含锆氮化物粉末及黑色紫外线固化型有机组合物制造技术

该含锆氮化物粉末的组成由下述通式(I)表示。通式(I)：(Zr、X、Y)(N、O)，其中，在上述通式(I)中，X表示选自Dy、Er、Gd、Ho、Lu、Nd、Pr、Sc、Sm、Tb及Tm中的至少一种元素，Y表示钇的元素符号，相对于Zr、X和Y的合计含量1摩尔，Y的含量为0摩尔以上，N表示氮，O表示氧，相对于氮和氧的合计含量1摩尔，氧的含量为0摩尔以上。氧的含量为0摩尔以上。氧的含量为0摩尔以上。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】含锆氮化物粉末及黑色紫外线固化型有机组合物


[0001]本专利技术有关一种含锆氮化物粉末及黑色紫外线固化型有机组合物。
[0002]本申请基于2020年11月2日向日本申请的专利申请2020
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183603号主张优先权，并将其内容引用于此。

技术介绍

[0003]绝缘性黑色颜料例如作为构成显示器用的滤色器的黑矩阵、CMOS照相机模块内的遮光材的黑色图案的材料而被利用。作为形成黑色图案的方法，已知有使用含有紫外线固化型有机物和绝缘性黑色颜料的黑色感光性组合物的光刻法。在光刻法中，将黑色感光性组合物涂布到基板上，形成光致抗蚀剂膜。接着，通过在该光致抗蚀剂膜上以图案状曝光紫外光而制作由被曝光固化的固化部分和未被曝光的未固化部分构成的图案。然后，去除未固化部分，形成黑色图案。利用该光刻法形成黑色图案时使用的绝缘性黑色颜料需要透射使光致抗蚀剂膜固化的紫外光，即需要具有紫外光透射性。
[0004]作为具有紫外光透射性的绝缘性黑色颜料，已知有氮化锆粉末。为了提高氮化锆粉末的紫外光透射性，研究了在氮化锆中添加镁和/或铝的方法(本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】1.一种含锆氮化物粉末，所述含锆氮化物粉末的组成由下述通式(I)表示，(Zr、X、Y)(N、O)(I)其中，在上述通式(I)中，X表示选自Dy、Er、Gd、Ho、Lu、Nd、Pr、Sc、Sm、Tb及Tm中的至少一种元素，Y表示钇的元素符号，相对于Zr、X和Y的合计含量1摩尔，Y的含量为0摩尔以上，N表示氮，O表示氧，相对于氮和氧的合计含量1摩尔，氧的含量为0摩尔以上。2.根据权利要求1所述的含锆氮化物粉末，其中，所述含锆氮化物粉末的平均粒径在10nm以上且70nm以下的范围内。3.根据权利要求1或2所述的含锆氮化物粉末，其中，在通过下述方法测定的消光系数中，波长550nm的可见光的消光系数相对于波长365nm的紫外光的消光系数的比值在1.4以上且100以下的范围内，消光系数的测定方法如下：将以质量浓度计含有50ppm含锆氮化物粉末的分散液放入光程长度d的比色皿中，向装有分散液的比色皿照射光，测定透射比色皿的光的透射光强度，将光程长度d、照射到比色皿的光的入射光强度I0、透射比色皿的光的透射光强度I代入下式(1)，算出α作为照射到比色皿的光的消光系数，所述光程长度d的单位为m，I＝I0exp(
‑
α
×
d)
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(1)。4.根据权利要求3所述...

【专利技术属性】
技术研发人员：轻部允也，杉浦佑，
申请(专利权)人：三菱综合材料株式会社，
类型：发明
国别省市：