一种滑动平台及芯片检测设备制造技术

本申请公开了一种滑动平台及芯片检测设备，包括：基座；与所述基座滑动连接的滑台，所述滑台能够在所述基座上往复滑动；第一限位元件，所述第一限位元件设置于所述基座上；第二限位元件，所述第二限位元件设置于所述滑台上；其中，所述第一限位元件与所述第二限位元件相配合，以使得所述滑台在沿着所述基座滑动至特定位置时保持相对固定。本申请中，滑台用于承载待测芯片，通过设置第一限位元件、第二限位元件，能够使滑台相对于基座保持相对固定，大大提高了滑台的稳定性，此时便于将芯片安置于滑台上，避免在取放芯片时滑台相对于基座产生位移，提高了取放芯片的便利性，便于芯片检测作业的进行。片检测作业的进行。片检测作业的进行。

【技术实现步骤摘要】
一种滑动平台及芯片检测设备


[0001]本申请属于芯片加工
，特别是一种滑动平台及芯片检测设备。

技术介绍

[0002]集成电路，或称微电路、微芯片、晶片/芯片，芯片上分布有微小的电子元件，它是电子设备中最重要的部分，承担着运算和存储的功能，是许多电子设备的核心部件，芯片在制备过程中，以及芯片制备完成之后，往往需要对芯片上的电子元件、电路等结构进行检测，以判断芯片的性能是否达标。
[0003]现有技术中，通常需要将芯片置于滑动平台上，利用滑动平台将芯片送入芯片检测设备中，对芯片进行检测，然而现有的滑动平台在取放芯片时，平台的稳定性较差，不便于取放芯片，给芯片检测作业带来较大困难。
[0004]需要说明的是，公开于本申请
技术介绍
部分的信息仅仅旨在加深对本申请一般
技术介绍
的理解，而不应当被视为承认或以任何形式暗示该信息构成已为本领域技术人员所公知的现有技术。

