一种直拉式单晶炉提拉头稳定拉晶绳装置制造方法及图纸

技术编号:38425588 阅读:15 留言:0更新日期:2023-08-07 11:23
本发明专利技术提供了一种直拉式单晶炉提拉头稳定拉晶绳装置,支撑底座固定连接在单晶炉上方;旋转组件的旋转支座通过支撑底座支撑,旋转支座的竖向中心孔设置有扶正阻尼机构,提升组件的提升支座与旋转支座支撑连接,提升卷筒设置在提升支座内,称重组件的称重支座与提升支座支撑连接,称重支座内设置有通过载荷传感器连接的称重滑轮,拉晶绳依次穿过设置有扶正阻尼机构的竖向中心孔、绕过称重滑轮后固定卷绕在提升卷筒上。能够提高拉晶过程中的稳定性,减少拉晶绳的阻尼套磨损,防止画弧现象发生,并实时检测拉晶力载荷,有效提高了拉晶的生产效率。生产效率。生产效率。

【技术实现步骤摘要】
一种直拉式单晶炉提拉头稳定拉晶绳装置


[0001]本专利技术涉及单晶炉装置领域,尤其提供了一种直拉式单晶炉提拉头稳定拉晶绳装置。

技术介绍

[0002]直拉单晶炉是生产光伏发电和集成电路及硅产品的主要设备,由负压密封的多件腔体堆叠组成,整机高度有十几米高度,另外,直拉法单晶炉还有近两米的副室增高件,便于单晶炉设备的高效生产。
[0003]但是,直拉法单晶炉的高度越高,整机设备的稳定性越差,造成单晶炉拉晶绳在拉晶过程中的稳定性越差,引起拉晶绳的钨丝绳阻尼套磨损,出现早期损坏现象,必须更换新的拉晶绳,延误正常生产、增加了维修成本;另外,单晶炉生产中,由于拉晶绳在拉晶过程中的不稳定,拉晶绳输出端在转晶状态下作离心运动,频繁发生晶棒晃动的画弧现象,而且称重变送器一般通过检测整个提拉头的载荷,进而计算拉晶绳载荷值,受到提拉头装配误差、动载荷等等不可避免的外在因素,载荷检测不准确、灵敏度差,上述各因素导致单晶产品的产量受到制约,对拉晶生产的安全和高效造成影响。

