一种微动台制造技术

本发明专利技术涉及精密设备技术领域，公开一种微动台。其中微动台包括底部驱动装置、中间驱动装置和顶部驱动装置。底部驱动装置包括底板和第一驱动组件，底板设置有沿第一方向延伸的第一滑轨；中间驱动装置包括中间板和第二驱动组件，中间板的底部安装有第一滑块，第一滑块滑动连接于第一滑轨，第一驱动组件安装于底板上，且驱动连接于中间板；中间板的顶面设置有沿第二方向延伸的第二滑轨，第二方向在经过第一方向的竖直平面上的投影与第一方向呈夹角设置；顶部驱动装置包括顶板，顶板的顶面用于安装待安装物，顶板的底面安装有第二滑块，第二滑块滑动连接于第二滑轨；第二驱动组件安装于中间板上，且驱动连接于顶板。且驱动连接于顶板。且驱动连接于顶板。

【技术实现步骤摘要】
一种微动台


[0001]本专利技术涉及精密设备
，尤其涉及一种微动台。

技术介绍

[0002]高能同步辐射光源，电子束需在各存储环如四级铁或六极铁等的磁中心运行、从而要求环路上的各设备磁中心同轴，为了保证各设备磁中心同轴，需要在各设备的底部设置垂向和水平向的微动台，以满足束流光学参数在线校正等要求。微动台作为调整装置，需在高负载下实现超高精度和稳定性，但是针对高精度的微动台，垂向负载能力较低，当垂向负载较大时，又影响微动台的驱动精度。
[0003]基于此，亟需一种微动台，以解决上述存在的问题。

技术实现思路

[0004]基于以上所述，本专利技术的目的在于提供一种微动台，移动精度高，且负载能力显著提升。
[0005]为达上述目的，本专利技术采用以下技术方案：一种微动台，包括：底部驱动装置，其包括底板和第一驱动组件，所述底板设置有沿第一方向延伸的第一滑轨；中间驱动装置，其包括中间板和第二驱动组件，所述中间板的底部安装有第一滑块，所述第一滑块滑动连接于所述第一滑轨，所述第一驱动组件安装于所述底板上，且驱动连接于所本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种微动台，其特征在于，包括：底部驱动装置（1），其包括底板（11）和第一驱动组件（12），所述底板（11）设置有沿第一方向延伸的第一滑轨（13）；中间驱动装置（2），其包括中间板（21）和第二驱动组件（22），所述中间板（21）的底部安装有第一滑块（23），所述第一滑块（23）滑动连接于所述第一滑轨（13），所述第一驱动组件（12）安装于所述底板（11）上，且驱动连接于所述中间板（21）；所述中间板（21）的顶面设置有沿第二方向延伸的第二滑轨（24），所述第二方向在经过所述第一方向的竖直平面上的投影与所述第一方向呈夹角设置；顶部驱动装置（3），其包括顶板（31），所述顶板（31）的顶面用于安装待安装物，所述顶板（31）的底面安装有第二滑块（32），所述第二滑块（32）滑动连接于所述第二滑轨（24）；所述第二驱动组件（22）安装于所述中间板（21）上，且驱动连接于所述顶板（31）。2.根据权利要求1所述的微动台，其特征在于，所述第一滑轨（13）所在的竖直平面与所述第二滑轨（24）所在的竖直平面平行或重合。3.根据权利要求1所述的微动台，其特征在于，所述第一驱动组件（12）和/或所述第二驱动组件（22）为压电陶瓷驱动电机。4.根据权利要求1所述的微动台，其特征在于，还包括重力补偿装置（4），所述第二方向倾斜设置，所述重力补偿装置（4）包括第一弹性件（41），所述第一弹性件（41）的第一端连接于所述中间板（21），所述第一弹性件（41）的第二端连接于所述顶板（31），所述顶板（31）的底面倾斜设置，所述第一弹性件（41）用于对所述顶板（31）施加倾斜向上的拉力。5.根据权利要求4所述的微动台，其特征在于，所述重力补偿装置（4）包括第三滑轨（42）、调节块（43）、固定块（44）和调节螺钉（45），所述调节块（43）安装于所述中间板（21）的顶面，所述第三滑轨（42）沿所述第二方向延伸，所述固定块（44）滑动连接于所述第三滑轨（42）；所述第一弹性件（41）的第一端连接于所述固定块（44）；所述调节块（43）位于所述固定块（44）沿所述第二方向的一侧，所述调节块（43）设置有通孔，所述固定块（44）设置有沿所述第二方向延伸的螺纹孔，所述调节螺钉（45）穿设于所述通孔并螺纹连接于所述螺纹孔。6.根据权利要求1所述的微动台，其特征在于，还包括位移测量组件，所述位移测量组件包括第一光栅尺（51）和第一光栅读头（52），所述第一光栅尺（51）和第一光栅读头（52）二者中的一个安装于所述底板（11），另一个安装于所述中间板（21），所述第一光栅尺（51）用于测量所述第一光栅读头（52）的位移；所述位移测量组件包括第二光栅尺（53）和第二光栅读头（54），所述第二光栅尺（53）和第二光栅读头（54）二者中的一个安装于所述中间板（21），另一个安装于所述顶板（31），所述第二光栅尺（53）用于测量所述第二光栅读头（54）的位移。7.根据权利要求1所述的微动台，其特征在于，还包括光电限位组件（6），所述光电限位组件（6）包括光电限位块（61）、第一固定板（62）、光电开关（63）和第二固定板（64），所述光电限位块（61）安装于所述第一固定板（62），所述第一固定板（62）连接于所述顶板（31）；所述光电开关（63）安装于所述第二固定板（64），所述第二固定板（64）连接于所述底板（11）；所述光电限位块（61）上设置有限位板，所述光电开关（63）上设置有检测槽，所述限位板能够进入或离开所述检测槽。
8.根据权利要求7所述的微动台，其特征在于，所述限位板包括上限位板（611）、下...

【专利技术属性】
技术研发人员：梁德志，王振华，章震宇，
申请(专利权)人：上海隐冠半导体技术有限公司，
类型：发明
国别省市：