本公开提供了一种电子束扫描控制方法、装置、电子设备及存储介质，其中，该方法包括：响应于针对扫描点图的目标窗口扫描操作，获取所述目标窗口扫描操作下设置的扫描参数值；所述扫描点图是基于电子束扫描操作扫描得到的；基于所述扫描参数值进行针对目标窗口的光谱分析操作，得到对应于所述目标窗口的光谱分析结果。本公开中针对目标窗口可以是更细粒度的扫描操作，这样所确定的光谱分析结果能够解析出更为完整全面的光谱特性信息，且可视化地查看各项操作及最终的光谱分析结果，适用性更强。适用性更强。适用性更强。
【技术实现步骤摘要】
电子束扫描控制方法、装置、电子设备及存储介质
[0001]本公开涉及电子束扫描控制
，具体而言，涉及一种电子束扫描控制方法、装置、电子设备及存储介质。
技术介绍
[0002]采用电子束对材料进行加工时，要求电子束能够按照预先设定的运动轨迹和运动方式运动，成为可控移动光源。以电子束扫描在电子显微镜中的应用为例，电子束控制系统在电子束通道的输出端设置偏转线圈，通过向偏转线圈输出相应的电流信号，从而可以扫描得到所需的扫描图形。
[0003]然而，目前尚未存在有效的光谱分析手段以对扫描所得的扫描图形进行分析，无法满足当下的应用需求。
技术实现思路
[0004]本公开实施例至少提供一种电子束扫描控制方法、装置、电子设备及存储介质，以对扫描点图进行可视化的窗口分析，便于更直观地查看光谱分析结果的同时，分析结果也更为丰富。
[0005]第一方面，本公开实施例提供了一种电子束扫描控制方法，包括：
[0006]响应于针对扫描点图的目标窗口扫描操作，获取所述目标窗口扫描操作下设置的扫描参数值；所述扫描点图是基于电子束扫描操作扫描得到的；
[0007]基于所述扫描参数值进行针对目标窗口的光谱分析操作，得到对应于所述目标窗口的光谱分析结果。
[0008]在一种可能的实施方式中，在所述目标窗口指向目标区域的情况下，所述响应于针对扫描点图的目标窗口扫描操作，包括：
[0009]在鼠标拖动形成矩形选区的情况下，响应于针对所述扫描点图的目标区域扫描操作；
[0010]所述基于所述扫描参数值进行针对目标窗口的光谱分析操作，包括：
[0011]基于所述扫描参数值确定与所述目标区域相匹配的待扫描区域；
[0012]响应于所述待扫描区域的扫描操作，获取扫描到的所述待扫描区域内各个目标扫描点的光信号；
[0013]响应于针对所述目标扫描点的分光操作，得到所述目标扫描点的光谱分析结果，所述光谱分析结果至少包括对应目标扫描点在不同波段的光强度值。
[0014]在一种可能的实施方式中，在所述目标窗口指向目标线段的情况下，所述响应于针对扫描点图的目标窗口扫描操作，包括：
[0015]在鼠标拖动形成线性选区的情况下，响应于针对所述扫描点图的目标线段扫描操作；
[0016]所述基于所述扫描参数值进行针对目标窗口的光谱分析操作，包括：
[0017]基于所述扫描参数值确定与所述目标线段相匹配的待扫描线段；
[0018]响应于所述待扫描线段的扫描操作，获取扫描到的所述待扫描线段内各个目标扫描点的光信号；
[0019]响应于针对所述目标扫描点的分光操作，得到所述目标扫描点的光谱分析结果，所述光谱分析结果至少包括对应目标扫描点在不同波段的光强度值。
[0020]在一种可能的实施方式中，在所述目标窗口指向目标点集的情况下，所述响应于针对扫描点图的目标窗口扫描操作，包括：
[0021]在鼠标点击形成扫描点的情况下，响应于针对所述扫描点图的目标点集扫描操作；
[0022]所述基于所述扫描参数值进行针对目标窗口的光谱分析操作，包括：
[0023]基于所述扫描参数值确定与所述目标点集相匹配的各个待扫描点；
[0024]响应于所述待扫描点的扫描操作，获取扫描到的目标扫描点的光信号；
[0025]响应于针对所述目标扫描点的分光操作，得到所述目标扫描点的光谱分析结果，所述光谱分析结果至少包括对应目标扫描点在不同波段的光强度值。
[0026]在一种可能的实施方式中，在所述得到所述目标扫描点的光谱分析结果之后，所述方法还包括：
[0027]针对任一所述目标扫描点，基于所述目标扫描点在不同波段的光强度值进行叠加平均操作，得到所述目标扫描点对应的光谱强度值；
[0028]将各个所述目标扫描点对应的光谱强度值进行集合，确定与所述目标窗口对应的光谱强度图。
[0029]在一种可能的实施方式中，所述方法还包括：
[0030]响应于针对所述目标窗口的第一光谱分析展示操作，展示所述目标窗口对应的光谱强度图。
[0031]在一种可能的实施方式中，在所述得到所述目标扫描点的光谱分析结果之后，所述方法还包括：
[0032]针对任一所述目标扫描点，基于所述目标扫描点在不同波段的光强度值，得到所述目标扫描点对应的光谱波形图。
[0033]在一种可能的实施方式中，所述方法还包括：
[0034]响应于针对所述目标窗口内任一目标扫描点的第二光谱分析展示操作，展示所述目标扫描点对应的光谱波形图。
[0035]在一种可能的实施方式中，在所述光谱分析结果包括所述目标窗口对应的光谱强度图以及所述目标窗口内各个扫描点对应的光谱波形图的情况下，所述方法还包括：
