散角；及第2修正处理，其作为所述修正处理，基于所述扩散角，以修正所述控制光的扩散角的方式控制所述相位控制部。4.如权利要求3所述的激光装置，其中，所述控制部在所述第2取得处理中，通过一边检测所述非控制光一边沿着所述非控制光的光轴方向驱动所述检测器，而取得作为所述非控制光在所述检测面上最为聚光的位置的自初始位置起的偏离量的第2偏离量，且基于所述第2偏离...

【专利技术属性】
技术研发人员：栗田隆史，吉村凉，牧野凉，泷口优，
申请(专利权)人：浜松光子学株式会社，
类型：发明
国别省市：