本公开是关于一种渐变放电间隙深度的高浓度分体板式臭氧发生器。其中，该渐变放电间隙深度的高浓度分体板式臭氧发生器包括：高压组件、低压组件、氧气臭氧管路、冷却管路、地级组件，其中：所述地级组件包括地级下组件、地级上组件，所述高压组件、低压组件在地级下组件、地级上组件连接后，内部形成密闭放电室；所述地级下组件内包括用于为高压组件冷却的预设的高压侧冷却管路；所述地级上组件内包括用于为低压组件冷却的预设的低压侧冷却管路；放电间隙深度由外向内递减。本公开通过渐渐变放电间隙深度实现了放电间隙内放电效率的提升，进而提高了臭氧转化效率。而提高了臭氧转化效率。而提高了臭氧转化效率。
【技术实现步骤摘要】
一种渐变放电间隙深度的高浓度分体板式臭氧发生器
[0001]本公开涉及臭氧制备装置领域，具体而言，涉及一种渐变放电间隙深度的高浓度分体板式臭氧发生器。
技术介绍
[0002]臭氧是绿色环保的强氧化剂，臭氧用于水质消毒、化工氧化、污水处理、废气处理、空气灭菌和高级氧化等工艺应用。同时臭氧在光伏ALD镀膜、硅片清洗、面板清洗、半导体制造中同样有很大的应用。
[0003]现有技术的臭氧发生器氧气从圆形的放电间隙的四周进入放电间隙生成臭氧后由圆心的臭氧输出孔输出时，由于现有技术的臭氧发生器的放电间隙为深度均匀的等高设计，使得圆心处的气体流动速度远大于圆形的放电间隙的四周的气体流动速度，导致放电间隙的圆心处臭氧反应效率过低，进而导致臭氧发生器整体的臭氧转化率降低。
[0004]因此，需要一种或多种方法解决上述问题。
[0005]需要说明的是，在上述
技术介绍
部分公开的信息仅用于加强对本公开的背景的理解，因此可以包括不构成对本领域普通技术人员已知的现有技术的信息。
技术实现思路
[0006]本公开的目的在于提供一种渐变放电间隙深度的高浓度分体板式臭氧发生器，进而至少在一定程度上克服由于相关技术的限制和缺陷而导致的一个或者多个问题。
[0007]根据本公开的一个方面，提供一种渐变放电间隙深度的高浓度分体板式臭氧发生器，包括高压组件、低压组件、氧气臭氧管路、冷却管路、地级组件，其中：所述地级组件包括第一地级下组件、第二地级下组件、第一地级上组件、第二地级上组件，所述第二地级下组件的内侧与所述高压组件固定连接，所述第二地级上组件的内侧与所述低压组件固定连接，所述第一地级下组件、第二地级下组件、第一地级上组件、第二地级上组件通过紧固装置贯穿连接，内部形成密闭放电室，所述密闭放电室用于使氧气基于所述高压组件、低压组件放电作用生成臭氧；所述第二地级下组件的外侧与所述第一地级下组件的内侧均预设有通路凹槽，在所述第二地级下组件的外侧与所述第一地级下组件的内侧固定连接，所述第二地级下组件的外侧与所述第一地级下组件的内侧的预设通路凹槽对接生成高压侧冷却管路，所述高压侧冷却管路用于冷却液通过所述第二地级下组件导热以实现对所述高压组件的冷却；所述第二地级上组件的外侧与所述第一地级上组件的内侧均预设有通路凹槽，在所述第二地级上组件的外侧与所述第一地级上组件的内侧固定连接，所述第二地级上组件的外侧与所述第一地级上组件的内侧的预设通路凹槽对接生成低压侧冷却管路，所述低压侧冷却管路用于冷却液通过所述第二地级上组件导热以实现对所述低压组件的冷却。
[0008]在本公开的一种示例性实施例中，所述臭氧发生器的高压组件还包括第一高压导电元件、第二高压导电元件、高压电缆，其中：
