一种探针台针座平台升降结构制造技术

本实用新型专利技术涉及晶圆探针台技术领域，且特别涉及了一种探针台针座平台升降结构，包括配重座，所述配重座通过调节机构连接有顶座，所述顶座的侧面设置有固定座。该探针台针座平台升降结构，在拧动驱动件后，可通过驱动件和从齿轮的配合带动测微头转动，使测微头的测微螺杆伸缩，从而起到调节探针臂相对高度的作用，且因为驱动齿轮的半径在其压力角与从齿轮相同的情况下小于从齿轮半径，所以测微头的操作精度得到了提高，使得探针沿Z向的移动精度更高，而进一步设置的安装孔，在紧固件和固定环的配合下可对驱动齿轮进行更换，在保证压力角不变的情况下，增减驱动齿轮半径，以进一步起到调节测微头操作精度的作用。到调节测微头操作精度的作用。到调节测微头操作精度的作用。

【技术实现步骤摘要】
一种探针台针座平台升降结构


[0001]本技术涉及晶圆探针台领域，具体涉及一种探针台针座平台的升降结构。

技术介绍

[0002]晶圆探针测试也被称为中间测试，它是集成电路生产中的重要一环，晶圆探针测试台可分为手动探针台、半自动探针台和全自动探针台三种，其中手动探针台的主要用途是为半导体芯片的电参数测试提供一个测试平台，探针台可吸附多种规格芯片，并提供多个可调测试针以及探针座，配合测量仪器可完成集成电路的电压、电流、电阻以及电容电压特性曲线等参数检测。
[0003]探针台的执行机构包括探针座和探针臂两部分，探针座具有X
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Y
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Z三向移动和旋转功能，可控制固定在针座上的探针臂做三向移动或转动，这样可以把固定在探针臂上的探针很好的点在晶圆的待测点上，但在实际使用过程中，因为探针与待测点的间距较小，操作精度范围需控制在微米级别，而喜爱耨探针座用于三向移动的驱动组件多为螺旋测微仪的测量主体部分，螺旋测微仪的量程仅能达到0.01mm，大于探针的操作精度，当操作人员需对探针进行沿Z向的精确调节时，现有驱动组件的调节精度难以满足探针Z向移动调节的精度需求。

