弹性波装置制造方法及图纸

提供一种弹性波装置，能够得到良好的谐振特性。本发明专利技术的弹性波装置是连接在具有第1、第2信号端(12A、12B)的滤波器装置(10)的第1、第2信号端(12A、12B)之间的弹性波装置，具备：支承构件；压电层(17)，设置在支承构件上，具有作为晶轴的X轴、Y轴及Z轴且包括Z切割的铌酸锂；及IDT电极。IDT电极具有多个第1、第2电极指。在将压电层(17)的厚度设为d并将相邻的第1、第2电极指的中心间距离设为p的情况下，d/p为0.5以下。在将通过连结多个第1电极指的前端而形成的假想线设为包络线时，包络线延伸的方向和Y轴的方向交叉，将包络线延伸的方向和Y轴的方向所成的角的角度且0

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】弹性波装置


[0001]本专利技术涉及弹性波装置。

技术介绍

[0002]以往，弹性波装置被广泛用于便携式电话机的滤波器等。近年来，提出了像在下述的专利文献1记载的那样的使用了厚度剪切模式的体波的弹性波装置。在该弹性波装置中，在压电层上设置有成对的电极。成对的电极在压电层上相互对置，且与不同的电位连接。通过在上述电极间施加交流电压，从而激励厚度剪切模式的体波。
[0003]在先技术文献
[0004]专利文献
[0005]专利文献1：美国专利技术专利第10491192号说明书

