吸嘴装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术提供了一种吸嘴装置，涉及半导体芯片搬运技术领域，本实用新型专利技术提供的吸嘴装置包括变距机构、第一升降吸嘴和第二升降吸嘴；第一升降吸嘴配置为多个，多个第一升降吸嘴并排安装于变距机构上且沿排布方向与变距机构滑动配合；变距机构包括凸轮轴，凸轮轴具有多个引导槽，引导槽一一对应地与第一升降吸嘴滑动配合，以使凸轮轴转动时调整各个第一升降吸嘴之间的距离；第二升降吸嘴固装于变距机构上且位于任意相邻的两个第一升降吸嘴之间。本实用新型专利技术提供的吸嘴装置具有结构简单、占用空间小、变距精度有保证、兼容性好、吸嘴个数设置更加灵活等优点。置更加灵活等优点。置更加灵活等优点。

【技术实现步骤摘要】
吸嘴装置


[0001]本技术涉及半导体芯片搬运
，尤其是涉及一种吸嘴装置。

技术介绍

[0002]近几年随着半导体行业突飞猛进的发展，对芯片的搬运拾取和检测效率有了更高的需求。在TFT薄膜晶管的表面裂纹检测的行业中，在对凸起、脏污进行检测时，需要单独的对每个芯片拾取后再进行单独的拍照，拍照包括下表面和上表面，所涉及的机械手搬运机构需要满足快速移动升降，并且根据产品不同实现变距的功能。传统拾取机构采用带传动机构来实现吸嘴的变距，带传动机构采用两组，两组带传动机构采用同一电机带动且主动带轮齿数不同，每组带传动机构的皮带上均连接有吸嘴。当启动电机时，两个皮带带动各自上的吸嘴运动，由于主动带轮齿数不同，两组带传动机构中的主动带轮转动一圈，两个皮带的运动距离不同，从而实现两个吸嘴之间的间距同步变大变小，其具有以下不足：
[0003]1、步带轮和同步带的传动摩擦过程需设计张紧块夹紧，而狭小的空间难以安装两端的张紧，多数情况是单边的张紧，往复运动的过程中单边夹紧会产生松动的风险，在变间距吸嘴移动过程中精度的定位有所欠缺，同时同步带长期移动过程中还存在掉粉尘的现象，是行业里需要解决的问题；
[0004]2、传统的变距结构体积较大，安装及调试不方便，变距吸嘴数量有限，变距的数值具有唯一性，导致吸嘴兼容某些治具和收料盘以及裂纹测试工位治具盘的工位时，兼容性不好；
[0005]3、吸嘴末端负载的大小对吸附产品的稳定性有较大影响，传统行业里面采用中空电机，但是该方案在实际调试过程中，暴露出中空电机作为升降系统的一部分和吸嘴一起移动而导致升降负载增大(电机重量也包括在吸嘴的升降负载中)，增大的转动惯量对电机选型造成影响，增大的负载对末端吸嘴的升降稳定性直接产生影响，会造成吸嘴吸附的精度产生偏差的问题。

