一种晶圆清洗线制造技术

本实用新型专利技术公开了一种晶圆清洗线，包括机架，所述机架上沿X方向依次设置有上料站、第一工站、第二工站、第三工站、第四工站和下料站，所述上料站和第一工站之间设置有第一静电吸附机构，所述第四工站和下料站之间设置有第二静电吸附机构，所述第一工站一侧对应设置有清洗剂喷洒机构，所述第二工站一侧对应设置有清洁刷机构，所述第三工站一侧对应设置有吹风机构，所述第四工站对应设置有粘尘机构，所述机架上还设置有移载机构，所述移载机构用于将晶圆在相邻的两个工站之间进行转移。优点：能够高效的完成对晶圆的双面清洗，使得晶圆的表面洁净度高，保证晶圆的利用。保证晶圆的利用。保证晶圆的利用。

【技术实现步骤摘要】
一种晶圆清洗线


[0001]本技术涉及晶圆清洗设备领域，具体为一种晶圆清洗线。

技术介绍

[0002]DFB激光器在生产镀膜过程中，需要使用大量的陪条做辅材，由于镀膜工艺对陪条产品有严格的粉尘或杂物的管控。基于此需要对陪条生产过程特别是原料(裸晶圆片)需要管控粉尘或杂物。在实际来料中由于裸晶圆片表面会含有粉尘或有机物，使用现有按行业内标准清洗机清洁标准无尘达到陪条所需清洁标准等级，需要使用人工再次清洗以达到终端客户要求，再加上裸晶圆片的厚度在110um左右，在标准清洗机或人工清洗过程中，极易破碎。
[0003]鉴于此，有必要提供一种晶圆清洗线。

