一种硅片吸盘抓取结构制造技术

本实用新型专利技术公开了一种硅片吸盘抓取结构，包括安装架，所述安装架的底部固定连接有固定板，所述固定板的后侧固定安装有驱动电机，所述驱动电机的输出端固定连接有摆动板，所述摆动板的底部固定连接有矩形框，所述矩形框的内壁固定安装有双杆液压缸，所述双杆液压缸的输出端固定连接有移动板。本实用新型专利技术通过上述等结构的配合，实现了设置两侧方向的真空吸盘板能够对硅片进行吸附夹紧，并通过防护套对夹紧后硅片的侧面约束，驱动端下的摆动板能够调节真空吸盘板倾斜角度，以及后续定位套和定位板连接固定用于保证硅片在悬空挪移过程中防晃动的效果。动的效果。动的效果。

【技术实现步骤摘要】
一种硅片吸盘抓取结构


[0001]本技术涉及硅片搬运结构
，具体为一种硅片吸盘抓取结构。

技术介绍

[0002]在硅片生产过程中，当硅片完成制绒、刻蚀和扩散工艺后，被放置在多层的专用篮具中等待抓取，机械手控制真空吸附盘进行移动，将在专用篮具中等待抓取的一组硅片，接触式吸附抓取起来，由于现有硅片间距为毫米级，硅片材质较脆且厚度很薄，人工操作容易导致工作效率低、碎片率高，而在排运过程中的部分硅片可能会因高度问题进行倾斜放置，导致不易进行不同角度放置硅片的夹紧挪移，给使用者的工作带来了不便，给实际使用带来了一定的不利影响，因此需要进行改进。

