一种等离子水洗机养护装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术属于半导体尾气处理技术领域，尤其为一种等离子水洗机养护装置，包括安装在火炬法兰盘底部的垫片，所述垫片的下方设有四个四分之一圆环形的固定座，每个所述固定座的表面均固定有转动架；用户在安装火炬时，将火炬的法兰盘放在垫片上，按动开关，用户观察辅助激光形成的十字线，可判断出安装是否准确，再次按动启动开关，使固定座吸附固定在反应室处，伸缩杆、套杆、弹簧将火炬支撑，用户向下按压火炬，弹簧产生收缩，火炬向安装处平移，避免火炬安装时碰撞到反应室边缘，便于用户安装，火炬放置正确无误后，拔下锁定杆，继续对夹台施加压力，使弹簧压缩，即可将夹台从垫片下抽出，操作简单方便，便于用户准确安装火炬。便于用户准确安装火炬。便于用户准确安装火炬。

【技术实现步骤摘要】
一种等离子水洗机养护装置


[0001]本技术属于半导体尾气处理
，具体涉及一种等离子水洗机养护装置。

技术介绍

[0002]生产制造半导体的零件时，添加的各种试剂在加工的过程中会产生挥发形成尾气，生产车间的尾气需要经过处理后才能够排放，处理尾气会使用到等离子水洗机；等离子水洗机的反应室需要定期清理养护，清理时需要卸下其中的等离子火炬，目前在拆卸和安装火炬时，通常借助扳手等通用工具，拆卸掉等离子火炬的法兰盘，然后手持取出；市面上目前还没有专门用于安装和拆卸等离子水洗机中火炬的工具，在一些中大型的等离子水洗机中，火炬的重量较大，安装火炬费时费力，十分不便。
[0003]为解决上述问题，本申请中提出一种等离子水洗机养护装置。