技术实现思路

[0004]本技术提供的一种晶圆清洗线，有效的解决了现有线晶圆在清洗效率低、晶圆清洗良品率低的问题。
[0005]本技术所采用的技术方案是：一种晶圆清洗线，包括机架，所述机架上沿X方向依次设置有上料站、第一工站、第二工站、第三工站、第四工站和下料站，所述上料站和第一工站之间设置有第一静电吸附机构，所述第四工站和下料站之间设置有第二静电吸附机构，所述第一工站一侧对应设置有清洗剂喷洒机构，所述第二工站一侧对应设置有清洁刷机构，所述第三工站一侧对应设置有吹风机构，所述第四工站对应设置有粘尘机构，所述机架上还设置有移载机构，所述移载机构用于将晶圆在相邻的两个工站之间进行转移。
[0006]进一步的是：所述移载机构包括沿X方向设置的一号直线模组、沿Z轴设置在一号直线模组上且输出端朝上的二号气缸、沿X轴固定设置在二号气缸输出端的一号连接板、若干个沿Y轴且等间距设置在连接板上的三号气缸、若干个分别设置在三号气缸输出端的吸盘组件。
[0007]进一步的是：所述吸盘组件包括与三号气缸输出端固定连接的连接段、与连接段一体成型的圆弧段以及若干个设置在圆滑端的一号吸盘，若干所述一号吸盘均匀的设置在圆弧段上。
[0008]进一步的是：所述上料站、下料站、第一工站、第二工站、第三工站和第四工站结构相同，所述上料站包括固定设置在一号工装、固定设置在一号工装上的固定座、若干沿固定座周向滑动设置在一号工装上的升降导柱、连接若干升降导柱下端的二号连接板以及用于驱动二号连接板升降的四号气缸，所述圆弧段可伸入固定座外侧与升降导柱之间，所述升降导柱包括与二号连接板固定连接并与一号工装滑动连接的一号柱以及同轴设置在一号柱上端的二号柱，所述二号柱上端设置有圆弧顶角，所述二号柱的直径小于一号柱的直径，使得二号柱与一号柱形成用于放置晶圆的台阶，所述固定座上设置有真空吸附孔。
[0009]进一步的是：所述清洗剂喷洒机构包括沿Y轴设置的二号直线模组以及设置在二
号直线模组输出端的喷淋头。
[0010]进一步的是：所述清洁刷机构包括沿Y轴设置的八号直线模组、沿Z轴设置在八号直线模组输出端的八号气缸以及固定设置在八号气缸输出端的毛刷。
[0011]进一步的是：所述吹风机构包括沿Y轴设置的七号直线模组、设置在七号模组输出端的四号连接板以及设置在四号连接板上的吹风头。
[0012]进一步的是：所述粘尘机构包括沿Y轴设置的五号直线模组、沿Z轴且输出端朝下设置在五号直线模组输出端的五号气缸、固定设置在五号气缸输出端的连接件以及滚动设置在连接件上的滚轮，所述滚轮的长度不低于晶圆的直径。
[0013]进一步的是：所述清洗剂喷洒机构、清洁刷机构、吹风机构、粘尘机构和移载机构位于同一侧，所述上料站、第一工站、第二工站、第三工站、第四工站和下料站均向远离移载机构一侧倾斜。
[0014]技术的有益效果：能够高效的完成对晶圆的双面清洗，使得晶圆的表面洁净度高，保证晶圆的利用。
附图说明
[0015]图1为本申请的实施例所提供的晶圆清洗线的整体示意图。
[0016]图2为本申请的实施例所提供的晶圆清洗线的整体示意图。
[0017]图3为本申请的实施例所提供的晶圆清洗线的上料站的示意图。
[0018]图4为本申请的实施例所提供的晶圆清洗线的上料站的升降导柱的示意图。
[0019]图5为本申请的实施例所提供的晶圆清洗线的移载机构的示意图。
[0020]图6为本申请的实施例所提供的晶圆清洗线的移载机构的吸盘组件的示意图。
[0021]图中标记为：1、上料站；2、第一工站；3、第二工站；4、第三工站；5、第四工站；6、下料站；7、第一静电吸附机构；8、第二静电吸附机构；9、清洗剂喷洒机构；10、清洁刷机构；11、吹风机构；12、粘尘机构；13、移载机构；131、一号直线模组；132、二号气缸；133、一号连接板；134、三号气缸；135、吸盘组件；351、连接段；352、圆弧段；353、一号吸盘；101、一号工装；102、固定座；103、升降导柱；104、二号连接板；105、四号气缸；031、一号柱；032、二号柱；033、圆弧顶角；034、台阶；91、二号直线模组；92、喷淋头；1001、八号直线模组；1002、八号气缸；1003、毛刷；111、七号直线模组；112、四号连接板；113、吹风头；121、五号直线模组；122、五号气缸；123、连接件；124、滚轮。
具体实施方式
[0022]为使本技术的上述目的、特征和优点能够更加明显易懂，下面结合附图对本技术的具体实施方式做详细的说明。
[0023]如图1和图2所示，本申请的实施例所提供的一种晶圆清洗线，包括机架，所述机架上沿X方向依次设置有上料站1、第一工站2、第二工站3、第三工站4、第四工站5和下料站6，所述上料站1和第一工站2之间设置有第一静电吸附机构7，所述第四工站5和下料站6之间设置有第二静电吸附机构8，所述第一工站2一侧对应设置有清洗剂喷洒机构9，所述第二工站3一侧对应设置有清洁刷机构10，所述第三工站4一侧对应设置有吹风机构11，所述第四工站5对应设置有粘尘机构12，所述机架上还设置有移载机构13，所述移载机构13用于将晶
圆在相邻的两个工站之间进行转移。
[0024]实际使用时，将晶圆放置在上料站1中，然后移载机构13将晶圆从上料站1中转移至第二工站3中，转移过程中第一静电吸附机构7对晶圆表面进行第一次除静电。当晶圆放置在第一工站2上后，清洗剂喷洒机构9对晶圆进行喷洒清洗液，然后移载机构13将晶圆从第二工站3移动至第三工站4，同时将新的晶圆从上料站1移动至第一工站2。当晶圆被放置在第二工站3上后，清洁刷机构10对晶圆表面进行刷洗，移载机构13将晶圆从第二工站3移动至第三工站4，同时将新的晶圆从上料站1移动至第一工站2、从第一工站2移动至第二工站3。当晶圆被放置在第三工站4上后，吹风机构11对晶圆表面进行吹拂，然后移载机构13将晶圆从第三工站4转移至第四工站5，并将新的晶圆从上料站1转移至第一工站2、从第一工站2转移至第二工站3、从第二工站3转移至第三工站4。当晶圆被放置在第四工站5后，粘尘机构12对晶圆表面进行滚粘，然后移载机构13将晶圆从第四工站5转移至下料站6，在转移的过程本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种晶圆清洗线，包括机架，其特征在于：所述机架上沿X方向依次设置有上料站(1)、第一工站(2)、第二工站(3)、第三工站(4)、第四工站(5)和下料站(6)，所述上料站(1)和第一工站(2)之间设置有第一静电吸附机构(7)，所述第四工站(5)和下料站(6)之间设置有第二静电吸附机构(8)，所述第一工站(2)一侧对应设置有清洗剂喷洒机构(9)，所述第二工站(3)一侧对应设置有清洁刷机构(10)，所述第三工站(4)一侧对应设置有吹风机构(11)，所述第四工站(5)对应设置有粘尘机构(12)，所述机架上还设置有移载机构(13)，所述移载机构(13)用于将晶圆在相邻的两个工站之间进行转移。2.根据权利要求1所述的晶圆清洗线，其特征在于：所述移载机构(13)包括沿X方向设置的一号直线模组(131)、沿Z轴设置在一号直线模组(131)上且输出端朝上的二号气缸(132)、沿X轴固定设置在二号气缸(132)输出端的一号连接板(133)、若干个沿Y轴且等间距设置在连接板上的三号气缸(134)、若干个分别设置在三号气缸(134)输出端的吸盘组件(135)。3.根据权利要求2所述的晶圆清洗线，其特征在于：所述吸盘组件(135)包括与三号气缸(134)输出端固定连接的连接段(351)、与连接段(351)一体成型的圆弧段(352)以及若干个设置在圆滑端的一号吸盘(353)，若干所述一号吸盘(353)均匀的设置在圆弧段(352)上。4.根据权利要求3所述的晶圆清洗线，其特征在于：所述上料站(1)、下料站(6)、第一工站(2)、第二工站(3)、第三工站(4)和第四工站(5)结构相同，所述上料站(1)包括固定设置的一号工装(101)、固定设置在一号工装(101)上的固定座(102)、若干沿固定座(102)周向滑动设置在第一工装上的升降导柱(103)、连接若干升降导柱(103)下端的二号连接板(104)以及用于驱动二号连接板(104)升降的四号气缸(105)，所述圆弧段(3...

【专利技术属性】
技术研发人员：陶为银，闫兴，蔡正道，乔赛赛，
申请(专利权)人：河南通用智能装备有限公司，
类型：新型
国别省市：