技术实现思路

[0004]本技术的目的在于提供一种调节精度更高的探针台针座平台的升降结构。
[0005]本技术解决上述问题所采用的技术方案是：一种探针台针座平台升降结构，包括配重座，所述配重座通过调节机构连接有顶座，所述顶座的侧面设置有固定座，所述固定座通过定位件连接有探针臂，所述探针臂通过支架连接有测微头，所述测微头的底端与固定座的顶部抵持，所述测微头的侧面套接有从齿轮，所述支架的顶部设置有与从齿轮啮合连接的驱动件。
[0006]所述驱动件包括与支架连接的固定套管，所述固定套管通过转轴连接有与从齿轮啮合的驱动齿轮，且驱动齿轮在压力角与从齿轮相同的情况下，所述驱动齿轮的半径小于从齿轮的半径。
[0007]作为本技术所述的一种探针台针座平台升降结构优选方案，其中：所述调节机构包括与配重座顶部连接的转动滑台，所述转动滑台的顶部设置有第一轴向滑台，所述第一轴向滑台的顶部设置有第二轴向滑台。
[0008]作为本技术所述的一种探针台针座平台升降结构优选方案，其中：所述定位件包括设置于固定座侧面的定位侧板，所述定位侧板的侧面开设有滑槽，所述滑槽的内部设置由可沿滑槽移动的定位旋钮，所述定位旋钮与探针臂螺纹连接。
[0009]作为本技术所述的一种探针台针座平台升降结构优选方案，其中：所述固定套管通过紧固螺钉与支架连接，所述支架的顶部开设有与紧固螺钉相适配的安装孔。
[0010]作为本技术所述的一种探针台针座平台升降结构优选方案，其中：所述从齿
轮为齿轮组，所述从齿轮由一个以上的齿轮单元组成，各所述齿轮单元的压力角均相同，且各所述齿轮单元的半径由上至下或由下至上依次减小。
[0011]作为本技术所述的一种探针台针座平台升降结构优选方案，其中：所述驱动件还包括与转轴固定套接的定位环，所述驱动齿轮通过紧固件与定位环连接，所述转轴的顶端安装有调节旋钮。
[0012]作为本技术所述的一种探针台针座平台升降结构优选方案，其中：所述固定套管的侧面螺纹连接有定位钉，所述定位钉靠近转轴的一端贯穿固定套管的侧表面并延伸至固定套管的内部，且定位钉位于固定套管内部的一端与转轴的侧表面抵持。
[0013]本技术与现有技术相比，具有以下优点和效果：
[0014]该探针台针座平台升降结构，在拧动驱动件后，可通过驱动件和从齿轮的配合带动测微头转动，使测微头的测微螺杆伸缩，从而起到调节探针臂相对高度的作用，且因为驱动齿轮的半径在其压力角与从齿轮相同的情况下小于从齿轮半径，所以测微头的操作精度得到了提高，使得探针沿Z向的移动精度更高，而进一步设置的安装孔，在紧固件和固定环的配合下可对驱动齿轮进行更换，在保证压力角不变的情况下，增减驱动齿轮半径，以进一步起到调节测微头操作精度的作用。
附图说明
[0015]图1是本技术实施例的结构示意图。
[0016]图2是本技术实施例的俯视图。
[0017]图3是本技术实施例的侧视图。
[0018]图4是本技术图3中A处的放大图。
[0019]其中：1、配重座；2、调节机构；201、转动滑台；202、第一轴向滑台；203、第二轴向滑台；3、顶座；4、定位件；401、定位侧板；402、定位旋钮；5、探针臂；6、支架；7、侧钉；8、测微头；9、从齿轮；10、驱动件；1001、固定套管；1002、转轴；1003、定位环；1004、驱动齿轮；1005、定位钉；1006、调节旋钮；11、安装孔；12、固定座。
具体实施方式
[0020]下面结合附图并通过实施例对本技术作进一步的详细说明，以下实施例是对本技术的解释而本技术并不局限于以下实施例。
[0021]参见图1，本实施例提供了一种探针台针座平台升降结构，包括配重座1，配重座1为现有技术，由底座、直线滑轨和滑座组成，直线滑轨设置于底座的顶部，滑座的底部开设有与直线滑轨相适配的滑槽，且底座的内部设置有磁吸开关组件，该种组件为现有技术，通过拨动开关可控制底座底部产生磁力，从而将底座吸附在金属表面，磁吸开关在图中并未画出，其原理与磁吸表座相同。
[0022]参见图1或图3，配重座1通过调节机构2连接有顶座3。
[0023]其中，调节机构2包括与滑座顶部连接的转动滑台201，转动滑台201为绕轴转动的回转台，转动滑台201的顶部设置有第一轴向滑台202，第一轴向滑台202的顶部设置有第二轴向滑台203，第一轴向滑台202和第二轴向滑台203均为线性滑台，且两者的移动轨迹相互垂直，综上，调节机构2起到了调节顶座3相对位置的作用。
[0024]参见图1
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3，顶座3的侧面设置有固定座12，固定座12通过定位件4连接有探针臂5，探针臂5为现有技术，探针臂5的端头设置有探针插槽，在安装时供探针插入连接，且探针臂5的顶部设置有电性接口。
[0025]其中，定位件4包括设置于固定座12侧面的定位侧板401，定位侧板401的侧面开设有滑槽，滑槽的内部设置由可沿滑槽移动的定位旋钮402，定位旋钮402与探针臂5螺纹连接，当定位旋钮402拧紧后，定位旋钮402与定位侧板401的相对位置被限定。
[0026]探针臂5通过支架6连接有测微头8。
[0027]其中，测微头8为螺旋测微仪的测量主体部分，包括测微螺杆、锁紧装置、测力装置及微分筒，由于其结构的位置连接或配合关系为现有技术，就不再赘述。
[0028]其中支架6的顶部开设有通孔，测微头8插接与通孔内部，且支架6的侧面螺纹连接有侧钉7，且侧钉7的顶端贯穿支架6的侧面并延伸至通孔的内部，且侧钉7位于通孔内部的一端与锁紧装置的侧面抵持，以起到固定测微头8相对位置的作用。
[0029]参见图1，测微头本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种探针台针座平台升降结构，包括配重座(1)，所述配重座(1)通过调节机构(2)连接有顶座(3)，所述顶座(3)的侧面设置有固定座(12)，所述固定座(12)通过定位件(4)连接有探针臂(5)，所述探针臂(5)通过支架(6)连接有测微头(8)，所述测微头(8)的底端与固定座(12)的顶部抵持，其特征在于：所述测微头(8)的侧面套接有从齿轮(9)，所述支架(6)的顶部设置有与从齿轮(9)啮合连接的驱动件(10)；所述驱动件(10)包括与支架(6)连接的固定套管(1001)，所述固定套管(1001)通过转轴(1002)连接有与从齿轮(9)啮合的驱动齿轮(1004)，且驱动齿轮(1004)在压力角与从齿轮(9)相同的情况下，所述驱动齿轮(1004)的半径小于从齿轮(9)的半径。2.根据权利要求1所述的一种探针台针座平台升降结构，其特征在于：所述调节机构(2)包括与配重座(1)顶部连接的转动滑台(201)，所述转动滑台(201)的顶部设置有第一轴向滑台(202)，所述第一轴向滑台(202)的顶部设置有第二轴向滑台(203)。3.根据权利要求2所述的一种探针台针座平台升降结构，其特征在于：所述定位件(4)包括设置于固定座(12)侧面的定位侧板(401)，所述定位侧板(401)的侧面...

【专利技术属性】
技术研发人员：吕孟光，
申请(专利权)人：江苏宏京锐半导体科技有限公司，
类型：新型
国别省市：