一种电加热水洗机防护装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术属于半导体尾气处理技术领域，尤其为一种电加热水洗机防护装置，还包括安装在所述设备壳体一侧的降温组件，所述降温组件包括设置在所述设备壳体外侧的氮气瓶以及螺纹连接在所述氮气瓶输出端上的连接头，所述连接头远离所述氮气瓶的一端连接有软管，所述软管靠近所述连接头的位置处安装有电磁阀；本实用新型专利技术测温模块监测设备壳体内的温度，当温度到达40℃时，启动打开电磁阀，使氮气瓶内的液氮经过软管和降温管A，喷入到设备壳体内，从而对设备壳体的内部进行降温，防止用户在操作时，因设备壳体表面的温度较高而受伤，氮气瓶内的液氮用完后可进行更换，固定组件使氮气瓶安装固定牢固，且拆卸时快捷方便，便于用户使用。用。用。

【技术实现步骤摘要】
一种电加热水洗机防护装置


[0001]本技术属于半导体尾气处理
，具体涉及一种电加热水洗机防护装置。

技术介绍

[0002]半导体行业中使用的清洗剂、显影剂、光刻胶、蚀刻液等溶剂中含有大量有机物成分。在工艺过程中，这些有机溶剂大部分通过挥发成为废气排放，一般采用一种电加热水洗设备对废气进行净化；
[0003]经查公开(公告)号：CN113426240B公开了一种电加热式半导体废气处理设备及其降温的方法，此技术中公开了“反应腔，用于使半导体废气在其内反应；第一冷却器，所述第一冷却器环绕设置于所述反应腔的外壁上，且连通于所述反应腔内部；第二冷却器，所述第二冷却器环绕设置于所述第一冷却器的外壁上”等技术方案；具有“实现了电加热式半导体废气处理设备快速降温，从而缩短了设备的维护时间”等技术效果；
[0004]在处理尾气时发生的反应产生大量的热量，虽然这种方式能够使反应腔快速降温，但是在尾气处理的中期及后期，因低温液体的降温部位为反应腔外壁，降温时设备的壳体表面具有较高温度，操作人员在操作设备时具有一定的安全隐患。
[0005]为解决上述问题，本申请中提出一种电加热水洗机防护装置。