技术实现思路

[0004]针对上述技术问题,本专利技术提供了一种直拉单晶炉提拉头稳定拉晶绳装置,达到提高拉晶绳在拉晶过程中的稳定性,减少拉晶绳的阻尼套磨损,并实时检测拉晶绳的载荷,防止晶棒因拉晶绳不稳定引起的画弧现象发生,提高拉晶的效率和安全的目的。
[0005]为了达到上述目的,本专利技术提供了一种直拉式单晶炉提拉头稳定拉晶绳装置,包括支撑底座、旋转组件、提升组件和称重组件;所述支撑底座固定连接在单晶炉上方;所述旋转组件的旋转支座通过支撑底座支撑并且上下端分别伸出于支撑底座外,所述支撑底座设置有用于驱动所述旋转支座绕竖向中心轴转动的旋转驱动机构,所述旋转支座的竖向中心孔设置有扶正阻尼机构;所述提升组件的提升支座与所述旋转支座连接,卷绕收放拉晶绳的提升卷筒设置在提升支座内,所述提升支座设置有与提升卷筒驱动连接的提升驱动机构;所述称重组件的称重支座与所述提升支座连接,所述称重支座内设置有通过载荷传感器连接的称重滑轮;拉晶绳由单晶炉向上伸出,依次穿过设置有扶正阻尼机构的所述竖向中心孔、绕过所述称重滑轮后固定卷绕在所述提升卷筒,拉晶绳位于称重滑轮与竖向中心孔之间的部分竖向布置。
[0006]在一些优选的技术方案中,所述竖向中心孔的上端设置有上扶正阻尼机构、下端设置有下扶正阻尼机构,所述拉晶绳由下向上依次穿过下扶正阻尼机构、竖向中心孔和上扶正阻尼机构。
[0007]在一些优选的技术方案中,所述扶正阻尼机构包括阻尼套和压盖,所述阻尼套设置为弹性的径向分瓣结构并安装在压盖内,拉晶绳由所述径向分瓣结构围设的内孔穿过,所述压盖设置有抵接至所述径向分瓣结构的调节螺钉,通过调节螺钉调节径向分瓣结构的
内孔与拉晶绳之间的间隙。
[0008]在一些优选的技术方案中,所述竖向中心孔外端设置有磁流体密封件,所述扶正压盖通过磁流体密封件连接在旋转支座上,扶正阻尼套的旋转中心与竖向中心孔同轴布置。
[0009]在一些优选的技术方案中,所述旋转驱动机构包括旋转电机和皮带传动机构,所述旋转电机通过电机支架支撑连接在旋转支座上,所述皮带传动机构包括与旋转电机连接的小皮带轮、与旋转支座连接的大皮带轮以及设置在小皮带轮与大皮带轮之间的皮带。
[0010]在一些优选的技术方案中,所述提升卷筒外周面设置有用于容纳拉晶绳的螺旋绳槽,所述提升支座位于提升卷筒外侧设置有通过弹性部件支撑的压力滚子,在拉晶绳卷绕过程中通过压力滚子的弹性压紧而防止拉晶绳跳槽。
[0011]在一些优选的技术方案中,所述提升卷筒轴向滑设在提升支座内,所述提升支座设置有轴向调节机构,包括与提升卷筒平行布置、与调节电机驱动连接的调节丝杆,提升卷筒设置在与调节丝杆啮合的调节滑座上,通过调节滑座驱动提升卷筒轴向往复移动,使得拉晶绳的卷绕点与称重滑轮上下对齐。
[0012]在一些优选的技术方案中,所述提升驱动机构的提升电机通过减速传动部件与提升卷筒的一端滑键连接,检测提升卷筒转速的编码器与所述提升卷筒的另一端滑键连接。
[0013]在一些优选的技术方案中,所述称重机构的称重支座通过铰链连接在提升支座上,所述称重滑轮的转轴与所述铰链的转轴平行布置,所述称重滑轮通过滑轮支架支撑,所述滑轮支架通过载荷传感器挂设在所述称重支座内,所述滑轮支架位于称重滑轮外设置有防止拉晶绳跳槽的安全导向罩。
[0014]在一些优选的技术方案中,所述提升支座、称重支座、旋转支座与单晶炉构成连通的封闭结构,拉晶绳由单晶炉伸出后进入到所述封闭结构内。
[0015]相对于现有技术,本专利技术提供的直拉单晶炉提拉头稳定拉晶绳装置的技术优势至少包括以下几个方面:
[0016]第一方面,设置了由下向上竖向布置的旋转组件、提升组件和称重组件,拉晶绳依次穿过旋转组件的竖向中心孔、绕过所述称重滑轮后固定卷绕在所述提升卷筒,拉晶绳位于称重滑轮与竖向中心孔之间的部分竖向布置,保持了拉晶绳在中心孔内的竖直状态,并且这种竖直状态不会在提升卷筒卷绕过程中改变,防止了中心孔对拉晶绳的偏磨问题,提高拉晶绳有效使用期限,并保持了拉晶过程的稳定性。
[0017]第二方面,通过旋转支座的竖向中心孔内设置扶正阻尼机构的阻尼作用、旋转支座的旋转中心与扶正阻尼机构的内孔同轴布置,保持转晶、拉晶动作的拉晶绳输出端的轴心的一致性,避免了连接在拉晶绳末端晶棒晃动画弧问题发生,保持拉晶过程的稳定性,提高了产品的产品质量。
