一种双偏振多模式的层间波导耦合器制造技术

本发明专利技术提供了一种双偏振多模式的层间波导耦合器，属于光电子器件与集成技术领域，其包括：下波导层、包层和上波导层；其中，所述下波导层和上波导层都由1

【技术实现步骤摘要】
一种双偏振多模式的层间波导耦合器


[0001]本专利技术属于光电子器件与集成
，具体涉及一种双偏振多模式的层间波导耦合器。

技术介绍

[0002]近年来，片上集成光子技术以其低成本、低功耗、高集成度的优势得到了高速发展，单纯的依靠微缩物理尺寸已无法满足光子芯片在二维平面上高集成密度的需要，三维光子集成技术应运而生。作为片上互连和输入/输出应用的重要器件，层间耦合器是三维光子芯片双层甚至多层结构中不可或缺的一部分，已经被广泛研究并应用于光学相控阵、微环阵列、级联光开关等领域。目前，已经报道了多种用于光纤芯片耦合和多层耦合的三维锥型耦合器，其研究方向主要针对单一模式的耦合传输，以实现更小的占地面积、更高的耦合效率和更低的串扰。为了进一步提升三维集成光学芯片的密度和传输容量，双偏振多模式的层间耦合器也是关键的部件，但尚未被研究。

技术实现思路

[0003]针对以上现有技术问题，本专利技术公开了一种多双偏振多模式的层间波导耦合器，旨在解决现有层间波导耦合器结构和技术方案无法实现双偏振多种模式的层间耦合传输问题，并进一步提升三维集成本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种双偏振多模式的层间波导耦合器，其特征在于：所述层间波导耦合器包括下波导层(1)、包层(2)和上波导层(3)；其中，所述下波导层(1)和上波导层(3)由1
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2多模干涉仪型波导构成。2.根据权利要求1所述的一种双偏振多模式的层间波导耦合器，其特征在于：在竖直方向上，所述上波导层(3)在上层，所述下波导层(1)在下层，且互不接触，中间由包层(2)相互隔离；沿光场横向传播方向上，所述上波导层(3)和下波导层(1)结构具有交叠耦合区域。3.根据权利要求1所述的一种双偏振多模式的层间波导耦合器，其特征在于：所述1
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2多模干涉仪型波导由一个输入波导、一个锥型波导、一个宽多模干涉波导、两个输出波导依次连接构成，上波导层(3)包括依次连接的上波导层输出波导(8)、上波导层宽多模干涉波导(9)、上波导层锥型波导(10)和上波导层输入波导(11)，下波导层(1)包括依次连接的下波导层输入波导(4)、下波导层锥型波导(5)、下波导层宽多模干涉波导(6)和下波导层输出波导(7)。4.根据权利要求1
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3任一项所述的一种双偏振多模式的层间波导耦合器，其特征在于：所述上波导层(3)的1
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2多模干涉仪型波导的两个输出波导(8)和下波导层(1)的1
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2多模干涉仪型波导的两个输出波导(7)沿光场横向传播方向相互交叠，满足层间波导耦合条件。5.根据权利要求3所述的一种双偏振多模式的层间波导耦合器，其特征在于：所述1
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2多模干涉仪型波导为偏振不敏感型多模式的1
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2功率分束器，双偏振多个模式能够同时实现高效率的1
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2功率分束。6.根据权利要求3所述的一种双偏振多模式的层间波导耦合器，其特征在于：所述上波导层(3)的1
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2多模干涉仪型波导的两个输出波导(8)和下波导...

【专利技术属性】
技术研发人员：刘英杰，刘博爱，武瑞，
申请(专利权)人：燕山大学，
类型：发明
国别省市：