技术实现思路

[0006]为解决上述
技术介绍
中提出的问题。本技术提供了一种电加热水洗机防护装置，具有对设备整体进行降温，保护操作人员的特点。
[0007]为实现上述目的，本技术提供如下技术方案：一种电加热水洗机防护装置，包括设备壳体以及安装在所述设备壳体内的反应室，所述设备壳体的内壁上安装有三个测温模块，所述设备壳体的表面安装有控制面板，还包括安装在所述设备壳体一侧的降温组件，所述降温组件包括设置在所述设备壳体外侧的氮气瓶以及螺纹连接在所述氮气瓶输出端上的连接头，所述连接头远离所述氮气瓶的一端连接有软管，所述软管靠近所述连接头的位置处安装有电磁阀，所述软管远离所述连接头的一端贯穿所述设备壳体的外侧壁并固定在所述设备壳体内表面，所述设备壳体内表面固定有C形结构的降温管A和降温管B，所述降温管A和所述降温管B均与所述软管相连接，所述降温管A和所述降温管B绕所述反应室设置，所述设备壳体的顶部安装有贯穿所述设备壳体的排气管，所述排气管上安装有离心风机。
[0008]作为本技术一种电加热水洗机防护装置优选的，所述氮气瓶的上方设有固定组件，所述固定组件包括固定在所述设备壳体外侧壁上的限位框以及转动连接在所述限位框内侧的翻转板，所述限位框的上表面设有贯穿所述限位框的挤压杆，所述挤压杆的外侧壁套设有弹簧，所述氮气瓶的底部设有固定在所述设备壳体外侧壁上的固定座，所述挤压杆的底端抵触在所述氮气瓶的顶端表面。
[0009]作为本技术一种电加热水洗机防护装置优选的，所述翻转板远离转动连接处的一侧固定有凸块，所述限位框的内壁开设有和所述凸块相匹配的孔。
[0010]作为本技术一种电加热水洗机防护装置优选的，所述翻转板为亚克力板材结构。
[0011]作为本技术一种电加热水洗机防护装置优选的，所述挤压杆的底端为橡胶制球面结构。
[0012]作为本技术一种电加热水洗机防护装置优选的，所述挤压杆和所述氮气瓶均设有两组，所述挤压杆对应所述氮气瓶设置。
[0013]与现有技术相比，本技术的有益效果是：
[0014]本技术测温模块监测设备壳体内的温度，当温度到达40℃时，启动打开电磁阀，使氮气瓶内的液氮经过软管和降温管A，喷入到设备壳体内，从而对设备壳体的内部进行降温，防止用户在操作时，因设备壳体表面的温度较高而受伤，氮气瓶内的液氮用完后可进行更换，固定组件使氮气瓶安装固定牢固，且拆卸时快捷方便，便于用户使用。
附图说明
[0015]附图用来提供对本技术的进一步理解，并且构成说明书的一部分，与本技术的实施例一起用于解释本技术，并不构成对本技术的限制。在附图中：
[0016]图1为本技术的结构示意图；
[0017]图2为本技术中固定组件的结构示意图；
[0018]图3为本技术中翻转板的结构示意图；
[0019]图4为本技术中降温管A的结构示意图；
[0020]图中：1、设备壳体；2、反应室；3、测温模块；4、排气管；5、离心风机；
[0021]30、降温组件；31、氮气瓶；32、连接头；33、软管；34、电磁阀；35、降温管A；36、降温管B；37、压力表；
[0022]40、固定组件；41、限位框；42、翻转板；421、凸块；43、挤压杆；44、弹簧；45、固定座。
具体实施方式
[0023]下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本技术保护的范围。
[0024]实施例1
[0025]如图1所示；
[0026]一种电加热水洗机防护装置，包括设备壳体1以及安装在设备壳体1内的反应室2，设备壳体1的内壁上安装有三个测温模块3，设备壳体1的表面安装有控制面板；
[0027]本实施方案中：半导体行业中使用的清洗剂、显影剂、光刻胶、蚀刻液等溶剂中含有大量有机物成分。在工艺过程中，这些有机溶剂大部分通过挥发成为废气排放，一般采用一种电加热水洗设备对废气进行净化；
[0028]经查公开(公告)号：CN113426240B公开了一种电加热式半导体废气处理设备及其
降温的方法，此技术中公开了“反应腔，用于使半导体废气在其内反应；第一冷却器，所述第一冷却器环绕设置于所述反应腔的外壁上，且连通于所述反应腔内部；第二冷却器，所述第二冷却器环绕设置于所述第一冷却器的外壁上”等技术方案；具有“实现了电加热式半导体废气处理设备快速降温，从而缩短了设备的维护时间”等技术效果；
[0029]在处理尾气时发生的反应产生大量的热量，虽然这种方式能够使反应腔快速降温，但是在尾气处理的中期及后期，因低温液体的降温部位为反应腔外壁，降温时设备的壳体表面具有较高温度，操作人员在操作设备时具有一定的安全隐患；为了解决上述问题，提出以下改进方案。
[0030]进一步而言：
[0031]如图1
‑
4所示；
[0032]结合上述内容：
[0033]为了防止设备壳体1表面的温度烫伤用户，该电加热水洗机防护装置还包括安装在设备壳体1一侧的降温组件30，降温组件30包括设置在设备壳体1外侧的氮气瓶31以及螺纹连接在氮气瓶31输出端上的连接头32，连接头32远离氮气瓶31的一端连接有软管33，软管33靠近连接头32的位置处安装有电磁阀34，软管33远离连接头32的一端贯穿设备壳体1的外侧壁并固定在设备壳体1内表面，设备壳体1内表面固定有C形结构的降温管A35和降温管B36，降温管A35和降本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种电加热水洗机防护装置，包括设备壳体(1)以及安装在所述设备壳体(1)内的反应室(2)，所述设备壳体(1)的内壁上安装有三个测温模块(3)，所述设备壳体(1)的表面安装有控制面板，其特征在于：还包括安装在所述设备壳体(1)一侧的降温组件(30)，所述降温组件(30)包括设置在所述设备壳体(1)外侧的氮气瓶(31)以及螺纹连接在所述氮气瓶(31)输出端上的连接头(32)，所述连接头(32)远离所述氮气瓶(31)的一端连接有软管(33)，所述软管(33)靠近所述连接头(32)的位置处安装有电磁阀(34)，所述软管(33)远离所述连接头(32)的一端贯穿所述设备壳体(1)的外侧壁并固定在所述设备壳体(1)内表面，所述设备壳体(1)内表面固定有C形结构的降温管A(35)和降温管B(36)，所述降温管A(35)和所述降温管B(36)均与所述软管(33)相连接，所述降温管A(35)和所述降温管B(36)绕所述反应室(2)设置，所述设备壳体(1)的顶部安装有贯穿所述设备壳体(1)的排气管(4)，所述排气管(4)上安装有离心风机(5)。2.根据权利要求1所述的电加热水洗机防护装...

【专利技术属性】
技术研发人员：周育呈，胡大海，黄泓豪，
申请(专利权)人：合肥钛米半导体有限公司，
类型：新型
国别省市：