技术实现思路

[0004]为解决上述
技术介绍
中提出的问题。本技术提供了一种等离子水洗机养护装置，具有安装火炬时辅助校准，拆卸火炬时辅助省力的特点。
[0005]为实现上述目的，本技术提供如下技术方案：一种等离子水洗机养护装置，包括安装在火炬法兰盘底部的垫片，所述垫片的下方设有四个四分之一圆环形的固定座，每个所述固定座的表面均固定有转动架，所述固定座的内侧固定有辅助激光，所述转动架转动连接有伸缩杆，所述伸缩杆远离所述转动架的一端滑动连接有套杆，所述套杆内安装有弹簧，所述套杆远离所述伸缩杆的一端通过转动座转动连接有夹台，所述夹台贴合在所述垫片的底侧。
[0006]作为本技术一种等离子水洗机养护装置优选的，所述夹台的边沿处开设有对称设置的插孔，所述夹台的一侧设有锁定杆，所述锁定杆的两端固定有插块，所述插块与所述插孔插接，四个所述夹台通过四个所述锁定杆收尾相连。
[0007]作为本技术一种等离子水洗机养护装置优选的，所述夹台的表面开设有通槽，所述通槽的宽度大于所述垫片上通孔的直径。
[0008]作为本技术一种等离子水洗机养护装置优选的，所述固定座内为空心结构，所述固定座内安装有电池，所述电池的两侧设有固定在所述固定座内的电磁铁，所述固定座的外侧壁安装有开关。
[0009]作为本技术一种等离子水洗机养护装置优选的，所述伸缩杆与所述转动架转动连接处开设有豁口。
[0010]与现有技术相比，本技术的有益效果是：
[0011]用户在安装火炬时，将火炬的法兰盘放在垫片上，按动开关，用户观察辅助激光形成的十字线，可判断出安装是否准确，再次按动启动开关，使固定座吸附固定在反应室处，伸缩杆、套杆、弹簧将火炬支撑，用户向下按压火炬，弹簧产生收缩，火炬向安装处平移，避
免火炬安装时碰撞到反应室边缘，便于用户安装，火炬放置正确无误后，拔下锁定杆，继续对夹台施加压力，使弹簧压缩，即可将夹台从垫片下抽出，操作简单方便，便于用户准确安装火炬。
附图说明
[0012]附图用来提供对本技术的进一步理解，并且构成说明书的一部分，与本技术的实施例一起用于解释本技术，并不构成对本技术的限制。在附图中：
[0013]图1为本技术的结构示意图；
[0014]图2为本技术中图1A处的放大结构示意图；
[0015]图3为本技术中套杆的结构示意图；
[0016]图4为本技术中磁吸固定座的内部结构示意图；
[0017]图5为本技术的电路结构示意图；
[0018]图中：1、垫片；2、固定座；21、电池；22、电磁铁；23、开关；3、转动架；4、辅助激光；5、伸缩杆；51、豁口；6、套杆；7、弹簧；8、夹台；81、插孔；82、通槽；9、转动座；10、锁定杆；101、插块。
具体实施方式
[0019]下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本技术保护的范围。
[0020]实施例1
[0021]在生产制造半导体的零件时，添加的各种试剂在加工的过程中会产生挥发形成尾气，生产车间的尾气需要经过处理后才能够排放，处理尾气会使用到等离子水洗机；等离子水洗机的反应室需要定期清理养护，清理时需要卸下其中的等离子火炬，目前在拆卸和安装火炬时，通常借助扳手等通用工具，拆卸掉等离子火炬的法兰盘，然后手持取出；市面上目前还没有专门用于安装和拆卸等离子水洗机中火炬的工具，在一些中大型的等离子水洗机中，火炬的重量较大，安装火炬费时费力，十分不便；为解决上述问题，提出以下改进方案。
[0022]如图1
‑
图5所示；
[0023]结合上述内容：
[0024]该等离子水洗机养护装置，包括安装在火炬法兰盘底部的垫片1，垫片1的下方设有四个四分之一圆环形的固定座2，每个固定座2的表面均固定有转动架3，固定座2的内侧固定有辅助激光4，转动架3转动连接有伸缩杆5，伸缩杆5远离转动架3的一端滑动连接有套杆6，套杆6内安装有弹簧7，套杆6远离伸缩杆5的一端通过转动座9转动连接有夹台8，夹台8贴合在垫片1的底侧。
[0025]需要说明的是，固定座2安装在反应室上。
[0026]本实施方案中：用户使用本技术安装火炬时，打开辅助激光4，使其形成十字线，用户可观察十字线位置使固定座2和安装处同轴心，将火炬法兰盘放置在垫片1上，伸缩
杆5、套杆6和弹簧7将火炬支撑，此时用户可再次确认火炬是否位于安装处的正上方，按压火炬或者夹台8，四个套杆6和伸缩杆5同时收缩，使夹台8向下平移，直至靠近安装处，用户可分别将夹台8逐个施加压力，使套杆6和伸缩杆5继续收缩，从而取下夹台8，在法兰盘上安装螺栓，完成火炬的安装校准，当需要取下火炬时，拆下法兰盘上的螺栓，按照上述操作逆向操作，使夹台8插入到垫片1底侧，释放对夹台8的压力，弹簧7的弹力使火炬缓慢抬升，避免因用户手持操作导致火炬碰撞反应室的情况。
[0027]需要说明的是：伸缩杆5和套杆6之间具有一定阻尼。
[0028]更进一步而言：
[0029]在一个可选的实施例中，夹台8的边沿处开设有对称设置的插孔81，夹台8的一侧设有锁定杆10，锁定杆10的两端固定有插块101，插块101与插孔81插接，四个夹台8通过四个锁定杆10收尾相连。
[0030]本实施例中：通过此设计，四个锁定杆10使夹台8的间距保持稳定，在安装和拆卸火炬的过程中，避免夹台8散开导致火炬脱落。
[0031]更进一步而言：
[0032]在一个可选的实施例中，夹台8的表面开设有通槽82，通槽82的宽度大于垫片1上通孔的直径。
[0033]本实施例中：通过此设计，用户可将螺栓从通槽82处穿过，在安装火炬时可通过此结构将火炬预装。
[0034]更进一步而言：
[0035]在一个可选的实施例中，固定座2内为空心结构，固定座2内安装有电池21，本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种等离子水洗机养护装置，其特征在于：包括安装在火炬法兰盘底部的垫片(1)，所述垫片(1)的下方设有四个四分之一圆环形的固定座(2)，每个所述固定座(2)的表面均固定有转动架(3)，所述固定座(2)的内侧固定有辅助激光(4)，所述转动架(3)转动连接有伸缩杆(5)，所述伸缩杆(5)远离所述转动架(3)的一端滑动连接有套杆(6)，所述套杆(6)内安装有弹簧(7)，所述套杆(6)远离所述伸缩杆(5)的一端通过转动座(9)转动连接有夹台(8)，所述夹台(8)贴合在所述垫片(1)的底侧。2.根据权利要求1所述的等离子水洗机养护装置，其特征在于：所述夹台(8)的边沿处开设有对称设置的插孔(81)，所述夹台(8)的一侧设有锁定杆(10)，所述锁定杆(1...

【专利技术属性】
技术研发人员：胡大海，周育呈，谢海，
申请(专利权)人：合肥钛米半导体有限公司，
类型：新型
国别省市：