用于磁光克尔测量的模式切换设备及磁光克尔测量设备制造技术

本发明专利技术涉及光学测量技术领域，特别涉及一种用于磁光克尔测量的模式切换设备及磁光克尔测量设备，包括光学面板，设有至少两个电磁铁安装位，至少两个电磁铁安装位沿X轴方向分布设置于光学面板的板体上；龙门架组件，设置于光学面板上；切换机构，包括X轴切换机构和Z轴切换机构，X轴切换机构与龙门架组件固定连接，X轴切换机构与Z轴切换机构连接；显微装置承载组件与Z轴切换机构连接；X轴切换机构用于使Z轴切换机构和显微装置承载组件相对于龙门架组件沿X轴方向协同运动，以使磁光克尔显微装置能够运动至至少两套电磁铁组件中其一的上方；Z轴切换机构用于使显微装置承载组件沿Z轴方向运动。本发明专利技术能够实现不同磁场方向测试的高效切换。的高效切换。的高效切换。

【技术实现步骤摘要】
用于磁光克尔测量的模式切换设备及磁光克尔测量设备


[0001]本专利技术涉及光学测量
，特别涉及一种用于磁光克尔测量的模式切换设备及磁光克尔测量设备。

技术介绍

[0002]磁光克尔设备基于磁光克尔效应设计，主要用于样品表面磁畴的测量。现有的磁光克尔设备仅能测量单个方向磁场（垂直方向或面内方向）的磁滞回线和磁畴，垂直方向磁场和面内方向磁场的切换需通过搬运电磁铁组件实现，样品测试的人力时间成本高，存在安全隐患；且受限于上述测量方式，现有的磁光克尔设备仅适于安装较小的电磁铁组件，无法实现大磁场电磁铁设置，致使样品端操作空间狭小。此外，电磁铁搬运前后存在样品台与磁极间相对位置的不一致性问题，导致测试结果不重复，降低测量精度，增加切换调试复杂度。因此，需提供一种改进的磁光克尔测量方案，以解决上述现存问题中的至少其一。

