X射线衍射装置及测定方法制造方法及图纸

根据本发明专利技术的一个方面，提供了一种X射线衍射装置。X射线衍射装置包括X射线源、试样台、检测器、狭缝部件。X射线源构成为对试样照射X射线。试样台构成为能够设置试样以使X射线衍射。检测器构成为利用检测带以一维方式检测作为衍射后的X射线的衍射X射线。狭缝部件设置在试样台和检测器之间，并且具有衍射X射线能够通过的狭缝。狭缝的长边方向的轴与检测带的长边方向的轴平行。边方向的轴平行。边方向的轴平行。

【技术实现步骤摘要】
X射线衍射装置及测定方法


[0001]本专利技术涉及一种X射线衍射装置以及测定方法。

技术介绍

[0002]在专利文献1中，公开了一种经由平行狭缝分析器来检测X射线的X射线衍射装置。另外，在专利文献2中，公开了一种使用一维检测器、二维检测器等来检测衍射X射线的X射线衍射装置。现有技术文献专利文献
[0003]专利文献1：日本专利公开第2007
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010486号公报专利文献2：日本专利公开第2020
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153724号公报

技术实现思路

专利技术所要解决的问题
[0004]然而，在如专利文献1那样经由平行狭缝分析器(即，PSA(Parallel Slit Analyzer))来检测X射线的X射线衍射测定中，难以维持高精度和高强度的简档(Profile；简档/曲线/分布)，因此仍然存在改进的空间。
[0005]此外，在如专利文献2那样不使用PSA的X射线衍射测定中，由于取决于试样的设置条件、试样形状等而无法维持精度和准确度，因此依然存在改进的空间。
[0006]本专利技术是为了解决这些问题而完成的，鉴于上述情况，本专利技术的目的在于提供一种X射线衍射装置以及测定方法，能够不依赖于条件而以更高强度获得高精度和高准确度的简档。用于解决课题的方案
[0007]根据本专利技术的一个方面，提供了一种X射线衍射装置。X射线衍射装置包括X射线源、试样台、检测器、狭缝部件。X射线源构成为对试样照射X射线。试样台构成为能够设置试样以使X射线衍射。检测器构成为利用检测带以一维方式检测作为衍射后的X射线的衍射X射线。狭缝部件设置在试样台及检测器之间，并且具有衍射X射线能够通过的狭缝。狭缝的长边方向的轴与检测带的长边方向的轴平行。
附图说明
[0008]图1是表示实施例1的X射线衍射装置100的示例的侧视图。图2是说明X射线衍射装置100与简档的强度之间的关系性的图。图3是说明X射线衍射装置100的各参数的图。图4是说明X射线衍射装置100与峰的精度的关系性的图。图5是说明当测角仪角2Θ与衍射角2θ一致时检测器160的检测面160a与X射线检测位置D的关系性的示例的侧视图。
图6是说明当测角仪角2Θ与衍射角2θ一致时检测器160与X射线检测位置D的关系性的示例的立体图。图7是说明当测角仪角2Θ与衍射角2θ不一致时检测器160与X射线检测位置D的关系性的示例的立体图。图8是说明当测角仪角2Θ与衍射角2θ不一致时检测器160与X射线检测位置D的关系性的示例的立体图。图9是说明通过X射线衍射测定而获得的简档的图。图10是说明取得相同衍射角2θ的数据时的X射线衍射装置100的动作的图。图11是表示实施例1的X射线衍射装置100的动作的示例的侧视图。图12是表示实施例1的X射线衍射装置100的动作的示例的侧视图。图13是表示比较例1的X射线衍射装置200的示例的侧视图。图14是表示比较例2的X射线衍射装置300的示例的侧视图。图15是说明X射线衍射测定中的准确度以及精度的示例的图。图16是表示使用各X射线衍射装置100、X射线衍射装置200、X射线衍射装置300测定的结果示例的图。图17是表示使用实施例1中的X射线衍射装置100使试样F在上下方向上移动而进行测定的结果示例的图。图18是表示使用比较例1中的X射线衍射装置200使试样F在上下方向上移动而进行测定的结果示例的图。图19是表示使用比较例2中的X射线衍射装置300使试样F在上下方向上移动而进行测定的结果示例的图。图20是表示使用实施例1中的X射线衍射装置100使试样表面向倾斜方向旋转而进行测定的结果示例的图。图21是表示使用比较例1中的X射线衍射装置200使试样表面向倾斜方向旋转而进行测定的结果示例的图。图22是表示使用比较例2中的X射线衍射装置300使试样表面向倾斜方向旋转而进行测定的结果示例的图。图23是表示使用实施例1中的X射线衍射装置100使入射X射线120的波束宽度变化时的测定结果的示例的图。图24是表示使用比较例1中的X射线衍射装置200使入射X射线120的波束宽度变化时的测定结果的示例的图。图25是表示使用比较例2中的X射线衍射装置300使入射X射线120的波束宽度变化时的测定结果的示例的图。图26是表示使用实施例1中的X射线衍射装置100改变入射X射线120的入射角度而进行测定的结果示例的图。图27是表示使用比较例1中的X射线衍射装置200改变入射X射线220的入射角度而进行测定的结果示例的图。图28是表示使用比较例2中的X射线衍射装置300改变入射X射线的入射角度而进行测定的结果示例的图。
