一种自定位机构制造技术

本实用新型专利技术提供种自定位机构，包括：设置于平台底部的至少三个定位窝；设置于支撑架顶部的至少三个万向球，所述万向球的位置与所述定位窝的位置一一对应；以使得各万向球的球体进入平台底部对应的定位窝时，所述平台上的各固定孔与所述支撑架顶部的各固定孔一一对准；升降组件，安装在支撑架顶部，与万向球连接，用于使得初始状态下万向球的球体高于支撑架，并能够带动万向球下降使得万向球承载的平台下降至与支撑架顶部接触。本实用新型专利技术提供的自定位机构，能够实现平台与支撑架之间固定孔的自对准，且能够防止支撑架划伤平台。且能够防止支撑架划伤平台。且能够防止支撑架划伤平台。

【技术实现步骤摘要】
一种自定位机构


[0001]本技术涉及一种平台安装用的辅助机构，尤其是一种自定位机构。

技术介绍

[0002]目前在半导体设备中，平台主要采用吊机吊装并放置到支撑架上；但在实际操作中，存在已知的以下一些问题：
[0003]1、在平台吊装和放置过程中，需要多人协作才能控制平台方向，且平台容易磕碰到支撑架，磕碰力度稍大时会损伤平台；
[0004]2、平台放置到支撑架上后，往往平台上的固定孔与支撑架顶部的固定孔难以对准，需要挪动平台调整孔位，此时支撑架容易划伤平台。

技术实现思路

[0005]为解决现有技术中的至少一个技术问题，本技术实施例提供了一种自定位机构，能够在吊装平台并放置到支撑架时使得平台上的固定孔与支撑架上的固定孔实现自对准，同时也避免支撑架损伤平台。为实现以上技术目的，本技术实施例采用的技术方案是：
[0006]本技术实施例提供了一种自定位机构，包括：
[0007]设置于平台底部的至少三个定位窝；
[0008]设置于支撑架顶部的至少三个万向球，所述万向球的位置与所述定位窝的位置一一本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种自定位机构，其特征在于，包括：设置于平台(1)底部的至少三个定位窝(101)；设置于支撑架(2)顶部的至少三个万向球(3)，所述万向球(3)的位置与所述定位窝的位置一一对应；以使得各万向球(3)的球体进入平台(1)底部对应的定位窝时，所述平台(1)上的各固定孔与所述支撑架(2)顶部的各固定孔一一对准；升降组件(4)，安装在支撑架(2)顶部，与万向球(3)连接，用于使得初始状态下万向球(3)的球体高于支撑架(2)，并能够带动万向球(3)下降使得万向球(3)承载的平台(1)下降至与支撑架(2)顶部接触。2.如权利要求1所述的自定位机构，其特征在于，所述定位窝(101)为半球形窝。3.如权利要求1所述的自定位机构，其特征在于，所述升降组件(4)采用电缸，电缸的缸体与支撑架(2)连接，电缸的推杆与万向球(3)连接。4.如权利要求1所述的自定位机构，其特征在于，所述升降组件(4)包括高度调整块(401...

【专利技术属性】
技术研发人员：范雄，田文康，
申请(专利权)人：无锡尚积半导体科技有限公司，
类型：新型
国别省市：