一种真空度检测方法、装置、真空产品和电子设备制造方法及图纸

本公开提供了一种真空度检测方法、装置、真空产品和电子设备，涉及真空检测技术领域。应用于设置在待测真空区域中的传感器，方法包括：接收外机的射频能量进行充电；当所充电能达到预设阈值，响应于外机的采集指令，进行实时数据采集；响应于外机的读取指令，将实时数据无线传输给外机，以使外机根据实时数据计算待测真空区域的真空度。采用无线充电以及无线数据传输的方式避免了引线对真空环境的影响，实时数据由外机分析计算获得真空度，将真空度值准确且快速地显示出来，操作便捷，实现高效准确的真空度检测。同时能够实现对真空产品出厂前和出厂后的使用全过程的真空度情况实现长期监测。长期监测。长期监测。

【技术实现步骤摘要】
一种真空度检测方法、装置、真空产品和电子设备


[0001]本公开涉及真空检测
，尤其涉及一种真空度检测方法、装置、真空产品和电子设备。

技术介绍

[0002]真空产品的真空度与产品性能息息相关，对真空度的检测是衡量产品是否合格的重要标准。
[0003]此外，在真空产品出厂后，在产品使用和保存过程中真空度也会发生变化，如真空绝热板或者真空玻璃在使用过程中，因某些不确定因素会出现漏气的情况，进而导致产品性能失效。因此在产品出厂后和使用过程中长期跟踪产品性能也是十分必要的。
[0004]目前检测真空度的方法：通过真空绝热板的导热系数来倒推真空绝热板内的真空度，由于真空绝热板的阻隔膜厚度、镀铝层的厚度和芯材的密度等因素都会影响导热系数的数值，检测导热系数的数值无法完全体现真空绝热板的真空度；真空玻璃的真空度检测，采用超声波信号的高频传播特性以及超声波在不同介质中传播能量衰减的情况进行定量分析，由于超声波测量转换复杂，使得该检测方法繁琐低效；若采用有线的真空计进行测量，引线的接口引起真空绝热板或真空玻璃漏气，导致无法获得准确的真空度本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种真空度检测方法，其特征在于，应用于传感器，其中，所述传感器设置在待测真空区域中，所述方法包括：接收外机的射频能量进行充电；当所充电能达到预设阈值，响应于所述外机的采集指令，进行实时数据采集；响应于所述外机的读取指令，将所述实时数据无线传输给所述外机，以使所述外机根据所述实时数据计算所述待测真空区域的真空度。2.根据权利要求1所述的真空度检测方法，其特征在于，所述传感器包括数据采集模块和数据存储模块；在实时数据采集之前，在所述数据存储模块中存储有历史数据，其中，所述历史数据为上一次实时数据采集后获得的；所述当所充电能达到预设阈值，响应于所述外机的采集指令，进行实时数据采集的步骤，包括：根据所述采集指令，通过所述数据采集模块进行实时数据采集，其中，所述实时数据包括，电流、电压、电容、电感和温度；将采集到的所述实时数据存储到所述存储模块替换所述历史数据。3.根据权利要求1所述的真空度检测方法，其特征在于，所述预设阈值为完成一次实时数据采集和传输所需的能量值。4.根据权利要求1所述的真空度检测方法，所述传感器是以纳米材料为敏感元件的真空传感器。5.一种真空度检测方法，其特征在于，应用于外机，所述方法包括：发出射频能量，为所述传感器充电，其中，所述传感器设置在待测真空区域；向所述传感器发出采集指令，以使所述传感器进行实时数据采集；向所述传感器发出读取指令，通过无线传输获取所述传感器采集到的实时数据；根据所述实时数据进行拟合计算，获得所述待测真空区域的真空度。6.根据权利要求5所述的真空度检测方法，其特征在于，所述实时数据包括：电流、电压、电容、电感和温度；所述根据所述实时数据进行拟合计算，获得所述待测真空区域的真空度的步骤，包括：确定所述电流或者温度，统计电压、电容或电感...

【专利技术属性】
技术研发人员：罗瑾，叶光忠，林晓英，汪洋，
申请(专利权)人：厦门圣微科技有限公司，
类型：发明
国别省市：