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本发明提供了一种圆形晶圆圆心的定位方法，包括：标定图像获取装置，将视觉坐标系与包括晶圆的空间坐标系相关联；利用图像获取装置，获取晶圆的边缘上的第一圆弧；旋转晶圆所在的旋转台至预设角度，获取晶圆的边缘上的第二圆弧，其中第二圆弧与第一圆弧相接，...
该专利属于北京中电科电子装备有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过北京中电科电子装备有限公司授权不得商用。

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