晶棒辅助提升装置和单晶炉制造方法及图纸

本实用新型专利技术公开了一种晶棒辅助提升装置，用于单晶炉，包括导向组件和夹具；导向组件安装于单晶炉的副室；夹具用于在晶棒吊入副室时夹紧该晶棒；夹具安装于导向组件，并且夹具能够沿竖直方向移动。上述晶棒辅助提升装置中，其夹具能在晶棒被吊入单晶炉的副室时夹紧该晶棒，防止晶棒受提拉装置的振动影响发生细颈处断裂时直接下落，保证晶棒受夹具夹持而保持在副室内，避免发生掉棒事故。本实用新型专利技术还公开一种应用上述晶棒辅助提升装置的单晶炉，避免发生掉棒事故，利于保证安全生产。利于保证安全生产。利于保证安全生产。

【技术实现步骤摘要】
晶棒辅助提升装置和单晶炉


[0001]本技术涉及晶棒的生产设备
，更具体地说，涉及一种晶棒辅助提升装置，还涉及一种单晶炉。

技术介绍

[0002]单晶炉是一种在惰性气体(氮气、氦气为主)环境中，用石墨加热器将多晶硅等多晶材料熔化，用直拉法生长无错位单晶的设备。
[0003]现有的单晶炉主要包括主炉室和副室，副室连接于主炉室的炉盖上；副室顶部的提拉装置穿过副室进入主炉室中，对籽晶进行提拉生成晶棒，之后提拉装置将晶棒提拉至副室中。目前，单晶炉的发展趋向大型化，单晶硅棒拉制环节生成晶棒的尺寸增大，重量也相应增加，提拉装置的振动也随之加剧，导致晶棒的细颈处易断裂，造成掉棒事故。
[0004]因此，如何避免提拉生成的晶棒发生掉棒，是本领域技术人员亟待解决的问题。