技术实现思路

[0006]本技术的目的在于提供一种吸嘴装置，具有结构简单、占用空间小、变距精度有保证、兼容性好、吸嘴个数设置更加灵活等优点。
[0007]为实现上述目的，本技术提供以下技术方案：
[0008]本技术提供一种吸嘴装置，包括变距机构、第一升降吸嘴和第二升降吸嘴；
[0009]所述第一升降吸嘴配置为多个，多个所述第一升降吸嘴并排安装于所述变距机构上且沿排布方向与所述变距机构滑动配合；
[0010]所述变距机构包括凸轮轴，所述凸轮轴具有多个引导槽，所述引导槽一一对应地与所述第一升降吸嘴滑动配合，以使所述凸轮轴转动时调整各个所述第一升降吸嘴之间的距离；
[0011]所述第二升降吸嘴固装于所述变距机构上且位于任意相邻的两个所述第一升降
吸嘴之间。
[0012]进一步地，所述变距机构还包括固定座和第一驱动组件；
[0013]所述凸轮轴转动安装在所述固定座上；
[0014]所述第一驱动组件安装于所述固定座上并与所述凸轮轴传动连接，所述第一驱动组件用于带动所述凸轮轴相对于所述固定座转动；
[0015]各个所述第一升降吸嘴与所述固定座滑动配合。
[0016]进一步地，所述第二升降吸嘴固装于所述固定座上。
[0017]进一步地，多个所述引导槽分为两组，两组中所述引导槽的个数相同，两组所述引导槽关于第一平面对称设置，所述第一平面为所述凸轮轴的横截面。
[0018]进一步地，任意一组所述引导槽中：
[0019]各个所述引导槽围绕所述凸轮轴的轴线螺旋延伸，各个所述引导槽的旋向相同，且沿逐渐靠近所述第一平面的方向，各个所述引导槽的螺距逐渐减小。
[0020]进一步地，各个所述引导槽均具有第一配合段、第二配合段以及位于所述第一配合段和所述第二配合段之间的第三配合段，所述第一配合段和所述第二配合段分别位于所述引导槽的两端；
[0021]相邻两个所述引导槽中所述第一配合段之间的距离为第一距离，相邻两个所述引导槽中所述第二配合段之间的距离为第二距离，相邻两个所述引导槽中所述第三配合段之间的距离为第三距离，所述第一距离大于所述第三距离，所述第三距离大于所述第二距离。
[0022]进一步地，所述第一升降吸嘴包括安装座、第二驱动组件和吸嘴组件，所述安装座与所述变距机构滑动配合并伸入所述引导槽内与所述引导槽滑动配合，所述第二驱动组件安装于所述安装座上，所述第二驱动组件与所述吸嘴组件连接，所述第二驱动组件用于带动所述吸嘴组件竖直移动。
[0023]进一步地，所述第二驱动组件包括电机、齿轮、齿条和滑移座；
[0024]所述电机安装于所述安装座上，所述电机的动力输出轴与所述齿轮连接以带动所述齿轮相对于所述安装座转动；
[0025]所述齿条安装于所述滑移座上并与所述齿轮啮合，所述滑移座与所述安装座沿竖直方向滑动配合；
[0026]所述吸嘴组件安装于所述滑移座上。
[0027]进一步地，所述吸嘴装置还包括用于安装线缆和气路的电器盒组件；
[0028]所述电器盒组件包括拖链、压板、电器盒和固定板，所述拖链通过所述固定板安装于所述电器盒上，所述拖链形成用于容纳所述线缆和所述气路的通道，所述压板安装于所述固定板上且位于所述拖链的端部，所述压板用于将所述线缆和所述气路收拢于所述固定板上。
[0029]进一步地，所述第二升降吸嘴两侧的所述第一升降吸嘴个数相同。
[0030]本技术提供的吸嘴装置能产生如下有益效果：
[0031]本技术提供的吸嘴装置在使用时，第二升降吸嘴固定不动，可转动凸轮轴，凸轮轴上的各个引导槽随之转动，由于第一升降吸嘴与引导槽滑动配合，在引导槽的拨动下，可实现各个第一升降吸嘴相对于变距机构的滑动，从而调整各个第一升降吸嘴之间的距离以及各个第一升降吸嘴与第二升降吸嘴之间的距离。
[0032]相对于现有技术来说，本技术提供的吸嘴装置结构简单，占用空间小，其通过凸轮轴旋转时凸轮轴上的引导槽作为导向代替传统的同步带传动结构，引导槽的轨迹一定，凸轮轴转动时第一升降吸嘴所移动的距离便固定，变距精度有保证，从根本上解决了掉粉尘以及因同步带松动而导致变距精度差的问题；其次，随着凸轮轴的转动，第一升降吸嘴之间的距离不断产生变化，变距数值不具有唯一性，可实现距离的无极调节，具有较好的兼容性；再次，可通过增加引导槽的个数来适配更多的第一升降吸嘴，不需要根据第一升降吸嘴的个数增添带传动机构，第一升降吸嘴的个数设置更加灵活；最后，第二升降吸嘴不需要与凸轮轴配合，通过各个第一升降吸嘴的移动便可以调整第二升降吸嘴与第一升降吸嘴之间的距离，节省成本。
附图说明
[0033]为了更清楚地说明本技术具体实施方式或现有技术中的技术方案，下面将对具体实施方式或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图是本技术的一些实施方式，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。
[0034]图1为本技术实施例提供的一种吸嘴装置在第一视角下的三维结构示意图；<本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种吸嘴装置，其特征在于，包括变距机构(1)、第一升降吸嘴(2)和第二升降吸嘴(4)；所述第一升降吸嘴(2)配置为多个，多个所述第一升降吸嘴(2)并排安装于所述变距机构(1)上且沿排布方向与所述变距机构(1)滑动配合；所述变距机构(1)包括凸轮轴(11)，所述凸轮轴(11)具有多个引导槽，所述引导槽一一对应地与所述第一升降吸嘴(2)滑动配合，以使所述凸轮轴(11)转动时调整各个所述第一升降吸嘴(2)之间的距离；所述第二升降吸嘴(4)固装于所述变距机构(1)上且位于任意相邻的两个所述第一升降吸嘴(2)之间。2.根据权利要求1所述的吸嘴装置，其特征在于，所述变距机构(1)还包括固定座(12)和第一驱动组件(13)；所述凸轮轴(11)转动安装在所述固定座(12)上；所述第一驱动组件(13)安装于所述固定座(12)上并与所述凸轮轴(11)传动连接，所述第一驱动组件(13)用于带动所述凸轮轴(11)相对于所述固定座(12)转动；各个所述第一升降吸嘴(2)与所述固定座(12)滑动配合。3.根据权利要求2所述的吸嘴装置，其特征在于，所述第二升降吸嘴(4)固装于所述固定座(12)上。4.根据权利要求1所述的吸嘴装置，其特征在于，多个所述引导槽分为两组，两组中所述引导槽的个数相同，两组所述引导槽关于第一平面对称设置，所述第一平面为所述凸轮轴(11)的横截面。5.根据权利要求4所述的吸嘴装置，其特征在于，任意一组所述引导槽中：各个所述引导槽围绕所述凸轮轴(11)的轴线螺旋延伸，各个所述引导槽的旋向相同，且沿逐渐靠近所述第一平面的方向，各个所述引导槽的螺距逐渐减小。6.根据权利要求1所述的吸嘴装置，其特征在于，各个所述引导槽均具有第一配合段(1111)、第二配合段(1112)以及位于所述第一配合段(1111)和所述第二配合段(1112)之间的第三配合段(1113)，所述第一配合段(1111)和所述第二配合段(1112)分别位于所述引导槽的两端；相邻两个所述引导槽中所述第一配...

【专利技术属性】
技术研发人员：李海生，严铭明，高聪，曹飞龙，
申请(专利权)人：杭州长川科技股份有限公司，
类型：新型
国别省市：