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本发明涉及精密设备技术领域，公开一种微动台。其中微动台包括底部驱动装置、中间驱动装置和顶部驱动装置。底部驱动装置包括底板和第一驱动组件，底板设置有沿第一方向延伸的第一滑轨；中间驱动装置包括中间板和第二驱动组件，中间板的底部安装有第一滑块，第...
该专利属于上海隐冠半导体技术有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过上海隐冠半导体技术有限公司授权不得商用。

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