一种等离子水洗机养护装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术属于半导体尾气处理技术领域，尤其为一种等离子水洗机养护装置，包括安装在火炬法兰盘底部的垫片，所述垫片的下方设有四个四分之一圆环形的固定座，每个所述固定座的表面均固定有转动架；用户在安装火炬时，将火炬的法兰盘放在垫片上，按动开关，用户观察辅助激光形成的十字线，可判断出安装是否准确，再次按动启动开关，使固定座吸附固定在反应室处，伸缩杆、套杆、弹簧将火炬支撑，用户向下按压火炬，弹簧产生收缩，火炬向安装处平移，避免火炬安装时碰撞到反应室边缘，便于用户安装，火炬放置正确无误后，拔下锁定杆，继续对夹台施加压力，使弹簧压缩，即可将夹台从垫片下抽出，操作简单方便，便于用户准确安装火炬。便于用户准确安装火炬。便于用户准确安装火炬。

【技术实现步骤摘要】
一种等离子水洗机养护装置


[0001]本技术属于半导体尾气处理
，具体涉及一种等离子水洗机养护装置。

技术介绍

[0002]生产制造半导体的零件时，添加的各种试剂在加工的过程中会产生挥发形成尾气，生产车间的尾气需要经过处理后才能够排放，处理尾气会使用到等离子水洗机；等离子水洗机的反应室需要定期清理养护，清理时需要卸下其中的等离子火炬，目前在拆卸和安装火炬时，通常借助扳手等通用工具，拆卸掉等离子火炬的法兰盘，然后手持取出；市面上目前还没有专门用于安装和拆卸等离子水洗机中火炬的工具，在一些中大型的等离子水洗机中，火炬的重量较大，安装火炬费时费力，十分不便。
[0003]为解决上述问题，本申请中提出一种等离子水洗机养护装置。

技术实现思路

[0004]为解决上述
技术介绍
中提出的问题。本技术提供了一种等离子水洗机养护装置，具有安装火炬时辅助校准，拆卸火炬时辅助省力的特点。
[0005]为实现上述目的，本技术提供如下技术方案：一种等离子水洗机养护装置，包括安装在火炬法兰盘底部的垫片，所述垫片的下方设有四个四分之一圆环形的本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种等离子水洗机养护装置，其特征在于：包括安装在火炬法兰盘底部的垫片(1)，所述垫片(1)的下方设有四个四分之一圆环形的固定座(2)，每个所述固定座(2)的表面均固定有转动架(3)，所述固定座(2)的内侧固定有辅助激光(4)，所述转动架(3)转动连接有伸缩杆(5)，所述伸缩杆(5)远离所述转动架(3)的一端滑动连接有套杆(6)，所述套杆(6)内安装有弹簧(7)，所述套杆(6)远离所述伸缩杆(5)的一端通过转动座(9)转动连接有夹台(8)，所述夹台(8)贴合在所述垫片(1)的底侧。2.根据权利要求1所述的等离子水洗机养护装置，其特征在于：所述夹台(8)的边沿处开设有对称设置的插孔(81)，所述夹台(8)的一侧设有锁定杆(10)，所述锁定杆(1...

【专利技术属性】
技术研发人员：胡大海，周育呈，谢海，
申请(专利权)人：合肥钛米半导体有限公司，
类型：新型
国别省市：