光固化性组合物制造技术

一种光固化性组合物可包含聚合性材料和光引发剂，其中所述聚合性材料可包含10

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】光固化性组合物


[0001]本公开涉及光固化性组合物，特别涉及用于喷墨自适应平坦化(planarizat ion)的光固化性组合物，其适于在随后的烘烤处理期间形成具有低热收缩的光固化层。

技术介绍

[0002]喷墨自适应平坦化(IAP)是通过以下方式来平坦化基底表面(例如，包含电路的晶片)的工艺：在基底表面上喷射光固化性组合物的液滴，以及使平坦的覆盖层(supers trate)与所添加的液体直接接触以形成平坦的液体层。典型在紫外光曝光下固化所述平坦液体层，并且在去除覆盖层之后获得平坦的聚合物表面，使该表面经受后续处理步骤，例如烘烤、刻蚀和/或进一步的沉积步骤。
[0003]所形成的光固化层的后续烘烤通常在高于其玻璃化转变温度的温度下进行。烘烤通常导致形成聚合物层的更致密充填，这会导致不希望的层收缩，并且可能是对平坦化功效的进一步挑战。典型地，烘烤期间的热收缩大于光固化性组合物的光固化期间的收缩。
[0004]存在对改良IAP材料的需要，该材料导致在后续处理期间具有低收缩率的平坦光固化层。

