本实用新型专利技术涉及一种磁力棒配重装置，包括若干磁力棒，所述磁力棒包括定子外壳，其内部向里依次布置有定磁铁、轴承和滑杆，所述定磁铁安装在所述定子外壳的内壁，所述轴承安装在所述定磁铁的内壁，所述滑杆则安装在所述轴承内壁、并可沿所述轴承上下滑动，其一端伸出所述定子外壳用于转接量测组件；所述滑杆内部还安装有一动磁铁，所述定磁铁与所述动磁铁相互之间的磁力吸引形成拉力。本实用新型专利技术磁力棒配重装置所需要的结构空间较小，安装和维护非常方便。其配重力量恒定，负载力量恒定，所以动力装置所采用的直线伺服电机整定时间快。而且无震动和惯性迟滞的现象，从而可以大幅度提高量测组件运动的精度，以提高其量测的精度和速度。度。度。
【技术实现步骤摘要】
一种磁力棒配重装置
[0001]本技术涉及传动
，具体涉及一种磁力棒配重装置。
技术介绍
[0002]随着半导体技术的广泛应用和快速发展，为了提高半导体IC芯片的质量，需要在其制程工艺中加入相应的检测设备对其特定工序进行检测工作。其中，在半导体IC芯片的黏晶(die bond)和焊线(wire bonding)工序后，一般会布置相应的光学检验设备进行检验量测。
[0003]现有黏晶和焊线检验量测的光学设备通常固定在一动力驱动装置(Z轴动力驱动装置)前进行上下运动，向下运动到指定位置处进行光学检验，向上运动到指定位置处更换待测试IC器件。因为光学检验量测设备及周边配件有一定的重量，直接固定在Z轴动力驱动装置前因其固有的重力会影响其运动的精度，导致检验的结果有误差。为此，我们一般会对检验量测的光学设备进行配重处理，从而来平衡光学检验设备这一运动部件，提高其在上下运动过程中的精度。
[0004]以往配重处理有三方面：
[0005]1.通过重量块配重：
[0006]此配重方法一般是通过链条或钢索，搭配滑落机构反向的背负配重块，链条或钢索一端连接光学设备，一端连接配重块，从而实现光学检验设备的平衡。这种模式所需要的空间比较大，而且保养维修不易，当动态运动时，如果移动两倍的质量时，惯性会大大增加，从而会导致驱动的动力装置的能耗增加。因为需要增加动力装置的能源损耗，动力装置整定时间会变长，最终导致量测的速度变慢。
[0007]2.通过拉伸弹簧配重：
[0008]此配重方法一般是在光学检验设备和动力驱动装置之间布置一弹簧组件实现光学检验设备的平衡，但是因为弹簧的特性，此配重方法会随着弹力拉伸行程变大，弹力也跟着变大，从而导致动力装置驱动力量不稳定，动力装置整定时间也会变长，最终导致量测的速度变慢。
[0009]3.通过气缸配重：
[0010]此配重方法一般是在光学检验设备和动力驱动装置之间布置一气缸组件实现光学检验设备的平衡，但是在驱动光学检验设备上下运动的时候，需要频繁的中断或保持汽缸的气压源，而且需要布置相应的防下坠的安全机制。会增加系统的控制复杂度，而且成本会相应的增加。
技术实现思路
[0011]本技术解决的技术问题是提供一种结构简单稳定，成本低的磁力棒配重装置。
[0012]本技术解决其技术问题所采用的技术方案是：
[0013]一种磁力棒配重装置，包括若干磁力棒，所述磁力棒包括定子外壳，其内部向里依次布置有定磁铁、轴承和滑杆，所述定磁铁安装在所述定子外壳的内壁，所述轴承安装在所述定磁铁的内壁，所述滑杆则安装在所述轴承内壁、并可沿所述轴承上下滑动，其一端伸出所述定子外壳用于转接量测组件；所述滑杆内部还安装有一动磁铁，所述定磁铁与所述动磁铁相互之间的磁力吸引形成拉力。
[0014]进一步的，所述定磁铁和所述动磁铁均采用永磁铁。
[0015]优选的，所述定磁铁为筒形磁铁或多片弧片形磁铁。
[0016]优选的，所述动磁铁为圆柱形磁铁棒。
[0017]进一步的，所述若干磁力棒平行安装在一基板上。
[0018]进一步的，所述基板前面板上左右两侧设置有滑轨，并配合滑块转接有一用于安装所述量测组件的量测组件载板，所述滑块固定在所述量测组件载板的后面板上；所述滑杆伸出端的末端固定有一转接块，所述转接块与所述量测组件载板固定。
[0019]进一步的，所述基板中间上下开有一运动条孔，所述若干磁力棒于左右对称安装布置在所述运动条孔的左右两侧，所述滑轨布置在所述若干磁力棒的左右外侧。
