本实用新型专利技术提供了一种推压装置及半导体检测设备，涉及检测设备技术领域，该推压装置包括底板；旋转驱动机构，连接于底板上；直线传动组件，包括连接于底板上的固定部件、连接于固定部件上的丝杆以及与丝杆螺纹配合的平动螺母，丝杆能够相对固定部件绕自身轴线自转；固定部件和丝杆位于旋转驱动机构的一侧，丝杆与旋转驱动机构之间设置有用于传动的旋转传动组件；浮动组件，连接于平动螺母上，浮动组件能够沿丝杆轴向相对底板移动。通过该推压装置，缓解了相关机构在滚珠螺杆的轴向上占用空间较大的技术问题，优化了整个机构的布局。优化了整个机构的布局。优化了整个机构的布局。
【技术实现步骤摘要】
推压装置及半导体检测设备
[0001]本技术涉及检测设备
，尤其是涉及一种推压装置及半导体检测设备。
技术介绍
[0002]随着科技的不断发展，通讯设备、消费类电子等产品越来越多。半导体芯片是该类电子产品的主要元件之一，半导体芯片的性能直接影响电子产品的质量。待半导体芯片生产完成后，需要对半导体芯片进行测试，确保半导体芯片达到标准。
[0003]在测试过程中，需要外力将浮动推板推动到半导体芯片上，使半导体芯片与测试机上的测试接头接触，并且半导体芯片要给测试接头一定的压力，如此才能实现对半导体芯片的检测。在对多个半导体芯片同时检测时，需要推动浮动推板的动力较大。
[0004]对此，目前的方案是通过电机施加动力。具体的，如附图1所示，电机的输出轴与滚珠螺杆固定连接，滚珠螺杆上套设有与其相啮合的螺母，电机启动时，螺母沿滚珠螺杆的轴向移动，从而带动浮动推板运动，实现浮动推板对半导体芯片的推压。采用该传动方式，在滚珠螺杆的轴向上，整个机构需要占用的空间较大，从而不利于机构的布局。
技术实现思路
[0005]本技术的目的在于提供一种推压装置及半导体检测设备，以缓解相关机构在滚珠螺杆的轴向上占用空间较大的技术问题。
[0006]为了解决上述技术问题，本技术采取的技术手段为：
[0007]第一方面，本技术提供的推压装置包括：底板；
[0008]旋转驱动机构，连接于所述底板上；
[0009]直线传动组件，包括连接于所述底板上的固定部件、连接于所述固定部件上的丝杆以及与所述丝杆螺纹配合的平动螺母，所述丝杆能够相对所述固定部件绕自身轴线自转；所述固定部件和所述丝杆位于所述旋转驱动机构的一侧，所述丝杆与所述旋转驱动机构之间设置有用于传动的旋转传动组件；
[0010]浮动组件，连接于所述平动螺母上，所述浮动组件能够沿所述丝杆轴向相对所述底板移动。
[0011]可选地，所述固定部件包括支撑块和支撑导柱，所述支撑块与所述底板相对间隔设置；
[0012]所述支撑导柱和所述丝杆均位于所述底板与所述支撑块之间，所述支撑导柱的两端分别与所述底板和所述支撑块连接，所述丝杆远离所述底板的一端与所述支撑块转动连接，所述浮动组件与所述支撑导柱滑动配合。
[0013]可选地，所述固定部件还包括安装于所述底板的轴承基座，所述丝杆靠近于所述底板的端部与所述轴承基座转动连接，所述旋转传动组件与所述丝杆的连接点位于所述轴承基座背离所述平动螺母的一侧。
[0014]可选地，所述浮动组件包括螺母固定板、浮动推板和导向轴；
[0015]所述平动螺母固定于所述螺母固定板，所述螺母固定板与所述支撑导柱滑动配合；
[0016]所述螺母固定板和所述浮动推板二者间隔分布，所述底板位于所述螺母固定板和所述浮动推板之间；
[0017]所述导向轴穿设于所述底板，且所述导向轴的两端分别与所述螺母固定板和所述浮动推板固定连接。
[0018]可选地，所述底板用于穿设所述导向轴的通孔处固定有直线轴承，所述直线轴承套设于所述导向轴。
[0019]可选地，所述底板上固定有吹气保护套，所述吹气保护套套设于所述直线轴承和所述导向轴，并与所述直线轴承和所述导向轴之间均具有间隙。
[0020]可选地，所述旋转驱动机构包括旋转驱动器和减速机；
[0021]所述减速机安装于所述底板，并与所述旋转驱动器传动连接，所述减速机的输出轴与所述旋转传动组件连接；
[0022]所述旋转传动组件与所述丝杆传动连接。
[0023]可选地，所述旋转传动组件包括主动轮、从动轮和同步带；
[0024]所述减速机与所述主动轮传动连接，所述同步带套设并张紧于所述主动轮和所述从动轮，所述从动轮与所述丝杆同轴连接。
[0025]可选地，所述底板上设置有固定座，所述减速机安装于所述固定座。
[0026]与现有技术相比，本技术提供的推压装置的有益效果为：
[0027]在本申请中，丝杆与旋转驱动机构之间设置有用于传动的旋转传动组件，浮动组件连接于平动螺母上，旋转驱动机构启动时，通过旋转传动组件带动丝杆转动，从而使套设于丝杆上的平动螺母带动浮动组件沿丝杆的轴向运动，完成半导体测试推压动作，实现对半导体芯片的检测。此外，固定部件和丝杆位于旋转驱动机构的一侧，缩小了整个装置在丝杆轴向上的空间占用，优化了结构布局。