技术实现思路

[0005]在一个实施方案中，光固化性组合物可包含光引发剂和聚合性材料，其中所述聚合性材料可包含具有式(1)结构的单官能丙烯酸酯单体，其中R1是H或C1‑
C6烷基，并且R2和R3是C1‑
C
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烷基或烷基
‑
芳基的一个或多个取代，并且R4、R5是H或C1‑
C
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烷基，基于聚合性材料的总重量计，式(1)的丙烯酸酯单体的量可以为至少10重量％且不大于30重量％；并且所述光固化性组合物的光固化层的碳含量可以是至少74％。
[0006]在一个方面，所述聚合性材料可进一步包含至少一种多官能丙烯酸酯单体。在一个特定方面，所述至少一种多官能丙烯酸酯单体可以包括双官能丙烯酸酯单体、三官能丙烯酸酯单体、四官能丙烯酸酯单体或其任意组合。在某一特定方面，所述至少一种多官能丙烯酸酯单体可以包括双酚A二甲基丙烯酸酯(BPADMA)。
[0007]在所述光固化性组合物的另一特定方面，所述多官能丙烯酸酯单体的量可以为至少10重量％且不大于30重量％，基于所述聚合性材料的总重量计。
[0008]在所述光固化性组合物的具体实施方案中，单官能丙烯酸酯单体可以具有式(2)的结构，其中R1是H或CH3：
[0009]在一个方面，式(2)的单官能丙烯酸酯单体的量可以是不大于25重量％，基于所述聚合性材料的总重量计。
[0010]在另一方面，式(2)的单官能丙烯酸酯单体的量可以是不大于15重量％，基于所述聚合性材料的总重量计。
[0011]在又一实施方案中，所述光固化性组合物可被调整使得该组合物的光固化层具有不大于7.5％的热收缩率，该热收缩率是在250℃下进行烘烤处理2分钟之前和之后的光固化层厚度的差异。
[0012]在另一方面，所述光固化性组合物的粘度可以是不大于15mPa
·
s。
[0013]在又一方面，所述光固化性组合物可被调整使得该组合物的光固化层具有不大于2.9的大西数(Ohnishi number)。
[0014]在一个实施方案中，叠层体可包含基底和覆盖所述基底的光固化层，其中所述光固化层由上述的光固化性组合物形成。
[0015]在叠层体的一个方面，所述光固化层可具有不大于7％的热收缩率，热收缩率是在250℃下进行烘烤处理2分钟之前和之后的光固化层厚度的差异。
[0016]在叠层体的另一方面，所述光固化层可以具有大于2.9的大西数。
[0017]在又一实施方案中，在基底上形成光固化层的方法可以包括：在基底上施加光固化性组合物的层，其中所述光固化性组合物可包含光引发剂和聚合性材料。所述聚合性材料可包含10重量％至30重量％的具有式(1)结构的单官能丙烯酸酯单体，其中R1是H或C1‑
C6烷基；R2和R3是C1‑
C
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烷基或烷基
‑
芳基的一个或多个取代；并且R4、R5是H或C1‑
C
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烷基，使所述光固化性组合物与覆盖层接触；用光照射所述光固化性组合物以形成光固化层；以及从所述光固化层去除覆盖层。
[0018]在该方法的一个方面，所述光固化层可以具有不大于7.5％的热收缩率，该热收缩率是在250℃下进行烘烤处理2分钟之前和之后的光固化层厚度的差异。
[0019]在该方法的又一方面，所述光固化性组合物的粘度可以是不大于15mPa
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s。
[0020]在该方法的某些方面，所述光固化性组合物可进一步包含双酚A二甲基丙烯酸酯(BPADMA)，其量为聚合性组合物总重量的10重量％至30重量％。
[0021]在另一实施方案中，一种形成制品的方法可以包括：在基底上施加光固化性组合物的层，其中所述光固化性组合物可以包含光引发剂和聚合性材料，所述聚合性材料包含10重量％至30重量％的具有式(1)结构的单官能丙烯酸酯单体，其中R1是H或C1‑
C6烷基；R2和R3是C1‑
C
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烷基或烷基
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芳基的一个或多个取代；并且R4、R5是H或C1‑
C
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烷基，使所述光固化性组合物与覆盖层接触；用光照射所述光固化性组合物以形成光固化层；从所述光固化层移除所述覆盖层；在所述基底上形成图案；对在所述形成中已经在其上形成图案的基底进行处理；以及由在所述处理中处理的基底制造制品。详细说明
[0022]提供以下描述以帮助理解本文公开的教导并且以下描述将关注于所述教导的特定实施方式及实施方案。提供这种关注以帮助描述所述教导，且不应将其解释为对所述教导的范围或适用性的限制。
[0023]除非另外定义，否则本文使用的所有技术和科学术语的含义与本专利技术所属领域的普通技术人员通常理解的含义相同。材料、方法和实例仅仅是说明性的，而不意图进行限制。在本文中没有描述的程度上，关于具体材料和加工动作的许多细节是常规的，并且可以在压印和光刻领域内的教科书和其它来源中找到。
[0024]如本文所使用的，术语“包含(comprises)”、“包含(compris ing)”、“包括(includes)”、“包括(including)”、“具有(has)”、“具有(having)”或其任何其它变型旨在涵盖非排他性的包括。例如，包含一系列特征的过程、方法、制品或设备不一定仅限于那些特征，而是可包括未明确列出的其它特征或者此类过程、方法、制品或设备固有的其它特征。
[0025]如本文所使用的，并且除非相反地明确说明，“或”是指兼或(inclus ive
‑
or)而不是异或(exclus ive
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or)。例如，条件A或B由以下任何一个满足：A为真(或存在)且B为假(或不存在)，A为假(或不存在)且B为真(或存在)，以及A和B两者都为真(或存在)本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】1.一种光固化性组合物，其包含光引发剂和聚合性材料，其中所述聚合性材料包含具有式(1)结构的单官能丙烯酸酯单体，其中R1是H或C1‑
C6烷基，并且R2和R3是C1‑
C
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烷基或烷基
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芳基的一个或多个取代，并且R4、R5是H或C1‑
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烷基，基于聚合性材料的总重量计，式(1)的丙烯酸酯单体的量是至少10重量％且不大于40重量％；并且所述光固化性组合物的光固化层的碳含量是至少74％。2.根据权利要求1所述的光固化性组合物，其中所述聚合性材料还包含至少一种多官能丙烯酸酯单体。3.根据权利要求2所述的光固化性组合物，其中所述至少一种多官能丙烯酸酯单体包括双官能丙烯酸酯单体、三官能丙烯酸酯单体、四官能丙烯酸酯单体、或它们的任意组合。4.根据权利要求3所述的光固化性组合物，其中所述至少一种多官能丙烯酸酯单体包括双酚A二甲基丙烯酸酯(BPADMA)。5.根据权利要求3所述的光固化性组合物，其中所述多官能丙烯酸酯单体的量为至少10重量％且不大于40重量％，基于所述聚合性材料的总重量计。6.根据权利要求1所述的光固化性组合物，其中所述单官能丙烯酸酯单体具有式(2)的结构，其中R1是H或CH3：7.根据权利要求6所述的光固化性组合物，其中所述单官能丙烯酸酯单体的量是不大于25重量％，基于所述聚合性材料的总重量计。8.根据权利要求6所述的光固化性组合物，其中所述单官能丙烯酸酯单体的量是不大于15重量％，基于所述聚合性材料的总重量计。9.根据权利要求1所述的光固化性组合物，其中所述聚合性材料还包含不同于所述式1的单官能丙烯酸酯单体的至少一种单官能丙烯酸酯单体。10.根据权利要求1所述的光固化性组合物，其中所述光固化性组合物被调整使得该组合物的光固化层具有不大于7.5％的热收缩率，该热收缩率是在250℃下进行烘烤处理2分钟之前和之后的光固化层厚度的差异。
11.根据权利要求1所述的光固化性组合物，其中所述光固化性组合物的粘度是不大于15mPa
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s。12.根据权利要求1所述的光固化性组合物，其中所述光固化性组合物被调整使得该组合物的光固化层具有不大于2.9的大西数。13.一种叠层体，其包含基底和覆盖所述基底...

【专利技术属性】
技术研发人员：李飞，刘卫军，
申请(专利权)人：佳能株式会社，
类型：发明
国别省市：