技术实现思路

[0005]有鉴于此，本技术提供一种晶棒辅助提升装置，其夹具能在晶棒被吊入单晶炉的副室时夹紧该晶棒，防止晶棒的细颈处断裂时直接下落，避免发生掉棒事故。本技术还提供一种应用上述晶棒辅助提升装置的单晶炉，避免发生掉棒事故，利于保证安全生产。
[0006]为实现上述目的，本技术提供如下技术方案：
[0007]一种晶棒辅助提升装置，用于单晶炉，包括：
[0008]导向组件，所述导向组件安装于所述单晶炉的副室；
[0009]夹具，所述夹具用于在晶棒吊入所述副室时夹紧该晶棒；所述夹具安装于所述导向组件，并能沿竖直方向移动。
[0010]优选的，上述晶棒辅助提升装置中，所述导向组件包括：
>[0011]导轨，所述导轨沿竖直方向安装于所述副室的内壁；
[0012]滑块，所述滑块能沿所述导轨滑动地卡装于所述导轨；所述夹具装配于所述滑块。
[0013]优选的，上述晶棒辅助提升装置中，所述夹具为多个，不同所述夹具用于夹持所述晶棒的不同部位。
[0014]优选的，上述晶棒辅助提升装置中，各所述夹具位于所述副室的同侧，或位于不同侧。
[0015]优选的，上述晶棒辅助提升装置中，每个所述夹具分别由一个所述滑块安装；不同的所述夹具安装于不同的所述滑块；各所述滑块安装于同一个导轨，或安装于不同的导轨。
[0016]优选的，上述晶棒辅助提升装置中，所述导向组件包括驱动件，所述驱动件用于驱动所述滑块沿所述导轨滑动。
[0017]优选的，上述晶棒辅助提升装置中，所述导向组件包括：
[0018]导向杆，所述导向杆沿竖直方向固定于所述副室的内壁；
[0019]滑块，所述滑块能沿所述导向杆滑动地套装于所述导向杆；所述夹具装配于所述滑块。
[0020]优选的，上述晶棒辅助提升装置中，所述夹具包括两个夹臂，两个夹臂用于抱紧所述晶棒的外周。
[0021]一种单晶炉，包括晶棒辅助提升装置，所述晶棒辅助提升装置为上述技术方案中任意一项所述的晶棒辅助提升装置。
[0022]优选的，上述单晶炉中，所述单晶炉的提拉装置包括重锤，所述重锤通过石墨夹头装夹籽晶。
[0023]本技术提供一种晶棒辅助提升装置，用于单晶炉，包括导向组件和夹具；导向组件安装于单晶炉的副室；夹具用于在晶棒吊入副室时夹紧该晶棒；夹具安装于导向组件，并且夹具能够沿竖直方向移动。
[0024]上述晶棒辅助提升装置中，其夹具能在晶棒被吊入单晶炉的副室时夹紧该晶棒，防止晶棒受提拉装置的振动影响发生细颈处断裂时直接下落，保证晶棒受夹具夹持而保持在副室内，避免发生掉棒事故。
[0025]同时，上述晶棒辅助提升装置中，夹具安装于导向组件，能沿竖直方向上下移动，确保单晶炉的提拉装置向上提拉晶棒时夹具随晶棒一同上移(即夹具与晶棒同时以相同的速度向上移动)，避免发生夹具影响晶棒提升的情况，保证单晶炉进行正常生产。
[0026]另外，上述晶棒辅助提升装置中，夹具能辅助晶棒在受提拉装置提拉时保持稳定，降低晶棒的振幅，进而减小晶棒细颈处的剪切应力，于保护晶棒的细颈处免受断裂有利。
[0027]再者，应用上述晶棒辅助提升装置后，晶棒的振幅小，能减轻单晶炉中提拉装置的振动，利于提高该提拉装置的使用寿命。
[0028]本技术还提供一种应用上述晶棒辅助提升装置的单晶炉，避免发生掉棒事故，利于保证安全生产。
附图说明
[0029]为了更清楚地说明本技术实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本技术的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。
[0030]图1为本技术实施例提供的晶棒辅助提升装置与单晶炉、晶棒的装配示意图；
[0031]其中，图1中：
[0032]重锤201；石墨夹头202；晶棒203；细颈处231；副室204；导轨101；夹具102。
具体实施方式
[0033]本技术实施例公开了一种晶棒辅助提升装置，其夹具能在晶棒被吊入单晶炉的副室时夹紧该晶棒，防止晶棒的细颈处断裂时直接下落，避免发生掉棒事故。本技术实施例还公开一种应用上述晶棒辅助提升装置的单晶炉，避免发生掉棒事故，利于保证安全生产。
[0034]下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行
清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本技术保护的范围。
[0035]本领域技术人员可以理解的是，现有单晶炉生产时副室204顶部的提拉装置穿过副室204进入主炉室中，对籽晶进行提拉以生成晶棒203，所生成晶棒203的顶端处为用于连接上述提拉装置的籽晶，该处直径尺寸小，构成晶棒203的细颈处231。提拉装置的钨丝绳在晶棒203提升过程中有一定振动，且随着晶棒203重量增大，振动情况亦加剧，大幅振动时剪切应力大，剪切应力增大会导致晶棒203的细颈处231出现断裂，造成掉棒事故。为了避免发生掉棒事故，本实施例提供一种晶棒辅助提升装置：
[0036]请参阅图1，本实施例提供的晶棒辅助提升装置用于单晶炉，该晶棒辅助提升装置包括导向组件和夹具102；导向组件安装于单晶炉的副室204；夹具102用于在晶棒203吊入副室204时(即副室204顶部的提拉装置在晶棒203于主室中提拉生长结束后，将晶棒203由主室提拉至副室204时)夹紧该晶棒203；夹具102安装于导向组件，并且夹具102能够沿竖直方向移动。
[0037]上述晶棒辅助提升装置中，其夹具102能在晶棒被吊入单晶炉的副室204时夹紧该晶棒203，防止晶棒203受提拉装置的振动影响发生细颈处231断裂时直接下落，保证晶棒203受夹具102夹持而保持在副室204内，避免发生掉棒事故。
[0038]同时，上述晶棒辅助提升装置中，夹具10本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种晶棒辅助提升装置，用于单晶炉，其特征在于，包括：导向组件，所述导向组件安装于所述单晶炉的副室；夹具，所述夹具用于在晶棒吊入所述副室时夹紧该晶棒；所述夹具安装于所述导向组件，并能沿竖直方向移动。2.根据权利要求1所述的晶棒辅助提升装置，其特征在于，所述导向组件包括：导轨，所述导轨沿竖直方向安装于所述副室的内壁；滑块，所述滑块能沿所述导轨滑动地卡装于所述导轨；所述夹具装配于所述滑块。3.根据权利要求2所述的晶棒辅助提升装置，其特征在于，所述夹具为多个，不同所述夹具用于夹持所述晶棒的不同部位。4.根据权利要求3所述的晶棒辅助提升装置，其特征在于，各所述夹具位于所述副室的同侧，或位于不同侧。5.根据权利要求3所述的晶棒辅助提升装置，其特征在于，每个所述夹具分别由一个所述滑块安装；不同的所述夹具安装于不同的所述滑块；各所述滑...

【专利技术属性】
技术研发人员：杨政，侯志文，丁天璞，
申请(专利权)人：双良硅材料包头有限公司，
类型：新型
国别省市：