一种圆形晶圆圆心的定位方法技术

本发明专利技术提供了一种圆形晶圆圆心的定位方法，包括：标定图像获取装置，将视觉坐标系与包括晶圆的空间坐标系相关联；利用图像获取装置，获取晶圆的边缘上的第一圆弧；旋转晶圆所在的旋转台至预设角度，获取晶圆的边缘上的第二圆弧，其中第二圆弧与第一圆弧相接，并且将第二圆弧与第一圆弧拼接为一圆弧；重复直至完成对晶圆的边缘完整一周的图像采集，获取晶圆的边缘所构成的完整弧形；基于geohuber参数，将完整弧形拟合为圆形图像；将圆形图像的圆心确定为晶圆的圆心，本发明专利技术的数据来源为整个圆的边缘，对机械结构精度和产品精度要求低，在较差的工艺条件下仍可达到较高的精度。较差的工艺条件下仍可达到较高的精度。较差的工艺条件下仍可达到较高的精度。

【技术实现步骤摘要】
一种圆形晶圆圆心的定位方法


[0001]本专利技术涉及晶圆
，尤其涉及一种圆形晶圆圆心的定位方法。

技术介绍

[0002]现有技术方案中，处理方案为采图后，使用数学公式将边缘按三角函数进行拟合，通过曲线的峰值和相位计算晶圆偏移的角度和坐标。
[0003]然而，通常情况下，晶圆边缘不是理想的圆形，视前道加工条件不同，一张晶圆的直径偏差最大有时可达50um，此时按现有技术方案进行拟合，对曲线的峰值、相位均有影响。且精度无法达到直径偏差以下。

技术实现思路

[0004]本专利技术要解决的技术问题是，如何在工艺条件一般的情况下，高精度地对晶圆圆心实现定位。有鉴于此，本专利技术提供一种圆形晶圆圆心的定位方法。
[0005]本专利技术采用的技术方案是，所述圆形晶圆圆心的定位方法，包括：
[0006]步骤S1，标定图像获取装置，将视觉坐标系与包括晶圆的空间坐标系相关联；
[0007]步骤S2，利用所述图像获取装置，获取所述晶圆的边缘上的第一圆弧；
[0008]步骤S3，旋转所述晶圆所在的旋转台至预本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种圆形晶圆圆心的定位方法，其特征在于，包括：步骤S1，标定图像获取装置，将视觉坐标系与包括晶圆的空间坐标系相关联；步骤S2，利用所述图像获取装置，获取所述晶圆的边缘上的第一圆弧；步骤S3，旋转所述晶圆所在的旋转台至预设角度，获取所述晶圆的边缘上的第二圆弧，其中所述第二圆弧与所述第一圆弧相接，并且将所述第二圆弧与所述第一圆弧拼接为一圆弧；步骤S4，重复步骤S3，直至完成对所述晶圆的边缘完整一周的图像采集，获取所述晶圆的边缘所构成的完整弧形；步骤S5，基于geohuber参数，将所述完整弧形拟合为圆形图像；步骤S6，将所述圆形图像的圆心确定为所述晶圆的圆心。2.根据权利要求1所述的圆形晶圆圆心的定位方法，其特征在于，所述图像想获取装置包括相机。3.根据权利要求2所述的圆形晶圆圆心的定位方法，其特征在于，所述步骤S1进一步包括：标定相机的像素尺寸，及相机中心与旋转台中心的相对距离，以使得视觉坐标系...

【专利技术属性】
技术研发人员：孙越，杨晓雄，刘婷婷，周丹，李远航，王克江，孙彬，李长城，谢贵久，
申请(专利权)人：北京中电科电子装备有限公司，
类型：发明
国别省市：