技术实现思路

[0003]为了解决上述技术问题中的至少其一，本专利技术提供了一种用于磁光克尔测量的模式切换设备及磁光克尔测量设备，能够高效切换磁光克尔测量的磁场方向。
[0004]一方面，本专利技术提供了一种用于磁光克尔测量的模式切换设备，包括：光学面板，用于承载至少两套电磁铁组件，设有至少两个电磁铁安装位，所述至少两个电磁铁安装位沿X轴方向分布设置于所述光学面板的板体上；龙门架组件，设置于所述光学面板上，用于承载切换机构和显微装置承载组件；切换机构，包括X轴切换机构和Z轴切换机构，所述X轴切换机构与所述龙门架组件固定连接，所述X轴切换机构与所述Z轴切换机构连接；显微装置承载组件，用于承载磁光克尔显微装置，与所述Z轴切换机构连接；所述X轴切换机构用于使所述Z轴切换机构和所述显微装置承载组件相对于所述龙门架组件沿X轴方向协同运动，以使所述磁光克尔显微装置能够运动至所述至少两套电磁铁组件中其一的上方；所述Z轴切换机构用于使所述显微装置承载组件沿Z轴方向运动以远离或靠近所述光学面板的板面。
[0005]一种可能的实施方式中，所述X轴切换机构包括X轴固定组件和X轴切换组件；所述X轴固定组件与所述龙门架组件固定连接，所述X轴固定组件用于承载所述X轴切换组件、所述Z轴切换机构和所述显微装置承载组件；所述X轴切换组件与所述X轴固定组件滑动连接，所述X轴切换组件与所述Z轴切换机构固定连接；在外力作用下，所述X轴切换组件能够带动所述Z轴切换机构相对于所述X轴固定组件沿X轴方向运动。
[0006]一种可能的实施方式中，所述X轴固定组件包括连接盖体，所述连接盖体与所述龙门架组件固定连接；
所述X轴切换组件包括滑板和X轴滑动组件，所述滑板与所述Z轴切换机构固定连接；所述滑板和所述连接盖体通过所述X轴滑动组件沿X轴滑动连接。
[0007]一种可能的实施方式中，所述连接盖体设有间隙结构，所述滑板穿过所述间隙结构后，与所述Z轴切换机构固定连接。
[0008]一种可能的实施方式中，所述X轴切换机构包括X轴限位件，所述X轴限位件设置于所述X轴固定组件的X轴方向上的两端侧中的至少一侧；所述X轴限位件能够限制所述X轴切换组件在X轴方向上的滑动行程；在外力作用下，所述X轴限位件与所述X轴固定组件间的相对位置可调，以使所述X轴切换组件在X轴方向上的滑动行程大小可调。
[0009]一种可能的实施方式中，所述X轴切换机构还包括磁吸定位组件，所述磁吸定位组件包括匹配设置的定位磁体和定位磁吸配合件；所述定位磁体和定位磁吸配合件中二者择一地与所述X轴固定组件的X轴方向上的端侧固定连接，另一与所述X轴切换组件的X轴方向上的端侧固定连接，所述X轴切换组件沿X轴方向运动至滑动行程终点时，所述定位磁体和定位磁吸配合件相吸贴合。
[0010]一种可能的实施方式中，所述Z轴切换机构包括转接件和设置于所述转接件上的Z轴滑动组件，所述转接件与所述X轴切换机构固定连接，所述Z轴滑动组件与所述显微装置承载组件连接；所述X轴切换机构能够带动所述转接件沿X轴方向运动，以携带所述Z轴滑动组件和所述显微装置承载组件协同运动；通过所述Z轴滑动组件，所述显微装置承载组件能够相对于所述转接件沿Z轴方向上下滑动。
[0011]一种可能的实施方式中，所述转接件的上端和下端设置有Z轴挡位件，用于限制所述Z轴滑动组件在Z轴方向上的滑动行程。
[0012]一种可能的实施方式中，所述Z轴切换机构还包括Z轴驱动装置，所述Z轴驱动装置与所述显微装置承载组件传动连接；所述Z轴驱动装置用于提供所述显微装置承载组件协同所述磁光克尔显微装置沿Z轴方向上下滑动的驱动力。
[0013]一种可能的实施方式中，所述Z轴切换机构还包括吊装盖板、滑轮机构和配重组件；所述吊装盖板设置于所述龙门架组件的上方，所述吊装盖板与所述转接件连接；所述滑轮机构与所述吊装盖板固定连接，通过所述滑轮机构，所述配重组件与所述显微装置承载组件传动连接；所述配重组件吊装于所述吊装盖板上，与所述显微装置承载组件相对设置于所述龙门架组件的两侧，所述配重组件用于为所述显微装置承载组件的运动提供配重平衡力。
[0014]一种可能的实施方式中，所述配重组件包括导向轴和配重主体，所述导向轴的上端与所述吊装盖板固定连接，所述配重主体与所述导向轴沿Z轴滑动连接，所述配重主体与所述显微装置承载组件通过所述滑轮机构传动连接；在外力作用下，通过所述滑轮机构传动，所述配重主体能够随所述显微装置承载组件的上升沿所述导向轴向下滑动，或所述配重主体能够随所述显微装置承载组件的下降沿所述导向轴向上滑动。
[0015]一种可能的实施方式中，所述导向轴的下端设有止位件，所述止位件用于限制所
述配重主体在所述导向轴上的滑动行程。
[0016]一种可能的实施方式中，所述Z轴切换机构还包括重力补偿组件，用于为所述配重主体提供重力补偿拉力，所述重力补偿拉力用于补偿所述配重主体与携带有所述磁光克尔显微装置的显微装置承载组件间的重力差。
[0017]一种可能的实施方式中，所述重力补偿组件包括磁性件、磁性配合件和补偿连接件；所述磁性配合件和所述磁性件中二者择一地与所述配重主体固定连接，另一与所述补偿连接件固定连接，所述补偿连接件与所述吊装盖板相对固定设置；所述磁性件和所述磁性配合件间相互吸引形成所述重力补偿拉力。
[0018]一种可能的实施方式中，所述滑轮机构包括滑轮组、滑轮组固定组件和缆绳；所述滑轮组固定组件与所述吊装盖板固定连接，所述滑轮组固定设置于所述滑轮组固定组件上；所述缆绳的一端与所述显微装置承载组件固定连接，所述缆绳的另一端穿过所述滑轮组后与所述配重主体固定连接。