[0018]第三方面,通过将称重滑轮设置在提升卷筒上方,提升卷筒的拉晶绳向上绕过称重滑轮的布置,称重滑轮靠近拉晶绳输出端,使得载荷传感器能够精确测量拉晶绳的载荷值,减少了外界因素的干扰,提高了载荷检测值的准确性和灵敏度,能够为拉晶工艺提供较好的参考,提高拉晶产品质量,提高拉晶过程的安全性。
附图说明
[0019]下面结合附图和具体实施方法对本专利技术做进一步详细的说明。此处所说明的附图用来提供对本专利技术的进一步理解,构成本申请的一部分,本专利技术的示意性实施例及其说明用于解释本专利技术,并不构成对本专利技术的不当限定。
[0020]图1为直拉式单晶炉提拉头稳定拉晶绳装置的实施例的三维结构示意图;
[0021]图2为直拉式单晶炉提拉头稳定拉晶绳装置的实施例的前视图;
[0022]图3为旋转组件的实施例的结构示意图;
[0023]图4为扶正阻尼机构的实施例的三维结构示意图;
[0024]图5为扶正阻尼机构的实施例的轴向剖视图;
[0025]图6为提升组件与称重组件的实施例的结构示意图;
[0026]图7为轴向调节机构的实施例的结构示意图;
[0027]图8为提升卷筒的实施例的结构示意图;
[0028]图9为压力滚子实施例的结构示意图;
[0029]图10为称重组件的实施例的局部剖视图;
[0030]图11为称重滑轮的实施例的结构示意图;
[0031]图12为铰链的实施例的结构示意图。
[0032]附图标示说明:
[003本文档来自技高网
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【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种直拉式单晶炉提拉头稳定拉晶绳装置,其特征在于:包括支撑底座(1)、旋转组件(2)、提升组件(3)和称重组件(4);所述支撑底座(1)固定连接在单晶炉上方;所述旋转组件(2)的旋转支座(21)通过支撑底座(1)支撑并且上下端分别伸出于支撑底座(1)外,所述支撑底座(1)设置有用于驱动所述旋转支座(21)绕竖向中心轴转动的旋转驱动机构(24),所述旋转支座(21)的竖向中心孔(22)设置有扶正阻尼机构(23);所述提升组件(3)的提升支座(31)与所述旋转支座(21)连接,卷绕收放拉晶绳的提升卷筒(32)设置在提升支座(31)内,所述提升支座(31)设置有与提升卷筒(32)驱动连接的提升驱动机构(33);所述称重组件(4)的称重支座(41)与所述提升支座(31)连接,所述称重支座(41)内设置有通过载荷传感器(43)连接的称重滑轮(42);拉晶绳由单晶炉向上伸出,依次穿过设置有扶正阻尼机构(23)的所述竖向中心孔(22)、绕过所述称重滑轮(42)后固定卷绕在所述提升卷筒(32)上,拉晶绳位于称重滑轮(42)与竖向中心孔(22)之间的部分竖向布置。2.根据权利要求1所述的直拉式单晶炉提拉头稳定拉晶绳装置,其特征在于:所述竖向中心孔(22)的上端设置有上扶正阻尼机构(23)、下端设置有下扶正阻尼机构(23),所述拉晶绳由下向上依次穿过下扶正阻尼机构(23)、竖向中心孔(22)和上扶正阻尼机构(23)。3.根据权利要求1或2所述的直拉式单晶炉提拉头稳定拉晶绳装置,其特征在于:所述扶正阻尼机构(23)包括阻尼套(232)和压盖(231),所述阻尼套(232)设置为弹性的径向分瓣结构并安装在压盖(231)内,拉晶绳由所述径向分瓣结构围设的内孔穿过,所述压盖(231)设置有调节螺钉(233),通过调节螺钉(233)调节径向分瓣结构的内孔与拉晶绳之间的间隙。4.根据权利要求2所述的直拉式单晶炉提拉头稳定拉晶绳装置,其特征在于:所述竖向中心孔(22)外端设置有磁流体密封件(25),所述扶正压盖(231)通过磁流体密封件(25)连接在旋转支座(21)上,扶正阻尼套(232)的旋转中心与竖向中心孔(22)同轴布置。5.根据权利要求1或2或4所述的直拉式单晶炉提拉头稳定拉晶...

【专利技术属性】
技术研发人员:刘存华
申请(专利权)人:鸿新新能源科技云南有限公司
类型:发明
国别省市:

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