技术实现思路

[0006]专利技术要解决的问题
[0007]在利用厚度剪切模式的体波的弹性波装置中，若作为压电层而使用Z切割的LiNbO3，则有时得不到充分的谐振特性。
[0008]本专利技术的目的在于，提供一种能够得到良好的谐振特性的弹性波装置。
[0009]用于解决问题的技术方案
[0010]在本专利技术涉及的弹性波装置的某个广泛的方面中，是一种弹性波装置，连接在具有第1信号端以及第2信号端的滤波器装置的所述第1信号端与所述第2信号端之间，其中，所述弹性波装置具备：支承构件；压电层，设置在所述支承构件上，具有作为晶轴的X轴、Y轴以及Z轴，并且包括Z切割的铌酸锂；以及IDT电极，设置在所述压电层上，所述IDT电极具有：相互对置的第1汇流条以及第2汇流条；多个第1电极指，一端与分别所述第1汇流条连接；以及多个第2电极指，一端分别与所述第2汇流条连接，且与所述多个第1电极指相互交错对插，在将所述压电层的厚度设为d并将相邻的所述第1电极指与所述第2电极指的中心间距离设为p的情况下，d/p为0.5以下，在将通过连结所述多个第1电极指的前端而形成的假想线设为包络线时，所述包络线延伸的方向和所述Y轴的方向交叉，将所述包络线延伸的方向和所述Y轴的方向所成的角的角度且0
°
以外的角度设为倾斜角α，将所述倾斜角α的绝对值设为|α|，此时，9
°
≤|α|≤14
°
。
[0011]在本专利技术涉及的弹性波装置的另一个广泛的方面中，是一种弹性波装置，连接在具有第1信号端以及第2信号端的滤波器装置的所述第1信号端与所述第2信号端之间的连接点和接地电位之间，其中，所述弹性波装置具备：支承构件；压电层，设置在所述支承构件上，具有作为晶轴的X轴、Y轴以及Z轴，并且包括Z切割的铌酸锂；以及IDT电极，设置在所述压电层上，所述IDT电极具有：相互对置的第1汇流条以及第2汇流条；多个第1电极指，一端与分别所述第1汇流条连接；以及多个第2电极指，一端分别与所述第2汇流条连接，且与所述多个第1电极指相互交错对插，在将所述压电层的厚度设为d并将相邻的所述第1电极指
与所述第2电极指的中心间距离设为p的情况下，d/p为0.5以下，所述多个第1电极指以及所述多个第2电极指在与所述压电层的所述Y轴的方向垂直的方向上延伸，在将通过连结所述多个第1电极指的前端而形成的假想线设为包络线时，所述包络线延伸的方向和所述Y轴的方向交叉，将所述包络线延伸的方向和所述Y轴的方向所成的角的角度且0
°
以外的角度设为倾斜角α，将所述倾斜角α的绝对值设为|α|，此时，|α|＜9
°
或14
°
＜|α|。
[0012]专利技术效果
[0013]根据本专利技术涉及的弹性波装置，能够得到良好的谐振特性。
附图说明
[0014]图1是本专利技术的第1实施方式涉及的滤波器装置的示意性俯视图。
[0015]图2是本专利技术的第1实施方式涉及的滤波器装置的电路图。
[0016]图3是本专利技术的第1实施方式中的串联臂谐振器的示意性俯视图。
[0017]图4是示出弹性波谐振器中的倾斜角α和阻抗频率特性的关系的图
[0018]图5是示出弹性波谐振器中的倾斜角α和阻抗的最大值以及最小值的关系的图。
[0019]图6是图4中的3500～4000MHz附近的放大图。
[0020]图7是本专利技术的第2实施方式涉及的滤波器装置的示意性俯视图。
[0021]图8是本专利技术的第3实施方式涉及的滤波器装置的示意性电路图。
[0022]图9是本专利技术的第4实施方式涉及的滤波器装置的示意性电路图。
[0023]图10是本专利技术的第4实施方式的变形例涉及的滤波器装置的示意性电路图。
[0024]图11的(a)是示出利用厚度剪切模式的体波的滤波器装置的外观的简图式立体图，图11的(b)是示出压电层上的电极构造的俯视图。
[0025]图12是沿着图11的(a)中的A
‑
A线的部分的剖视图。
[0026]图13的(a)是用于说明在弹性波装置的压电膜传播的兰姆波的示意性主视剖视图，图13的(b)是用于说明在滤波器装置中的压电膜传播的厚度剪切模式的体波的示意性主视剖视图。
[0027]图14是示出厚度剪切模式的体波的振幅方向的图。
[0028]图15是示出利用厚度剪切模式的体波的滤波器装置的谐振特性的图。
[0029]图16是示出将相邻的电极的中心间距离设为p并将压电层的厚度设为d的情况下的d/p和作为谐振器的分数带宽的关系的图。
[0030]图17是利用厚度剪切模式的体波的弹性波装置的俯视图。
[0031]图18是示出出现杂散的参考例的弹性波装置的谐振特性的图。
[0032]图19是示出分数带宽和作为杂散的大小的用180度进行了标准化的杂散的阻抗的相位旋转量的关系的图。
[0033]图20是示出d/2p和金属化比MR的关系的图。
[0034]图21是示出使d/p无限接近于0的情况下的分数带宽相对于LiNbO3的欧拉角(0
°
，θ，ψ)的映射的图。
[0035]图22是具有声多层膜的弹性波装置的主视剖视图。
具体实施方式
[0036]以下，参照附图对本专利技术的具体的实施方式进行说明，由此明确本专利技术。
[0037]另外，需要指出，在本说明书记载的各实施方式是例示性的，能够在不同的实施方式间进行结构的部分置换或组合。
[0038]图1是本专利技术的第1实施方式涉及的滤波器装置的示意性俯视图。图2是第1实施方式涉及的滤波器装置的电路图。
[0039]如图1以及图2所示，滤波器装置10是梯型滤波器。如图1所示，滤波器装置10具有第1信号端12A以及第2信号端12B、接地端19、和多个串联臂谐振器以及多个并联臂谐振器。更具体地，滤波器装置10的多个串联臂谐振器是串联臂谐振器S1以及串联臂谐振器S2。多个并联臂谐振器是并联臂谐振器P1以及并联臂谐振器P2。第1信号端12A是输入端。第2信号端12B是天线端。天线端与天线连接。接地端19与接地电位连接。
[0040]在滤波器装置10中，在第1信号端12A与第2信号端12B之间相互串联地连接有串联臂谐振器S1以及串联臂谐振器S2。在串联臂谐振器S1与本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】1.一种弹性波装置，连接在具有第1信号端以及第2信号端的滤波器装置的所述第1信号端与所述第2信号端之间，其中，所述弹性波装置具备：支承构件；压电层，设置在所述支承构件上，具有作为晶轴的X轴、Y轴以及Z轴，并且包括Z切割的铌酸锂；以及IDT电极，设置在所述压电层上，所述IDT电极具有：相互对置的第1汇流条以及第2汇流条；多个第1电极指，一端与分别所述第1汇流条连接；以及多个第2电极指，一端分别与所述第2汇流条连接，且与所述多个第1电极指相互交错对插，在将所述压电层的厚度设为d并将相邻的所述第1电极指与所述第2电极指的中心间距离设为p的情况下，d/p为0.5以下，在将通过连结所述多个第1电极指的前端而形成的假想线设为包络线时，所述包络线延伸的方向和所述Y轴的方向交叉，将所述包络线延伸的方向和所述Y轴的方向所成的角的角度且0
°
以外的角度设为倾斜角α，将所述倾斜角α的绝对值设为|α|，此时，9
°
≤|α|≤14
°
。2.一种弹性波装置，连接在具有第1信号端以及第2信号端的滤波器装置的所述第1信号端与所述第2信号端之间的连接点和接地电位之间，其中，所述弹性波装置具备：支承构件；压电层，设置在所述支承构件上，具有作为晶轴的X轴、Y轴以及Z轴，并且包括Z切割的铌酸锂；以及IDT电极，设置在所述压电层上，所述IDT电极具有：相互对置的第1汇流条以及第2汇流条；多个第1电极指，一端与分别所述第1汇流条连接；以及多个第2电极指，一端分别与所述第2汇流条连接，且与所述多个第1电极指相互交错对插，在将所述压电层的厚度设为d并将相邻的所述第1电极指与所述第2电极指的中心间距离设为p的情况下，d/p为0.5以下，所述多个第1电极指以及所述多个第2电极指在与所述压电层的所述Y轴的方向垂直的方向上延伸，在将通过连结所述多个第1电极指的前端而形成的假想线设为包络线时，所述包络线延伸的方向和所述Y轴的方向交叉，将所述包络线延伸的方向和所述Y轴的方向所成的角的角度且0
°
以外的角度设为倾斜角α，将所述倾斜角α的绝对值设为|α|，此时，|α|＜9
°
或14
°
＜|α|。3.根据权利要求1或2所述的弹性波装置，其中，在所述支承构件设置有在所述压电层侧开口的空洞部，在俯视下，所述IDT电极的至少一部分和所述空洞部重叠。4.根据权利要求1或2所述的弹性波装置，其中，所述弹性波装置还具备：声反射膜，设置在所述支承构件与所述压电层之间，所述声反射膜具有声阻抗相对低的至少一层的低声阻抗层和声阻抗相对高的至少一层的高声阻抗层，所述低声阻抗层以及所述高声阻抗层交替地层叠。5.根据权利要求1～4中的任一项所述的弹性波装置，其中，
d/p为0.24以下。6.根据权利要求1～5中的任一项所述的弹性波装置，其中，相邻的所述第1电极指以及所述第2电极指在对置...

【专利技术属性】
技术研发人员：木村哲也，
申请(专利权)人：株式会社村田制作所，
类型：发明
国别省市：