所述第一高压导电元件的一侧与阻挡介质陶瓷板连接，所述第一高压导电元件的另一侧通过第一导电导热粘合剂与所述第二高压导电元件的一侧连接；所述第二高压导电元件的另一侧与高压隔离绝缘件的一侧连接；所述高压隔离绝缘件的另一侧通过第二导电导热粘合剂与所述第二地级下组件连接；所述高压电缆穿过所述高压隔离绝缘件、第二导电导热粘合剂与所述第二高压导电元件连接，所述高压电缆用于为所述高压组件供电。
[0009]所述第一导热粘合剂与所述第一导电导热粘合剂的外缘包裹连接，所述第二导热粘合剂与所述第二导电导热粘合剂的外缘包裹连接。
[0010]在本公开的一种示例性实施例中，所述臭氧发生器的低压组件还包括低压导电元件，所述低压导电元件通过所述第三导电导热粘合剂与所述第二地级上组件连接；所述第三导热粘合剂与所述第三导电导热粘合剂的外缘包裹连接。
[0011]在本公开的一种示例性实施例中，所述臭氧发生器还包括间隙垫片；所述间隙垫片呈预设角度置于所述阻挡介质陶瓷板、低压导电元件之间，用于使在所述密闭放电室内的所述高压组件、低压组件间生成预设距离的放电间隙。
[0012]在本公开的一种示例性实施例中，所述臭氧发生器的氧气臭氧管路还包括氧气输入通道、臭氧出口通道，其中：所述氧气输入通道预设于所述第二地级下组件内，与预设于所述第二地级下组件内的氧气支管连接，所述氧气输入通道、氧气支管用于将氧气输入至所述密闭放电室内，所述氧气支管与限流器连接，所述限流器用于调节进入所述密闭放电室内的氧气的流量；所述臭氧出口通道预设于所述第二地级上组件内，与预设于所述第二地级上组件内的臭氧支管连接，所述臭氧出口通道、臭氧支管用于将在密闭放电室内生成的臭氧输出。
[0013]在本公开的一种示例性实施例中，所述臭氧发生器还包括：所述低压导电元件还包括第一低压侧孔，所述第三导电导热粘合剂还包括第二低压侧孔，所述第一低压侧孔、第二低压侧孔用于使在密闭放电室内生成的臭氧通过所述第一低压侧孔、第二低压侧孔输出至所述臭氧支管。
[0014]在本公开的一种示例性实施例中，所述臭氧发生器还包括：所述第一地级下组件还包括第一高压电缆孔、第二地级下组件还包括第二高压电缆孔，所述第一高压电缆孔、第二高压电缆孔用于使所述高压电缆穿过所述第一地级下组件、第二地级下组件与所述第二高压导电元件连接。
[0015]在本公开的一种示例性实施例中，所述臭氧发生器的冷却管路还包括高压侧进水口、高压侧出水口，所述高压侧进水口、高压侧出水口为在所述第二地级下组件、第一地级下组件对接时，分别由预设在所述第二地级下组件的外侧与所述第一地级下组件的内侧的管路凹槽对接形成，所述高压侧进水口、高压侧出水口用于将冷却液输入、输出于高压侧冷却管路，以对所述高压组件的冷却。
[0016]在本公开的一种示例性实施例中，所述臭氧发生器的冷却管路还包括低压侧进水口、低压侧出水口，所述低压侧进水口、低压侧出水口为在所述第二地级上组件、第一地级上组件对接时，分别由预设在所述第二地级上组件的外侧与所述第一地级上组件的内侧的管路凹槽对接形成，所述低压侧进水口、低压侧出水口用于将冷却液输入、输出于低压侧冷
却管路，以对所述低压组件的冷却。
[0017]在本公开的一种示例性实施例中，所述第一地级下组件、第二地级下组件、第一地级上组件、第二地级上组件基于所述中心螺栓、紧固螺栓连接，该连接的连接处、穿孔处均预设有O型密封圈安装槽，用于安装O型密封圈，所述O型密封圈用于使所述第一地级下组件、第二地级下组件、第一地级上组件、第二地级上组件密封连接。
