蚀刻设备制造技术

本申请实施例提供一种蚀刻设备，能够以较低的成本以及简化的工艺过程有效实现开孔结构。该蚀刻设备包括：多孔辊(210)，所述多孔辊(210)为两端开口的中空结构且所述中空结构内容纳有蚀刻液体，所述多孔辊(210)设置有多个开孔(211)；压辊(220)，贴附于所述多孔辊(210)且设置在所述蚀刻液体的液位之上，用于将待蚀刻的金属层(230)压附于所述多孔辊(210)的表面；其中，在所述多孔辊(210)转动的过程中，所述蚀刻液体通过所述多个开孔(211)的至少部分开孔(211)对与所述至少部分开孔(211)接触的所述金属层(230)进行持续浸泡，以持续蚀刻与所述至少部分开孔(211)接触的所述金属层(230)。(230)。(230)。

【技术实现步骤摘要】
蚀刻设备


[0001]本申请涉及蚀刻
，特别是涉及一种蚀刻设备。

技术介绍

[0002]节能减排是汽车产业可持续发展的关键。在这种情况下，电动车辆由于其节能环保的优势成为汽车产业可持续发展的重要组成部分。而对于电动车辆而言，电池技术又是关乎其发展的一项重要因素。
[0003]为了提高电池的性能，通常采用对集流体进行打孔的方案。目前，集流体的打孔过程通常由涂布、曝光、显影、蚀刻等步骤组成。然而，该打孔过程不仅复杂而且成本较高，比如，涂布步骤中在集流体表面涂布的光敏材料通常比较昂贵。

