防粘连石英舟结构制造技术

本申请提供了防粘连石英舟结构，包括石英舟主体，石英舟主体内设置有隔离机构；隔离机构包括设置在石英舟主体内的支撑部，支撑部上设置有若干个可移动拆卸的隔离部。本申请通过设置的隔离机构，隔离机构中的支撑部能够对隔离部进行支撑，通过隔离部能够将硅片隔离开，从而避免硅片之间相互粘连，进行减少因硅片粘连而导致加工质量下降的情况，从而提高加工质量；通过设置的隔离机构，隔离机构中的隔离部能够在支撑部上移动，从而能够根据硅片的情况调整隔离部的位置，满足不同硅片的使用需求，且隔离部能够进行拆装，从而能够根据硅片的数量增减隔离部的数量，提高了该石英舟的实用性。性。性。

【技术实现步骤摘要】
防粘连石英舟结构


[0001]本技术涉及石英舟
，具体而言，涉及防粘连石英舟结构。

技术介绍

[0002]在实际生产中，硅片放置在石英舟上，在扩散设备内部进行扩散工艺处理，现有技术中由于扩散设备内部气流的影响，因而容易导致相邻硅片之间相互粘连，从而影响硅片的加工质量，进而影响后续使用。
[0003]例如：中国技术专利：CN202121093234.7，所公开的“一种可防止硅片相互粘连的石英舟配套装置和石英舟”，其说明书公开：但是随着硅片越薄，尺寸越大，大尺寸超薄硅片在生产过程中良率会有较大幅度的下降，其中电池高温工艺环节尤甚，变大变薄的硅片在高温条件下翘曲程度更加严重，更加容易出现搭边粘连的现象，导致反应气体不能有效分布在粘连硅片的中间去，出现电池效率降低甚至不良的问题，大幅降低电池制造的良品率，提高了生产成本....；上述专利可以佐证现有技术存在的缺陷。
[0004]因此我们对此做出改进，提出防粘连石英舟结构。

技术实现思路

[0005]本技术的目的在于：针对目前存在的相邻硅片之间相互粘连，影响加工质量的本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.防粘连石英舟结构，包括石英舟主体(1)，其特征在于，所述石英舟主体(1)内设置有隔离机构(2)；所述隔离机构(2)包括设置在石英舟主体(1)内的支撑部，所述支撑部上设置有若干个可移动拆卸的隔离部；所述支撑部包括两个支撑板(201)，两个所述支撑板(201)相互远离的一侧分别与石英舟主体(1)两侧的内壁固定连接；两个所述支撑板(201)相互靠近的一侧均固定连接有支撑杆(202)，两个所述支撑杆(202)的外表面均粗糙；所述隔离部包括弹性卡座(203)，所述弹性卡座(203)的中部设置有连接槽(206)；所述弹性卡座(203)通过连接槽(206)夹持在支撑杆(202)的外表...

【专利技术属性】
技术研发人员：郭其峰，唐忠明，林明都，叶江伟，郭富强，
申请(专利权)人：湖州硅石新能源科技有限公司，
类型：新型
国别省市：