[0028]第二方面，本技术提供的半导体检测设备包括所述的推压装置。
[0029]本技术提供的半导体检测设备的有益效果为：
[0030]本技术提供的半导体检测设备包括推压装置，由此，该半导体检测设备所达到的技术优势及效果同样包括上述推压装置所达到的技术优势及效果，此处不再赘述。
附图说明
[0031]为了更清楚地说明本技术具体实施方式或相关技术中的技术方案，下面将对具体实施方式或相关技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图是本技术的一些实施方式，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。
[0032]图1为现有相关技术的剖视图；
[0033]图2为本技术实施例提供的推压装置的装配图；
[0034]图3为本技术实施例提供的推压装置的剖视图；
[0035]图4为本技术实施例提供的推压装置的局部剖视图。
[0036]图标：
[0037]100－底板；110－直线轴承；120－吹气保护套；130－气管接头；140－固定座；
[0038]200－旋转驱动机构；210－旋转驱动器；220－减速机；
[0039]300－直线传动组件；310－固定部件；311－支撑块；312－支撑导柱；313－轴承基座；314－深沟球轴承；315－推力球轴承；320－丝杆；330－平动螺母；
[0040]400－浮动组件；410－螺母固定板；420－浮动推板；430－导向轴；500－旋转传动组件；510－主动轮；520－从动轮；530－同步带。
具体实施方式
[0041]下面将结合附图对本技术的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本技术保护的范围。
[0042]在本技术的描述中，需要说明的是，术语“中心”、“上”、“下”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本技术和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本技术的限制。此外，术语“第一”、“第二”、“第三”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性。
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【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种推压装置，其特征在于，包括：底板(100)；旋转驱动机构(200)，连接于所述底板(100)上；直线传动组件(300)，包括连接于所述底板(100)上的固定部件(310)、连接于所述固定部件(310)上的丝杆(320)以及与所述丝杆(320)螺纹配合的平动螺母(330)，所述丝杆(320)能够相对所述固定部件(310)绕自身轴线自转；所述固定部件(310)和所述丝杆(320)位于所述旋转驱动机构(200)的一侧，所述丝杆(320)与所述旋转驱动机构(200)之间设置有用于传动的旋转传动组件(500)；浮动组件(400)，连接于所述平动螺母(330)上，所述浮动组件(400)能够沿所述丝杆(320)轴向相对所述底板(100)移动。2.根据权利要求1所述的推压装置，其特征在于，所述固定部件(310)包括支撑块(311)和支撑导柱(312)，所述支撑块(311)与所述底板(100)相对间隔设置；所述支撑导柱(312)和所述丝杆(320)均位于所述底板(100)与所述支撑块(311)之间，所述支撑导柱(312)的两端分别与所述底板(100)和所述支撑块(311)连接，所述丝杆(320)远离所述底板(100)的一端与所述支撑块(311)转动连接，所述浮动组件(400)与所述支撑导柱(312)滑动配合。3.根据权利要求2所述的推压装置，其特征在于，所述固定部件(310)还包括安装于所述底板(100)的轴承基座(313)，所述丝杆(320)靠近于所述底板(100)的端部与所述轴承基座(313)转动连接，所述旋转传动组件(500)与所述丝杆(320)的连接点位于所述轴承基座(313)背离所述平动螺母(330)的一侧。4.根据权利要求2所述的推压装置，其特征在于，所述浮动组件(400)包括螺母固定板(410)、浮动推板(420)和导向轴(430)；所述平动螺母(330)固定于所述螺母固定板(410)，所述...
【专利技术属性】
技术研发人员：沈超，韩世杰，
申请(专利权)人：杭州长川科技股份有限公司，
类型：新型
国别省市：
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