技术实现思路

[0003]本技术的目的在于提供一种硅片吸盘抓取结构，设置两侧方向的真空吸盘板能够对硅片进行吸附夹紧，并通过防护套对夹紧后硅片的侧面约束，驱动端下的摆动板能够调节真空吸盘板倾斜角度，以及后续定位套和定位板连接固定用于保证硅片在悬空挪移过程中防晃动的效果，给使用者的工作带来了便利的优点，给实际使用带来了一定的有利影响，解决了以上
技术介绍
中提出的问题。
[0004]为实现上述目的，本技术提供如下技术方案：一种硅片吸盘抓取结构，包括安装架，所述安装架的底部固定连接有固定板，所述固定板的后侧固定安装有驱动电机，所述驱动电机的输出端固定连接有摆动板，所述摆动板的底部固定连接有矩形框，所述矩形框的内壁固定安装有双杆液压缸，所述双杆液压缸的输出端固定连接有移动板，所述移动板的底部连接有卡接组件，所述卡接组件的表面连接有真空吸盘板，所述真空吸盘板的底部固定连接有软垫。
[0005]优选的，所述固定板的底部开设有凹槽，所述凹槽的内壁固定安装有电动气缸，所述电动气缸的输出端固定连接有定位套，所述矩形框的顶部固定连接有定位板，所述定位板的表面与定位套的内壁卡接。
[0006]优选的，所述卡接组件包括卡板和卡槽，所述卡板固定连接在移动板的底部上，所述卡槽开设在真空吸盘板的顶部上，所述卡槽的内壁与卡板的表面卡接且适配。
[0007]优选的，所述矩形框内壁的底部开设有导向槽，所述移动板的表面固定连接有导向板，所述导向板的表面与导向槽的内壁滑动连接。
[0008]优选的，所述真空吸盘板内侧设有吸附盘且吸附盘数量至少为九个，且数量至少为九个的吸附盘均匀分布在真空吸盘板上，相连的吸附盘之间连接有隔板。
[0009]优选的，所述真空吸盘板的前侧和后侧均开设有插槽，所述插槽的内壁卡接有防护套。
[0010]与现有技术相比，本技术的有益效果是：双杆液压缸启动能够带动移动板进行移动，移动板移动能够带动真空吸盘板进行移动，在导向板和导向槽的引导作用下，保证
了移动板以及真空吸盘板的平稳移动，两个真空吸盘板相互靠近能够进行中间硅片的夹紧吸附，在卡接组件的作用下，便于使用者进行真空吸盘板的后续拆装检修，在真空吸盘板前侧和后侧的插槽作用下，能够进行防护套的连接固定，若加工后硅片为倾斜进行排序运输时，驱动电机启动能够带动摆动板进行摆动，进而带动两个真空吸盘板进行倾斜，将倾斜硅片进行夹紧后续吸附，后续真空吸盘板摆动恢复正位后，电动气缸启动能够带动定位套靠近定位板，完成定位套卡接在定位板上的操作，进行保证硅片在悬空挪移过程中防晃动的效果。
附图说明
[0011]图1为本技术的正视图；
[0012]图2为本技术的正视剖面视图；
[0013]图3为本技术真空吸盘板的侧视图；
[0014]图4为本技术的A处放大图。
[0015]图中：1、安装架；2、固定板；3、驱动电机；4、摆动板；5、矩形框；6、双杆液压缸；7、移动板；8、真空吸盘板；9、软垫；10、电动气缸；11、定位套；12、定位板；13、卡板；14、卡槽；15、导向槽；16、导向板；17、吸附盘；18、插槽；19、防护套。
具体实施方式
[0016]下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本技术保护的范围。
[0017]实施例1，请参阅图1至图4，本技术提供一种技术方案：一种硅片吸盘抓取结构，包括安装架1，安装架1的底部固定连接有固定板2，固定板2的后侧固定安装有驱动电机3，驱动电机3的输出端固定连接有摆动板4，摆动板4的底部固定连接有矩形框5，矩形框5的内壁固定安装有双杆液压缸6，双杆液压缸6的输出端固定连接有移动板7，移动板7的底部连接有卡接组件，卡接组件的表面连接有真空吸盘板8，真空吸盘板8的底部固定连接有软垫9。
[0018]进一步的，卡接组件包括卡板13和卡槽14，卡板13固定连接在移动板7的底部上，卡槽14开设在真空吸盘板8的顶部上，卡槽14的内壁与卡板13的表面卡接且适配，通过卡板13和卡槽14的设置，便于使用者进行真空吸盘板8的后续拆装检修。
[0019]进一步的，矩形框5内壁的底部开设有导向槽15，移动板7的表面固定连接有导向板16，导向板16的表面与导向槽15的内壁滑动连接，在导向板16和导向槽15的引导作用下，保证了移动板7以及真空吸盘板8的平稳移动。
[0020]进一步的，真空吸盘板8内侧设有吸附盘17且吸附盘17数量至少为九个，且数量至少为九个的吸附盘17均匀分布在真空吸盘板8上，相连的吸附盘17之间连接有隔板。
[0021]实施例2，请参阅图1至图4，本实施例与实施例1的区别在于：固定板2的底部开设有凹槽，凹槽的内壁固定安装有电动气缸10，电动气缸10的输出端固定连接有定位套11，矩形框5的顶部固定连接有定位板12，定位板12的表面与定位套11的内壁卡接，电动气缸10启
动能够带动定位套11靠近定位板12，完成定位套11卡接在定位板12上的操作，进行保证硅片在悬空挪移过程中防晃动的效果。真空吸盘板8的前侧和后侧均开设有插槽18，插槽18的内壁卡接有防护套19，在真空吸盘板8前侧和后侧的插槽18作用下，能够进行防护套19的连接固定，对硅片的侧面起到防护的作用。
[0022]工作原理：该一种硅片吸盘抓取结构在用时，使用者能够先通过安装架1连接固定在驱动端(图中未示处)上，当真空吸盘板8靠近硅片时，双杆液压缸6启动能够带动移动板7进行移动，移动板7移动能够带动真空吸盘板8进行移动，在导向板16和导向槽15的引导作用下，保证了移动板7以及真空吸盘板8的平稳移动，两个真空吸盘板8相互靠近能够进行中间硅片的夹紧吸附，通过卡板13和卡槽14的设置，便于使用者进行真空吸盘板8的后续拆装检修，在真空吸盘板8前侧和后侧的插槽18作用下，能够进行防护套19的连接固定，若加工后硅片为倾斜进行排序运输时，驱动电机3启动能够带动摆动板4进行摆动，进而带动两个真空吸盘板8进行倾斜，将倾斜硅片进行夹紧后续吸附，后续真空吸盘板8摆动恢复正位后，电动气缸本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种硅片吸盘抓取结构，包括安装架(1)，所述安装架(1)的底部固定连接有固定板(2)，其特征在于：所述固定板(2)的后侧固定安装有驱动电机(3)，所述驱动电机(3)的输出端固定连接有摆动板(4)，所述摆动板(4)的底部固定连接有矩形框(5)，所述矩形框(5)的内壁固定安装有双杆液压缸(6)，所述双杆液压缸(6)的输出端固定连接有移动板(7)，所述移动板(7)的底部连接有卡接组件，所述卡接组件的表面连接有真空吸盘板(8)，所述真空吸盘板(8)的底部固定连接有软垫(9)。2.根据权利要求1所述的一种硅片吸盘抓取结构，其特征在于：所述固定板(2)的底部开设有凹槽，所述凹槽的内壁固定安装有电动气缸(10)，所述电动气缸(10)的输出端固定连接有定位套(11)，所述矩形框(5)的顶部固定连接有定位板(12)，所述定位板(12)的表面与定位套(11)的内壁卡接。3.根据权利要求1所述的一种硅片吸盘抓取结构，其...

【专利技术属性】
技术研发人员：张明声，
申请(专利权)人：昆山冠昂智能科技有限公司，
类型：新型
国别省市：