一种双通道偏振载波相移共路数字全息测量装置及方法制造方法及图纸

本发明专利技术公开了一种双通道偏振载波相移共路数字全息测量装置及方法，包括光源、准直扩束系统、第一偏振片、1/4玻片、矩形光阑、第一透镜、偏振分光棱镜、第二透镜、第二偏振片、CCD相机和计算机；光源发出光束经扩束准直系统形成平面光束，经过第一偏振片形成45

【技术实现步骤摘要】
一种双通道偏振载波相移共路数字全息测量装置及方法


[0001]本专利技术属于数字全息测量领域，涉及一种双通道偏振载波相移共路数字全息测量装置及方法。

技术介绍

[0002]相移数字全息技术因其快速、无损、高精度的全场测量优势，被广泛的应用于微纳器件检测、3D成像、表面形貌测量、细胞折射率测量等领域。现有的相移数字全息技术不仅需要复杂的光路结构，而且需要高精度的相移器件，使得结构庞大且操作难度高；在样品测量的过程中常需要多次采集，这对动态样品的测量提出了较大的限制。离轴数字全息技术在相位恢复的过程中，由于有效信息在提取时受零级项的干扰，使得离轴数字全息空间带宽利用率低，进而降低了成像的分辨率。因此，结构紧凑、操作简单、采集次数少、成像分辨率高的相移数字全息测量装置受到国内外学者的广泛关注。
[0003]Gao等人(Peng Gao,Irina Harder,Vanusch Nercissian,Klaus Mantel,and Baoli Yao,
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Phase
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shifting point
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【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种双通道偏振载波相移共路数字全息测量装置，其特征在于，包括：波长为λ的光源、准直扩束系统、第一偏振片、1/4玻片、矩形光阑、第一透镜、偏振分光棱镜、第二透镜、第二偏振片、CCD相机和计算机；光源发出光束经过扩束准直系统后形成平面光束，经过第一偏振片后形成45
°
的线偏振光，随后到达矩形光阑，经过放置被测样品的窗口的1/2光束携带上物体信息以45
°
的线偏振态继续传播，经过放置1/4玻片的窗口的1/2光束无样品信息以圆偏振态传播，光束以相同的路径传播至第一透镜，经过偏振分光棱镜后将光束复制成互为镜像的两束光，继续以相同的路径传播到第二透镜，随后经过第二偏振片后在CCD相机上同时获取具有相移的两幅载波全息图，并传输至计算机；第一透镜和第二透镜构成4f系统，被测样品和四分之一玻片分别放置在矩形光阑的两个窗口；第一偏振片和第二偏振片均垂直于光轴放置；CCD相机放置在第二透镜的后焦平面上。2.根据权利要求1所述的一种双通道偏振载波相移共路数字全息测量装置，其特征在于：偏振分光棱镜与光轴成45
°
角放置在第一透镜的傅里叶平面之前1～2cm处。3.一种采取权利要求1或2所述双通道偏振载波相移共路数字全息测量装置的测量方法，其特征在于，包括：步骤A：光源经过第一偏振片后达到矩形光阑，形成具有45
°
线偏振态的物光和具有圆偏振态的参考光，经过一个与光轴成45
°
角的偏振分光棱镜将光束复制成互为镜像的两束光；步骤B：将具有45
°
的线偏振光的参考光和圆偏振光物光进行...

【专利技术属性】
技术研发人员：单明广，靳奇强，刘磊，钟志，于蕾，刘彬，
申请(专利权)人：哈尔滨工程大学，
类型：发明
国别省市：