图29是表示实施例1的变形例1的X射线衍射装置400的示例的侧视图。图30是表示实施例1的变形例1的X射线衍射装置400的示例的俯视图。图31是表示实施例1的变形例2的X射线衍射装置500的示例的侧视图。图32是表示实施例1的变形例3的X射线衍射装置600的示例的侧视图。图33是表示实施例1的变形例4的X射线衍射装置700的示例的侧视图。图34是表示实施例1的变形例5的X射线衍射装置800的示例的侧视图。图35是放大图34的虚线所包围的区域的放大图。图36是表示实施例2的X射线衍射装置900的示例的立体图。图37是表示使用针孔部件1050及二维检测器1060的X射线衍射装置1000的示例的立体图。
具体实施方式
[0009]以下将基于实施例来说明本专利技术所涉及的X射线衍射装置。以下示出的实施例中的各种特征事项均可互相组合。另外，本专利技术并不限定于所述实施例。此外，在本说明书的附图中，为了以易于理解的方式显示特征部分，构成要素可能以与实际情况不同的比例显示。另外，在本说明书中，将相互正交的3个空间轴设为X轴、Y轴、Z轴，将沿着X轴、Y轴、Z轴的方向分别设为X轴方向、Y轴方向、Z轴方向。A轴方向、B轴方向、C轴方向也同样如此。
[0010]X射线衍射测定的方法有面外(Out ofPlane)测定和面内(In
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Plane)测定，其分别由测定的晶格面的方向规定。如图1所示，面外测定是评估不垂直于试样表面的晶格面的手法。另一方面，如后述的图36所示，面内测定是评估垂直于试样表面的晶格面的方法。
[0011][实施例1]首先，说明进行面外测定的情况。图1是表示实施例1的X射线衍射装置100的示例的侧视图。X射线衍射装置100包括X射线源110、试样台130、狭缝部件150以及检测器160。X射线源110构成为能够对试样F照射入射X射线120。X射线衍射装置100是进行面外测定的装置。
[0012]图1中的XYZ坐标系是以试样台130的试样F的设置面130a为基准而设定的笛卡尔坐标系。轴的正负如图所示。由X轴方向及Y轴方向规定的面与试样台130的设置面130a平行，Z轴方向与试样台130的设置面130a垂直。以下侧视图中的X轴方向、Y轴方向以及Z轴方向也同样如此。在设置面130a上平坦地均匀微量的试样F的情况下，其厚度小到可忽略的程度，因此可以认为试样表面与设置面130a一致。另外，本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种X射线衍射装置，其特征在于，包括：X射线源、试样台、检测器、狭缝部件；所述X射线源构成为对试样照射X射线；所述试样台构成为设置所述试样以使所述X射线衍射；所述检测器构成为利用检测带以一维方式检测作为衍射后的所述X射线的衍射X射线；所述狭缝部件设置在所述试样台及所述检测器之间，并且具有所述衍射X射线能够通过的狭缝；所述狭缝的长边方向的轴与所述检测带的长边方向的轴平行。2.根据权利要求1所述的X射线衍射装置，其特征在于，所述狭缝具有锥形状，以从所述试样台向所述检测器扩展。3.根据权利要求1或2所述的X射线衍射装置，其特征在于，所述狭缝的短边方向的宽度比所述检测带的短边方向的宽度更宽。4.根据权利要求1至3中任一项所述的X射线衍射装置，其特征在于，测角仪圆的中心、所述狭缝的短边方向的中心以及所述检测带设置在一条直线上。5.根据权利要求4所述的X射线衍射装置，其特征在于，所述衍射X射线的衍射角取决于从所述狭缝到所述检测器的距离。6.根据权利要求4或5所述的X射线衍射装置，其特征在于，所述狭缝与所述检测器之间的距离取决于所述衍射X射线的衍射角、测角仪的角度以及从一个检测带到另一个检测带的距离。7.根据权利要求4至6中任一项所述的X射线衍射装置，其特征在于，所述检测器在所述衍射X射线的衍射角与测角仪角相等时，用第一检测带检测所述衍射X射线，在所述衍射角与所述测角仪角不相等时，用第二检测带检测所述衍...

【专利技术属性】
技术研发人员：小中尚，
申请(专利权)人：株式会社理学，
类型：发明
国别省市：