[0019]一种可能的实施方式中，所述显微装置承载组件包括显微装置连接板和与显微装置连接板连接的微调升降组件，所述显微装置连接板用于承载所述磁光克尔显微装置，所述微调升降组件与所述Z轴切换机构连接；所述Z轴切换机构能够使所述微调升降组件沿Z轴方向运动，以携带所述显微装置连接板和所述磁光克尔显微装置沿Z轴方向协同运动；所述微调升降组件用于使所述显微装置连接板携带所述磁光克尔显微装置相对于所述Z轴切换机构沿Z轴方向本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种用于磁光克尔测量的模式切换设备（10），其特征在于，包括:光学面板（100），用于承载至少两套电磁铁组件（20），设有至少两个电磁铁安装位（110），所述至少两个电磁铁安装位（110）沿X轴方向分布设置于所述光学面板（100）的板体上；龙门架组件（200），设置于所述光学面板（100）上，用于承载切换机构和显微装置承载组件（500）；切换机构，包括X轴切换机构（300）和Z轴切换机构（400），所述X轴切换机构（300）与所述龙门架组件（200）固定连接，所述X轴切换机构（300）与所述Z轴切换机构（400）连接；显微装置承载组件（500），用于承载磁光克尔显微装置，与所述Z轴切换机构（400）连接；所述X轴切换机构（300）用于使所述Z轴切换机构（400）和所述显微装置承载组件（500）相对于所述龙门架组件（200）沿X轴方向协同运动，以使所述磁光克尔显微装置能够运动至所述至少两套电磁铁组件（20）中其一的上方；所述Z轴切换机构（400）用于使所述显微装置承载组件（500）沿Z轴方向运动以远离或靠近所述光学面板（100）的板面。2.根据权利要求1所述的用于磁光克尔测量的模式切换设备（10），其特征在于，所述X轴切换机构（300）包括X轴固定组件（310）和X轴切换组件（320）；所述X轴固定组件（310）与所述龙门架组件（200）固定连接，所述X轴固定组件（310）用于承载所述X轴切换组件（320）、所述Z轴切换机构（400）和所述显微装置承载组件（500）；所述X轴切换组件（320）与所述X轴固定组件（310）滑动连接，所述X轴切换组件（320）与所述Z轴切换机构（400）固定连接；在外力作用下，所述X轴切换组件（320）能够带动所述Z轴切换机构（400）相对于所述X轴固定组件（310）沿X轴方向运动。3.根据权利要求2所述的用于磁光克尔测量的模式切换设备（10），其特征在于，所述X轴固定组件（310）包括连接盖体（311），所述连接盖体（311）与所述龙门架组件（200）固定连接；所述X轴切换组件（320）包括滑板（321）和X轴滑动组件（322），所述滑板（321）与所述Z轴切换机构（400）固定连接；所述滑板（321）与所述连接盖体（311）通过所述X轴滑动组件（322）沿X轴滑动连接。4.根据权利要求3所述的用于磁光克尔测量的模式切换设备（10），其特征在于，所述连接盖体（311）设有间隙结构（312），所述滑板（321）穿过所述间隙结构（312）后，与所述Z轴切换机构（400）固定连接。5.根据权利要求2所述的用于磁光克尔测量的模式切换设备（10），其特征在于，所述X轴切换机构（300）包括X轴限位件（323），所述X轴限位件（323）设置于所述X轴固定组件（310）的X轴方向上的两端侧中的至少一侧；所述X轴限位件（323）能够限制所述X轴切换组件（320）在X轴方向上的滑动行程；在外力作用下，所述X轴限位件（323）与所述X轴固定组件（310）间的相对位置可调，以使所述X轴切换组件（320）在X轴方向上的滑动行程大小可调。6.根据权利要求2所述的用于磁光克尔测量的模式切换设备（10），其特征在于，所述X轴切换机构（300）还包括磁吸定位组件，所述磁吸定位组件包括匹配设置的定位磁体（325）
和定位磁吸配合件（326）；所述定位磁体（325）和定位磁吸配合件（326）中二者择一地与所述X轴固定组件（310）的X轴方向上的端侧固定连接，另一与所述X轴切换组件（320）的X轴方向上的端侧固定连接，所述X轴切换组件（320）沿X轴方向运动至滑动行程终点时，所述定位磁体（325）和定位磁吸配合件（326）相吸贴合。7.根据权利要求1
‑
6中任一项所述的用于磁光克尔测量的模式切换设备（10），其特征在于，所述Z轴切换机构（400）包括转接件（410）和设置于所述转接件（410）上的Z轴滑动组件（420），所述转接件（410）与所述X轴切换机构（300）固定连接，所述Z轴滑动组件（420）与所述显微装置承载组件（500）连接；所述X轴切换机构（300）能够带动所述转接件（410）沿X轴方向运动，以携带所述Z轴滑动组件（420）和所述显微装置承载组件（500）协同运动；通过所述Z轴滑动组件（420），所述显微装置承载组件（500）能够相对于所述转接件（410）沿Z轴方向上下滑动。8.根据权利要求7所述的用于磁光克尔测量的模式切换设备（10），其特征在于，所述Z轴切换机构（400）还包括Z轴驱动装置，所述Z轴驱动装置与所述显微装置承载组件（500）传动连接；所述Z轴驱动装置用于提供所述显微装置承载组件（500）协同所述磁光克尔显微装置沿Z轴方向上下滑动的驱动力。9.根据权利要求7所述的用于磁光克尔测量的模式切换设备（10），其特征在于，所述Z轴切换机构（400）还包括吊装盖板（440）、滑轮机构（450）和配重组件（460）；所述吊装盖板（440）设置于所述龙门架组件（200）的上方，所述吊装盖板（440）与所述转接件（410）连接；所述滑轮机构（450）与所述吊装盖板（440）固定连接，通过所述滑轮机构（450），所述配重组件（460）与所述显微装置承载组件（500）传动连接；所述配重组件（460）吊装于所述吊装盖板（440）上，与所述显微装置承载组件（500）相对设置于所述龙门架组件（200）的两侧，所述配重组件（460）用于为所述显微装置承载组件（500）的运动提供配重平衡力。10.根据权利要求9所述的用于磁光克尔测量的模式切换设备（10），其特征在于，所述配重组件（4...

【专利技术属性】
技术研发人员：杨黄林，胡夏君，吴阳，
申请(专利权)人：赫智科技苏州有限公司，
类型：发明
国别省市：