[0018]本公开的示例性实施例中的一种渐变放电间隙深度的高浓度分体板式臭氧发生器，其中，该渐变放电间隙深度的高浓度分体板式臭氧发生器包括高压组件、低压组件、氧气臭氧管路、冷却管路、地级组件，其中：所述地级组件包括地级下组件、地级上组件，所述高压组件、低压组件在地级下组件、地级上组件连接后，内部形成密闭放电室；所述地级下组件内包括用于为高压组件冷却的预设的高压侧冷却管路；所述地级上组件内包括用于为低压组件冷却的预设的低压侧冷却管路。本公开通过地级下组件、地级上组件的组装连接，实现了包含密闭放电室、冷却管路的臭氧发生器，能够快速高效的生成高浓度臭氧气体。
[0019]应当本文档来自技高网...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种渐变放电间隙深度的高浓度分体板式臭氧发生器，其特征在于，所述臭氧发生器包括高压组件、低压组件、氧气臭氧管路、冷却管路、地级组件、间隙垫片，其中：所述地级组件包括第一地级下组件、第二地级下组件、第一地级上组件、第二地级上组件，所述第二地级下组件的内侧与所述高压组件固定连接，所述第二地级上组件的内侧与所述低压组件固定连接，所述第一地级下组件、第二地级下组件、第一地级上组件、第二地级上组件通过紧固装置贯穿连接，内部形成包含放电间隙的密闭放电室，所述密闭放电室用于使氧气基于所述高压组件、低压组件放电作用生成臭氧；所述第二地级下组件的外侧与所述第一地级下组件的内侧均预设有通路凹槽，在所述第二地级下组件的外侧与所述第一地级下组件的内侧固定连接，所述第二地级下组件的外侧与所述第一地级下组件的内侧的预设通路凹槽对接生成高压侧冷却管路，所述高压侧冷却管路用于冷却液通过所述第二地级下组件导热以实现对所述高压组件的冷却；所述第二地级上组件的外侧与所述第一地级上组件的内侧均预设有通路凹槽，在所述第二地级上组件的外侧与所述第一地级上组件的内侧固定连接，所述第二地级上组件的外侧与所述第一地级上组件的内侧的预设通路凹槽对接生成低压侧冷却管路，所述低压侧冷却管路用于冷却液通过所述第二地级上组件导热以实现对所述低压组件的冷却；所述间隙垫片呈预设角度置于阻挡介质陶瓷板、低压导电元件之间，用于使在所述密闭放电室内的所述高压组件、低压组件间生成预设距离的放电间隙；所述高压组件还包括阻挡介质陶瓷板，所述低压组件还包括低压导电元件，所述低压导电元件的放电间隙侧为锥形结构，所述阻挡介质陶瓷板、低压导电元件、间隙垫片生成的放电间隙的圆形外圈间隙至圆心方向深度递减。2.如权利要求1所述的臭氧发生器，其特征在于，所述臭氧发生器的高压组件还包括第一高压导电元件、第二高压导电元件、高压电缆、第一导热粘合剂、第二导热粘合剂，其中：所述第一高压导电元件的一侧与阻挡介质陶瓷板连接，所述第一高压导电元件的另一侧通过第一导电导热粘合剂与所述第二高压导电元件的一侧连接；所述第二高压导电元件的另一侧与高压隔离绝缘件的一侧连接；所述高压隔离绝缘件的另一侧通过第二导电导热粘合剂与所述第二地级下组件连接；所述高压电缆穿过所述高压隔离绝缘件、第二导电导热粘合剂与所述第二高压导电元件连接，所述高压电缆用于为所述高压组件供电；所述第一导热粘合剂与所述第一导电导热粘合剂的外缘包裹连接，所述第二导热粘合剂与所述第二导电导热粘合剂的外缘包裹连接。3.如权利要求2所述的臭氧发生器，其特征在于，所述臭氧发生器的低压组件还包括第三导电导热粘合剂...
【专利技术属性】
技术研发人员：杨小强，
申请(专利权)人：天津奥尔斯曼新能源科技有限公司，
类型：发明
国别省市：
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