技术实现思路

[0005]本申请的目的是提供一种滑动平台，以解决现有技术中的不足，它提供了一种便于固定位置的滑动平台。
[0006]本申请的一个实施例提供了一种滑动平台，包括：
[0007]基座；
[0008]用于承载芯片的滑台，所述滑台与所述基座滑动连接；
[0009]第一限位元件，所述第一限位元件设置于所述基座上；
[0010]第二限位元件，所述第二限位元件设置于所述滑台上；
[0011]其中，所述第一限位元件与所述第二限位元件相配合，以使得所述滑台在沿着所述基座滑动至特定位置时保持相对固定。
[0012]如上所述的滑动平台，其中，所述第二限位元件具有第一接触部和第二接触部，所述第一接触部和所述第二接触部分别用于与所述第一限位元件抵接，利用第一接触部、第二接触部限定所述第一限位元件与所述滑台的相对位置。
[0013]如上所述的滑动平台，其中，所述第一接触部包括与所述滑台固定连接的支架，以及设置于所述支架上的限位柱，所述第二接触部包括设置于所述支架上的缓冲块，所述限位柱、所述缓冲块分别用于与第一限位元件抵接。
[0014]如上所述的滑动平台，其中，所述第一限位元件包括限位块，所述限位块具有相对的第一接触面、第二接触面，所述第一接触面用于与所述限位柱抵接，所述第二接触面用于与缓冲块抵接。
[0015]如上所述的滑动平台，其中，所述限位柱包括柱体，所述柱体内部具有与外部连通的空腔，所述空腔的内部设置有弹簧、滚珠，所述弹簧的一端与所述柱体的内壁抵接，所述
弹簧的另一端与所述滚珠抵接，所述滚珠的一部分位于空腔的外部，所述滚珠用于所述第一接触面抵接。
[0016]如上所述的滑动平台，其中，所述第一接触面倾斜设置。
[0017]如上所述的滑动平台，其中，所述限位块具有导向斜面，在所述滑台相对于所述基座滑动过程中，所述导向斜面与所述滚珠相接触。
[0018]如上所述的滑动平台，其中，所述基座与所述滑台之间设置有锁扣，所述锁扣包括相互配合的锁体和锁舌，所述锁体安装于所述基座上，所述锁舌安装于所述滑台上，当滑台处于初始位置时，所述锁舌嵌入所述锁体，以使所述滑台相对于所述基座保持相对固定。
[0019]如上所述的滑动平台，其中，所述基座上设置有阻尼杆，所述阻尼杆的端部用于与所述滑台抵接。
[0020]本申请的另一实施例提供了一种芯片检测设备，其中，包括：
[0021]壳体；
[0022]如上所述的滑动平台，所述滑动平台设置于所述壳体内部，所述基座与所述壳体固定连接，所述滑台能够沿着所述基座移动至所述壳体外部，所述滑台用于承载待检测的芯片；
[0023]设置于所述壳体内部的检测元件，所述检测元件用于检测所述芯片。
[0024]与现有技术相比，本申请提出了一种滑动平台，包括：基座；与所述基座滑动连接的滑台，所述滑台能够在所述基座上往复滑动；第一限位元件，所述第一限位元件设置于所述基座上；第二限位元件，所述第二限位元件设置于所述滑台上；其中，所述第一限位元件与所述第二限位元件相配合，以使得所述滑台在沿着所述基座滑动至特定位置时保持相对固定。本申请中，滑台用于承载待测芯片，通过设置第一限位元件、第二限位元件，能够使滑台相对于基座保持相对固定，大大提高了滑台的稳定性，此时便于将芯片安置于滑台上，避免在取放芯片时滑台相对于基座产生位移，提高了取放芯片的便利性，便于芯片检测作业的进行。
附图说明
[0025]图1为本申请提供的滑动平台的立体图；
[0026]图2为本申请提供的滑动平台工作状态的示意图；
[0027]图3为图2中A部的放大图；
[0028]图4为本申请提供的滑动平台中限位块的结构示意图；
[0029]图5为本申请提供的滑动平台中限位柱的结构示意图；
[0030]图6为本申请提供的滑动平台的俯视图。
[0031]附图标记说明：
[0032]1－基座，2－滑台，3－支架，4－限位柱，5－缓冲块，6－限位块，7－阻尼杆，8－锁扣；
[0033]41－柱体，42－弹簧，43－滚珠；
[0034]61－导向斜面；62－第一接触面；63－第二接触面；
[0035]81－锁体，82－锁舌。
具体实施方式
[0036]下面通过参考附图描述的实施例是示例性的，仅用于解释本申请，而不能解释为对本申请的限制。
[0037]为使本申请实施例的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将结合附图对本申请的各实施例进行详细的阐述。然而，本领域的普通技术人员可以理解，在本申请各实施例中，为了使读者更好地理解本申请而提出了许多技术细节。但是，即使没有这些技术细节和基于以下各实施例的种种变化和修改，也可以实现本申请所要求保护的技术方案。以下各个实施例的划分是为了描述方便，不应对本申请的具体实现方式构成任何限定，各个实施例在不矛盾的前提下可以相互结合相互引用。
[0038]需要说明的是，本申请的说明书和权利要求书及上述附图中的术语“第一”、“第二”等是用于区别类似的对象，而不必用于描述特定的顺序或先后次序。应该理解这样使用的数据在适当情况下可以互换，以便这里描述的本申请的实施例能够以除了在这里图示或描述的那些以外的顺序实施。此外，术语“包括”和“具有”以及他们的任何变形，意图在于覆盖不排他的包含，例如，包含了一系列步骤或单元的过程、方法、系统、产品或设备不必限于清楚地列出的那些步骤或单元，而是可包括没有清楚地列出的或对于这些过程、方法、产品或设备固有的其它步骤或单元。
[0039]集成电路，或称微电路、微芯片、晶片/芯片，芯片上分布有微小的电子元件，它是电子设备中最重要的部分，承担着运算和存储的功能，是许多电子设备的核心部件，芯片在制备过程中，以及芯片制备完成之后，往往需要对芯片上的电子元件、电路等结构进行检测，以判断芯片的性能是否达标。现有技术中，通常需要将芯片置于滑动平台上，利用滑动平台将芯片送入芯片检测设备中，对芯片进行本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种滑动平台，其特征在于，包括：基座(1)；用于承载芯片的滑台(2)，所述滑台(2)与所述基座(1)滑动连接；第一限位元件，所述第一限位元件设置于所述基座(1)上；第二限位元件，所述第二限位元件设置于所述滑台(2)上；其中，所述第一限位元件与所述第二限位元件相配合，以使得所述滑台(2)在沿着所述基座(1)滑动至特定位置时保持相对固定。2.如权利要求1所述的滑动平台，其特征在于，所述第二限位元件具有第一接触部和第二接触部，所述第一接触部和所述第二接触部分别用于与所述第一限位元件抵接，利用第一接触部、第二接触部限定所述第一限位元件与所述滑台(2)的相对位置。3.如权利要求2所述的滑动平台，其特征在于，所述第一接触部包括与所述滑台(2)固定连接的支架(3)，以及设置于所述支架(3)上的限位柱(4)，所述第二接触部包括设置于所述支架(3)上的缓冲块(5)，所述限位柱(4)、所述缓冲块(5)分别用于与第一限位元件抵接。4.如权利要求3所述的滑动平台，其特征在于，所述第一限位元件包括限位块(6)，所述限位块(6)具有相对的第一接触面(62)、第二接触面(63)，所述第一接触面(62)用于与所述限位柱(4)抵接，所述第二接触面(63)用于与缓冲块(5)抵接。5.如权利要求4所述的滑动平台，其特征在于，所述限位柱(4)包括柱体(41)，所述柱体(41)内部具有与外部连通的空腔，所述空腔的内部设置有弹簧(42)、滚珠(43)，所述弹簧(4...

【专利技术属性】
技术研发人员：请求不公布姓名，
申请(专利权)人：本源量子计算科技合肥股份有限公司，
类型：新型
国别省市：