一种单晶炉晶晃稳定夹持装置制造方法及图纸

本申请涉及单晶炉领域，尤其是涉及一种单晶炉晶晃稳定夹持装置，包括：夹持机构，所述夹持机构至少具有两组，所述夹持机构以单晶炉的中轴线呈中心对称布置，每组夹持机构均包括：第一杆，所述第一杆位于单晶炉的内腔中，且所述第一杆连接于单晶炉的内壁；其中，所述第一杆具有夹持部，每个所述第一杆的夹持部之间形成夹持区，所述夹持区用于容置软轴，使得软轴受限于所述夹持区。解决了晶体在拉制过程中容易晃动坠落的技术问题，达到减小晶体在拉制过程中容易晃动坠落的可能的技术效果。程中容易晃动坠落的可能的技术效果。程中容易晃动坠落的可能的技术效果。

【技术实现步骤摘要】
一种单晶炉晶晃稳定夹持装置


[0001]本申请涉及单晶炉领域，尤其是涉及一种单晶炉晶晃稳定夹持装置。

技术介绍

[0002]硅单晶的主要制作方法为直拉法，直拉硅单晶的方法是用一块具有所需晶向的单晶硅作为籽晶，使硅熔体中的硅在籽晶上进行生长。硅单晶是在直拉单晶炉中形成的，主要通过化料、引晶、放肩、等径、收尾和冷却等工艺形成硅单晶。在形成过程中，埚转(坩埚转速)、晶转(硅晶体转速)、生长速度及温度补偿等工艺参数都是影响硅单晶品质的重要因素。
[0003]现有技术中，现有技术中，通常利用钢丝绳悬吊籽晶在熔融的液态硅中拉制出晶棒，由于晶体在旋转过程中存在一定程度的晃动，随着单晶炉中对晶体的转速提高，会增大晶体在拉制过程中坠落的可能，进而造成设备损坏甚至人员伤亡。
[0004]因此，现有技术的技术问题在于：晶体在拉制过程中容易晃动坠落。

技术实现思路

[0005]本申请提供一种单晶炉晶晃稳定夹持装置，解决了晶体在拉制过程中容易晃动坠落的技术问题，达到减小晶体在拉制过程中容易晃动坠落的可能的技术效果。r/>[0006]本本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种单晶炉晶晃稳定夹持装置，其特征在于，包括：夹持机构(200)，所述夹持机构(200)至少具有两组，所述夹持机构(200)以单晶炉的中轴线呈中心对称布置，每组夹持机构(200)均包括：第一杆(210)，所述第一杆(210)位于单晶炉的内腔中，且所述第一杆(210)连接于单晶炉的内壁；其中，所述第一杆(210)具有夹持部(211)，每个所述第一杆(210)的夹持部(211)之间形成夹持区(212)，所述夹持区(212)用于容置软轴或晶体，使得软轴或晶体受限于所述夹持区(212)。2.根据权利要求1所述的一种单晶炉晶晃稳定夹持装置，其特征在于，所述夹持机构(200)至少具有三组，使得每组所述夹持机构(200)的第一杆(210)之间形成封闭的所述夹持区(212)。3.根据权利要求1或2所述的一种单晶炉晶晃稳定夹持装置，其特征在于，所述第一杆(210)转动连接于所述单晶炉的内壁上，每组所述夹持机构(200)还包括：驱动组件(220)，所述驱动组件(220)连接并作用于所述第一杆(210)，所述驱动组件(220)驱动所述第一杆(210)旋转而使得各个第一杆(210)在夹持部(211)之间形成所述夹持区(212)。4.根据权利要求3所述的一种单晶炉晶晃稳定夹持装置，其特征在于，所述驱动组件(220)包括：第二杆(221)，所述第二杆(221)位于所述单晶炉的内腔中，且所述第二杆(221)的第一端(2211)转动连接于所述第一杆(210)上，所述第二杆(221)的第二端(2212)滑移连接于所述单晶炉的内壁上，且所述第二杆(221)相对于单晶炉的内壁具有转动自由度；驱动件，驱动件连接并作用于所述第二杆(221)，使得所述第二杆(221)的第二端(2212)发生滑移，从而带动第一杆(210)发生水平旋转。5.根据权利要求4所述的一种单晶炉晶晃稳定夹持装置，其特征在于，所述驱动件包括：第一磁体(2225)，所述第一磁体(2225)位于单晶炉的内腔，所述第一磁体(2225)连接于所述第二杆(221)的第二端(2212)上，所述第一磁体(2225)滑移连接于单晶炉的内壁上；第二磁体(2226)，所述第二磁体(2226)位于单晶炉的外部，且所述第二...

【专利技术属性】
技术研发人员：曹建伟，傅林坚，朱亮，叶钢飞，倪军夫，石明智，李玉刚，
申请(专利权)人：浙江晶盛机电股份有限公司，
类型：发明
国别省市：