一种端到端的知识图谱生成方法技术

本发明专利技术涉及一种端到端的知识图谱生成方法，包括：获取半导体制造中产出的非文本形式的至少一项目标数据，各项目标数据包括数值序列或数值矩阵；根据各项目标数据各自的类型，使用对应的异常检测模型确定目标知识点，所述目标知识点包括对应目标数据中包含的、与半导体制造相关的异常类型；根据所述目标知识点，生成半导体制造领域的知识图谱。生成半导体制造领域的知识图谱。生成半导体制造领域的知识图谱。

【技术实现步骤摘要】
一种端到端的知识图谱生成方法


[0001]本专利技术涉及半导体制造领域，尤其涉及一种端到端的知识图谱生成方法。

技术介绍

[0002]在半导体制造过程中产生了各种数据，从数据来源主要分为两大类，一类是来自各种设备的数据，例如设备运行状态、设备参数、设备手册、运行日志等；另一类是来自生产的芯片的测试数据，例如芯片的电器特性、芯片缺陷等。在目前的生产过程中，往往只对一小部分数据进行了分析以用于指导生产，大部分数据并没有被充分利用。
[0003]在知识图谱的生成方式中，常规的方式为通过开放域的文本文档，通过自然语言处理NLP的方式提取出节点以及节点之间的因果/顺承等关系来构建知识点，随后生成相应的知识图谱。但是，由于半导体制造中存在大量的结构化数据，如果采用常规的知识图谱的生成方式，就需要首先通过语言生成模型将数据生成为事件描述文本，之后再将事件描述文本中的知识点抽取出来，以此构建知识图谱。对于数据的处理存在语言生成以及解构的过程，较为繁琐与低效。

技术实现思路

[0004]本说明书一个或多个实施例描述了一种端到端的知识图谱生本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种端到端的知识图谱生成方法，包括：获取半导体制造中产出的非文本形式的至少一项目标数据，各项目标数据包括数值序列或数值矩阵；根据各项目标数据各自的类型，使用对应的异常检测模型确定目标知识点，所述目标知识点包括对应目标数据中包含的、与半导体制造相关的异常类型；根据所述目标知识点，生成半导体制造领域的知识图谱。2.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述至少一项目标数据包括：统计过程控制SPC数据、晶圆图数据和故障检测与分类FDC数据。3.根据权利要求2所述的方法，其特征在于，所述根据各项目标数据各自的类型，使用对应的异常检测模型确定目标知识点，包括：根据各项目标数据各自的类型，使用对应的编码方式对所述目标数据进行编码，得到编码数据；将所述编码数据输入对应的异常检测模型，输出得到所述目标知识点。4.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述目标知识点为三元组的形式，所述三元组包括所述异常类型作为一个元素。5.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述至少一项目标数据包括统计过程控制SPC数据，其形成数值序列；所述根据各项目标数据各自的类型，使用对应的异常检测模型确定目标知识点，包括：对所述数值序列的序列片段进行特征提取与位置嵌入，得到特征向量序列；将所述特征向量序列输入到Transformer模型中，得到异常类型和异常相对位置；根据所述序列片段在所述数值序列中的位置，确定异常开始位置和异常结束位置；将所述异常类型、异常开始位置和异常结束位置的三元组，作为对应的目标知识点。6.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述至少一项目标数据包括晶圆图数据；所述根据各项目标数据各自的类型，使用对应的异常检测模型确定目标知识点，包括：根据所述晶圆图对应的像素矩阵，对所述晶圆图进...

【专利技术属性】
技术研发人员：易丛文，夏敏，
申请(专利权)人：深圳智现未来工业软件有限公司，
类型：发明
国别省市：