超声扫描显微镜C扫描相位反转图像的构建方法技术

技术编号:3840926 阅读:278 留言:0更新日期:2012-04-11 18:40
本发明专利技术提供了超声扫描显微镜C扫描相位反转图像的构建方法,涉及超声扫描显微镜设备对采集到的数据处理技术领域。具有以下步骤:a、设置相关数据门,确定检测区域及阈值电压;b、扫描并发射超声波,位置同步触发产生超声波:c、判定被测目标检测位置每一个点正负峰值电压值是否发生相位反转,将峰值结果转换为构建图像像素灰度值;d、将每一个点对应的灰度值输出到屏幕上构建灰度图像。本发明专利技术的有益效果是构建的相位反转图像可以检测器件内部的分层、气孔等缺陷,克服了现有方法对被测目标表面平面度及放置的要求高、构建图像位置不准确、构建速度慢、相位反转判定不准确等缺点。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及超声扫描显微镜设备对采集到的数据处理
,尤其是一种超声扫描显微镜c扫描相位反转图像的构建方法。
技术介绍
随着电子产品的生产规模越来越大,品种越来越多,电路的集成化程度和生产自 动化程度也相应的提高,同时对器件的质量要求也越来越高,为保证器件的可靠性,对封装好的器件进行无损检测是不可缺少的流程,而超声扫描显微镜能够检测X射线检测不敏感的分层、空洞、裂缝等缺陷而应用越来越广泛。超声扫描显微镜是通过运 动执行机构扫描轴与步进轴的配合进行光栅式运动,在扫描轴运动的同时发射超声波 并接收反射回波,将反射回波的模拟信号转换为数字信号,并通过各种转换算法构建不同种类的检测图像。超声扫描显樣i镜的常规检测方式包括A扫描波形、B扫描图像、 C扫描峰值图像、C扫描声程图像、C扫描相位反转图像、分层扫描图像等。C扫描相位反转图像是超声扫描显微镜主要的一种检测方式。超声波由声学阻抗 低的材料传输到声学阻抗高的材料时在材料交界处将会有负相位反射信号,当材料内 部有分层、气孔等缺陷时,相当于由声学阻抗高的材料到声学阻抗低的材料传输,反 射回波信号相位将会反转,产生正相位反射信号,利用超声本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种超声扫描显微镜C扫描相位反转图像的构建方法,其特征在于具有以下步骤:  a、设置相关数据门,确定检测区域及阈值电压;  b、C扫描并发射超声波:扫描过程中在每个位置点发射超声波,位置同步触发产生超声波:即采用光栅尺作为反馈装置,当光栅尺计数达到预设置值时自动硬件触发产生超声波;并接收反射回波,获取返回信号的正负峰值电压值;  c、将峰值结果转换为构建图像像素灰度值:即判定被测目标检测位置每一个点正负峰值电压值是否发生相位反转,然后将这些经过判断处理后的峰值按照一定方法转换为相对应的灰度值;  d、将每一个点对应的灰度值输出到屏幕上构建灰度图像。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员:姚立新付纯鹤邴守东孙明睿邱军魏鹏
申请(专利权)人:中国电子科技集团公司第四十五研究所
类型:发明
国别省市:13[中国|河北]

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