[0020]进一步的，所述基板上设置有磁力棒安装座，所述磁力棒的定子外壳前端设置有外螺纹，所述磁力棒通过所述外螺纹与所述磁力棒安装座拧紧固定。
[0021]本技术的有益效果是：
[0022]本技术通过磁力棒内部的定磁铁和动磁铁之间的磁力吸引形成相应的拉力，在通过得知量测组件及转接模块的重量，通过配置若干磁力棒，使若干磁力棒之间的拉力与量测组件及转接模块的重量达到一种平衡状态，从而实现量测组件的配重处理。
[0023]本技术磁力棒配重装置所需要的结构空间较小，安装和维护非常方便。其配重力量恒定，负载力量恒定，所以动力装置所采用的直线伺服电机整定时间快。而且无震动和惯性迟滞的现象，从而可以大幅度提高量测组件运动的精度，以提高其量测的精度和速度。
附图说明
[0024]图1为本技术的爆炸图；
[0025]图2为图1中磁力棒的结构图；
[0026]图3为图1的组合状态图；
[0027]图4为本技术的应用示意图；
[0028]图中标记为：
[0029]1、工作台，2、动力装置，3、磁力棒配重装置，4、量测组件，5、载具；201、直线伺服电机，301、基板，3011、运动条孔，302、磁力棒，303、磁力棒安装座，304、转接块，305、滑轨，306、滑块，307、量测组件载板；3021、定子外壳，3022、定磁铁，3023、轴承，3024、滑杆，3025、动磁铁，3026、螺纹。
具体实施方式
[0030]为使本技术的上述目的、特征和优点能够更加明显易懂，下面结合附图对本技术的具体实施方式做详细的说明。在下面的描述中阐述了很多具体细节以便于充分
理解本技术。但是本技术能够以很多不同于在此描述的其它方式来实施，本领域技术人员可以在不违背本技术内涵的情况下做类似改进，因此本技术不受下面公开的具体实施例的限制。
[0031]除非另有定义，本文所使用的所有的技术和科学术语与属于本技术的
的技术人员通常理解的含义相同。本文中在本技术的说明书中所使用的术语只是为了描述具体的实施例的目的，不是旨在于限制本技术。本文所使用的术语“及/或”包括一个或多个相关的所列项目的任意的和所有的组合。
[0032]如图1
‑
4所示，本技术提供了一种磁力棒配重装置，包括基板301和磁力棒302，磁力棒302固定在基板301上，磁力棒302包括一定子外壳3021，其内部向里依次布置有定磁铁3022、轴承3023和滑杆3024。定磁铁30222吸附或安装在所述定子外壳3021的内壁，轴承3023吸附或安装在所述定磁铁3022的内壁，滑杆3024则滑动设置在轴承3023的内壁，滑杆3024一端伸出所述定子外壳3021，滑杆可在轴承3023内上下滑动。进一步的，滑杆3024内部设置有一动磁铁3025，磁力棒通过动磁铁3025与定磁铁3024之间的磁力相互吸引，从而可得到一定的拉力。
[0033]如图1所示，滑杆3024伸出端的末端则转接有量测组件，通过得知量测组件及转接模块的重量，可配置若干磁力棒即可使其拉力与量测组件及转接模块的重量达到一种平衡状态，从而实现量测组件的配重处理。
[0034]进一步的，如图1和图2所示，在一实施例中，基板301上设置有若干磁力棒本文档来自技高网...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种磁力棒配重装置，其特征在于：包括若干磁力棒，所述磁力棒包括定子外壳，其内部向里依次布置有定磁铁、轴承和滑杆，所述定磁铁安装在所述定子外壳的内壁，所述轴承安装在所述定磁铁的内壁，所述滑杆则安装在所述轴承内壁、并可沿所述轴承上下滑动，其一端伸出所述定子外壳用于转接量测组件；所述滑杆内部还安装有一动磁铁，所述定磁铁与所述动磁铁相互之间的磁力吸引形成拉力。2.如权利要求1所述的一种磁力棒配重装置，其特征在于：所述定磁铁和所述动磁铁均采用永磁铁。3.如权利要求2所述的一种磁力棒配重装置，其特征在于：所述定磁铁为筒形磁铁或多片弧片形磁铁。4.如权利要求2所述的一种磁力棒配重装置，其特征在于：所述动磁铁为圆柱形磁铁棒。5.如权利要求1
‑
4任一权利要求所述的一种...
【专利技术属性】
技术研发人员：黄思闳，吴伟传，
申请(专利权)人：禾洛半导体徐州有限公司，
类型：新型
国别省市：
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