[0036]响应于针对所述光谱强度图中任一像素点的点击操作，从所述目标窗口内各个扫描点对应的光谱波形图中确定与所述像素点对应的光谱波形图，并进行同步展示；
[0037]或者，
[0038]响应于针对所述光谱波形图中任一波段的点击操作，从所述光谱强度图中确定与所述波段对应的各个像素点的光谱强度值，并进行同步展示。
[0039]在一种可能的实施方式中，按照如下步骤扫描得到所述扫描点图：
[0040]响应于电子束扫描操作，获取所述电子束扫描操作下采集的脉冲信号；
[0041]基于所述脉冲信号进行成像，生成扫描点图。
[0042]第二方面，本公开还提供了一种电子束扫描控制装置，包括：
[0043]获取模块，用于响应于针对扫描点图的目标窗口扫描操作，获取所述目标窗口扫描操作下设置的扫描参数值；所述扫描点图是基于电子束扫描操作扫描得到的；
[0044]分析模块，用于基于所述扫描参数值进行针对目标窗口的光谱分析操作，得到对应于所述目标窗口的光谱分析结果。
[0045]第三方面，本公开还提供了一种电子设备，包括：处理器、存储器和总线，所述存储器存储有所述处理器可执行的机器可读指令，当电子设备运行时，所述处理器与所述存储器之间通过总线通信，所述机器可读指令被所述处理器执行时执行如第一方面及其各种实施方式中任一项所述的电子束扫描控制方法。
[0046]第四方面，本公开还提供了一种计算机可读存储介质，该计算机可读存储介质上存储有计算机程序，该计算机程序被处理器运行时执行如第一方面及其各种实施方式中任一项所述的电子束扫描控制方法。
[0047]采用上述电子束扫描控制方法、装置、电子设备及存储介质，响应于针对扫描点图的目标窗口扫描操作，可以获取目标窗口扫描操作下设置的扫描参数值，而后基于扫描参数值进行针对目标窗口的光谱分析操作，得到对应于目标窗口的光谱分析结果。这里可以是针对目标窗口的光谱分析操作，相比扫描点图而言，针对目标窗口可以是更细粒度的扫描操作，这样所确定的光谱分析结果能够解析出更为完整全面的光谱特性信息，且可视化地查看各项操作及最终的光谱分析结果，适用性更强。...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种电子束扫描控制方法，其特征在于，包括：响应于针对扫描点图的目标窗口扫描操作，获取所述目标窗口扫描操作下设置的扫描参数值；所述扫描点图是基于电子束扫描操作扫描得到的；基于所述扫描参数值进行针对目标窗口的光谱分析操作，得到对应于所述目标窗口的光谱分析结果。2.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，在所述目标窗口指向目标区域的情况下，所述响应于针对扫描点图的目标窗口扫描操作，包括：在鼠标拖动形成矩形选区的情况下，响应于针对所述扫描点图的目标区域扫描操作；所述基于所述扫描参数值进行针对目标窗口的光谱分析操作，包括：基于所述扫描参数值确定与所述目标区域相匹配的待扫描区域；响应于所述待扫描区域的扫描操作，获取扫描到的所述待扫描区域内各个目标扫描点的光信号；响应于针对所述目标扫描点的分光操作，得到所述目标扫描点的光谱分析结果，所述光谱分析结果至少包括对应目标扫描点在不同波段的光强度值。3.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，在所述目标窗口指向目标线段的情况下，所述响应于针对扫描点图的目标窗口扫描操作，包括：在鼠标拖动形成线性选区的情况下，响应于针对所述扫描点图的目标线段扫描操作；所述基于所述扫描参数值进行针对目标窗口的光谱分析操作，包括：基于所述扫描参数值确定与所述目标线段相匹配的待扫描线段；响应于所述待扫描线段的扫描操作，获取扫描到的所述待扫描线段内各个目标扫描点的光信号；响应于针对所述目标扫描点的分光操作，得到所述目标扫描点的光谱分析结果，所述光谱分析结果至少包括对应目标扫描点在不同波段的光强度值。4.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，在所述目标窗口指向目标点集的情况下，所述响应于针对扫描点图的目标窗口扫描操作，包括：在鼠标点击形成扫描点的情况下，响应于针对所述扫描点图的目标点集扫描操作；所述基于所述扫描参数值进行针对目标窗口的光谱分析操作，包括：基于所述扫描参数值确定与所述目标点集相匹配的各个待扫描点；响应于所述待扫描点的扫描操作，获取扫描到的目标扫描点的光信号；响应于针对所述目标扫描点的分光操作，得到所述目标扫描点的光谱分析结果，所述光谱分析结果至少包括对应目标扫描点在不同波段的光强度值。5.根据权利要求2至4中任一项所述的方法，其特征在于，在所述得到所述目标扫描点的光谱分析结果之后，所述方法还包括：针对任一所述目标扫描点，基于所述目标扫描点在不同波段的光强度值进行叠加...
【专利技术属性】
技术研发人员：何超，王贺，魏倩，
申请(专利权)人：北京金竟科技有限责任公司，
类型：发明
国别省市：
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