技术实现思路

[0004]本申请实施例提供一种蚀刻设备，能够以较低的成本以及简化的工艺过程有效实现开孔结构。
[0005]第一方面，提供了一种蚀刻设备，包括：多孔辊，所述多孔辊为两端开口的中空结构且所述中空结构内容纳有蚀刻液体，所述多孔辊设置有多个开孔；压辊，贴附于所述多孔辊且设置在所述蚀刻液体的液位之上，用于将待蚀刻的金属层压附于所述多孔辊的表面；其中，在所述多孔辊转动的过程中，所述蚀刻液体通过所述多个开孔的至少部分开孔对与所述至少部分开孔接触的所述金属层进行持续浸泡，以持续蚀刻与所述至少部分开孔接触的所述金属层。
[0006]本申请实施例，通过设置多孔辊，且多孔辊设置有多个开孔并且内部容纳有蚀刻液体。这样，在多孔辊转动的过程中，蚀刻液体可以通过多孔辊的开孔持续蚀刻与开孔接触的金属层，不仅实现了对金属层进行开孔的目的，而且由于蚀刻液体持续蚀刻金属层，使得蚀刻液体与金属层的接触时间变长，从而能够更充分地蚀刻金属层，满足了蚀刻厚度的要求。
[0007]进一步地，通过设置与多孔辊贴附的压辊，这样，在多孔辊转动的过程中，能够保证金属层和多孔辊之间的接触压力，使金属层紧贴多孔辊转动，使得蚀刻液体能够更充分地蚀刻金属层。此外，将压辊设置在蚀刻液体的液位之上，一方面，增加了蚀刻液体蚀刻金属层的时间；另一方面，在金属层持续蚀刻液体接触之前，金属层就已经与多孔辊接触，不仅尽可能地避免了漏液的问题，而且还避免了由于漏液而导致的蚀刻液体蚀刻金属层的非开孔区域的问题。
[0008]在一些可能的实现方式中，所述压辊设置在所述多孔辊的轴线之上。
[0009]上述技术方案，将压辊设置在多孔辊的轴线之上，可以增加多孔辊的包角，以增长蚀刻液体对金属层的蚀刻时间，从而能够更充分地蚀刻金属层，进一步满足蚀刻厚度的要求。
[0010]在一些可能的实现方式中，所述压辊的数量为两个，两个所述压辊分别设置在所
述多孔辊的所述金属层的传送方向的上游和下游；从设置在所述传送方向上游的所述压辊处开始，至设置在所述传送方向下游的所述压辊处，所述蚀刻液体对与所述至少部分开孔接触的所述金属层进行持续蚀刻。
[0011]上述技术方案，将压辊的数量设置为两个，并且沿传送方向，这两个压辊分别设置在多孔辊的上游和下游，使得在多孔辊的上游和下游处，压辊均能增大金属层和多孔辊之间的接触压力，使金属层能更紧贴多孔辊转动。此外，还避免了在多孔辊的上游和下游处的漏液问题，从而进一步提高了蚀刻设备的性能。
[0012]在一些可能的实现方式中，还包括：集液装置，至少部分所述多孔辊设置在所述集液装置内，其中，所述集液装置用于收集从所述多孔辊漏出的所述蚀刻液体。
[0013]上述技术方案，蚀刻设备包括集液装置，这样，若多孔辊漏出蚀刻液体，集液装置能够收集漏出的蚀刻液体，有效避免了蚀刻液体乱流，污染其他装置的问题。
[0014]在一些可能的实现方式中，还包括：清洗装置，设置在所述多孔辊的所述金属层的传送方向的下游，用于在所述蚀刻液体持续蚀刻所述金属层之后清洗所述金属层上残留的所述蚀刻液体。
[0015]上述技术方案，在蚀刻设备中设置清洗装置，在蚀刻液体蚀刻金属层之后，能够快速清洗金属层，以去除金属层上残留的蚀刻液体以及其他污染物，便于蚀刻设备输出能够直接进行应用的金属层。
[0016]在一些可能的实现方式中，还包括：干燥装置，设置在所述清洗装置的所述金属层的传送方向的下游，用于在所述清洗装置清洗所述金属层上残留的所述蚀刻液体之后，对所述金属层进行干燥处理。
[0017]上述技术方案，通过在蚀刻设备中设置干燥装置，使得在清洗装置清洗金属层上残留的蚀刻液体之后，干燥装置能够快速对金属层进行干燥，蚀刻设备无需停留一段时间，以等待金属层自然风干，从而提高了整个设备的处理速度。
[0018]在一些可能的实现方式中，还包括：通液装置，用于通过所述多孔辊的两端开口中的至少一个开口，向所述中空结构内通入所述蚀刻液体。
[0019]在一些可能的实现方式中，还包括：传送辊，用于沿所述金属层的传送方向，将所述金属层传送至所述多孔辊和所述压辊，以及在所述蚀刻液体持续蚀刻所述金属层之后将所述金属层从所述多孔辊和所述压辊传送出去。
[0020]在一些可能的实现方式中，所述蚀刻液体通过持续蚀刻所述金属层，以在所述金属层表面形成多个开孔，所述金属层表面形成的开孔的比例为30％～50％。
[0021]上述技术方案，将金属层的孔隙率设置为30％
‑
50％，能够满足大多数集流体的要求，从而有效提高了蚀刻设备和集流体的适用性。
[0022]在一些可能的实现方式中，所述蚀刻设备用于制备集流体上的开孔，所述金属层为所述集流体上的金属层，且设置在所述集流体包括的基膜的表面，其中，所述多孔辊上的所述多个开孔中每个开孔的大小和形状与所述集流体上的开孔的大小和形状相同。
[0023]上述技术方案，通过蚀刻设备得到的集流体上的开孔与所需的开孔相同，提高了整个工艺过程的精度。
附图说明
[0024]为了更清楚地说明本申请实施例的技术方案，下面将对本申请实施例中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面所描述的附图仅仅是本申请的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据附图获得其他的附图。
[0025]图1是本申请一实施例公开的一种车辆的示意性结构图。
[0026]图2是本申请实施例的一种蚀刻设备的示意性结构图。
[0027]图3是本申请实施例的一种多孔辊的示意性图。
[0028]图4是本申请实施例的另一种蚀刻设备的示意性结构图。
[0029]在附图中，附图并未按照实际的比例绘制。
具体实施方式
[0030]下面结合附图和实施例对本申请的实施方式作进一步详细描述。以下实施例的详细描述和附图用于示例性地说明本申请的原理，但不能用来限制本申请的范围，即本申请不限于所描述的实施例。
[0031]在本申请的描述中，需要说明的是，除非另有说明，“多个”的含义是两个以上；术语“上”、“下”、“左”、“右”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系仅是为了便于描述本申请和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本申请的限制。此外，术语“第一”、“本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种蚀刻设备，其特征在于，包括：多孔辊(210)，所述多孔辊(210)为两端开口的中空结构且所述中空结构内容纳有蚀刻液体，所述多孔辊(210)设置有多个开孔(211)；压辊(220)，贴附于所述多孔辊(210)且设置在所述蚀刻液体的液位之上，用于将待蚀刻的金属层(230)压附于所述多孔辊(210)的表面；其中，在所述多孔辊(210)转动的过程中，所述蚀刻液体通过所述多个开孔(211)的至少部分开孔(211)对与所述至少部分开孔接触的所述金属层(230)进行持续浸泡，以持续蚀刻与所述至少部分开孔(211)接触的所述金属层(230)。2.根据权利要求1所述的蚀刻设备，其特征在于，所述压辊(220)设置在所述多孔辊(210)的轴线之上。3.根据权利要求1或2所述的蚀刻设备，其特征在于，所述压辊(220)的数量为两个，两个所述压辊(220)分别设置在所述多孔辊(210)的所述金属层(230)的传送方向的上游和下游；从设置在所述传送方向上游的所述压辊(220)处开始，至设置在所述传送方向下游的所述压辊(220)处，所述蚀刻液体对与所述至少部分开孔(211)接触的所述金属层(230)进行持续蚀刻。4.根据权利要求1至3中任一项所述的蚀刻设备，其特征在于，还包括：集液装置(240)，至少部分所述多孔辊(210)设置在所述集液装置(240)内，其中，所述集液装置(240)用于收集从所述多孔辊(210)漏出的所述蚀刻液体。5.根据权利要求1至4中任一项所述的蚀刻设备，其特征在于，还包括：清洗装置(250)，设置在所述多孔辊(210)的所述金属层(230)的传...

【专利技术属性】
技术研发人员：李克强，刘萧松，吴志阳，卢毅，
申请(专利权)人：宁德时代新能源科技股份有限公司，
类型：发明
国别省市：