下载一种真空度检测方法、装置、真空产品和电子设备的技术资料

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本公开提供了一种真空度检测方法、装置、真空产品和电子设备,涉及真空检测技术领域。应用于设置在待测真空区域中的传感器,方法包括:接收外机的射频能量进行充电;当所充电能达到预设阈值,响应于外机的采集指令,进行实时数据采集;响应于外机的读取指令,...
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