一种三自由度微动平台及工作方法技术

本发明专利技术提供了一种三自由度微动平台及工作方法，属于精密驱动技术领域，包括：输出中轴、基座、驱动曲板和驱动器，输出中轴用于安装固定驱动对象；所述输出中轴外侧面固定安装有四组驱动曲板，四组驱动曲板构成X形状，每个驱动曲板端部对应连接一个驱动器，驱动器安装在基座上，驱动器用于对驱动曲板提供径向压力，使得驱动曲板径向压缩从而带动输出中轴移动或转动；采用控制同侧设置的两个驱动器运动量的输出大小，控制输出中轴在平面上的线性位移，通过控制相对设置的两个驱动器运动量的输出大小，带动输出中轴转动一定角度，最终实现微动平台三个自由度的输出，整体结构简单，动作输出稳定可靠，提高了作业精度和稳定性。提高了作业精度和稳定性。提高了作业精度和稳定性。

【技术实现步骤摘要】
一种三自由度微动平台及工作方法


[0001]本专利技术属于精密驱动
，具体涉及一种三自由度微动平台及工作方法。

技术介绍

[0002]三自由度微动平台是一种常见的机械运动装置，在航空航天领域、微机电系统、半导体工程、光学领域、精密仪器、生物科学等领域都有着广泛应用。现有技术为了实现三自由度微动控制，多采用驱动器直接推动输出轴产生XY轴的横移，并且采用驱动器推动输出轴连杆的来产生旋转运动。
[0003]申请号202121236452.1公开了一种三自由度并联柔性微动平台，该平台包括致动机构、压电陶瓷驱动器、柔性导向机构一、柔性导向机构二、动平台、微动平台框架和预紧钉，压电陶瓷驱动器驱动致动机构和柔性导向机构二产生X方向平移，通过调节输入位移的方向可以控制柔性导向机构一对位移的换向或传递，能够实现动平台沿X方向的平移运动和绕Z轴的旋转转动，使整个装置的结构紧凑且具有X、Y方向平移和绕Z轴旋转三个自由度。然而，该专利技术结构复杂，位移精度较低，并且高精度控制难度大。

技术实现思路

[0004]本专利技术为了解决上述问题，本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种三自由度微动平台，其特征在于，包括：输出中轴、基座、驱动曲板和驱动器，输出中轴用于安装固定驱动对象；所述输出中轴外侧面固定安装有四组驱动曲板，四组驱动曲板构成X形状，每个驱动曲板端部对应连接一个驱动器，驱动器安装在基座上，驱动器用于对驱动曲板提供径向压力，使得驱动曲板径向压缩从而带动输出中轴移动或转动。2.如权利要求1所述的三自由度微动平台，其特征在于，所述驱动曲板和驱动器沿中轴均匀布置，相邻两组驱动曲板的弯曲方向相反。3.如权利要求1所述的三自由度微动平台，其特征在于，所述驱动曲板的延伸线通过输出中轴的中心线。4.如权利要求1所述的三自由度微动平台，其特征在于，所述驱动曲板与驱动器连接处设有一段平移导向机构，平移导向机构用于对驱动器输出力的方向进行导向。5.如权利要求4所述的三自由度微动平台，其特征在于，所述平移导向机构包括平移导向槽和平移导向板，平移导向槽设置在基座上，平移导向板设置在驱动曲板上，平移导向槽和平移导向板嵌套链接，平移导向槽约束着平移导向板做直线运动。6.如权利要求5所述的三自由度微动平台，其特征在于，驱动曲板的端部与平移导向板的一端连接，平移导向板另一端连接驱动器，平移导向板可沿滑槽滑动。7.如权利要求5所述的三自由度微动平台，其特...

【专利技术属性】
技术研发人员：闫鹏，江文渊，于海洋，蒋雨龙，
申请(专利权)人：山东大学，
类型：发明
国别省市：